فرن الانتشار الأفقي ثيرمكو 5200

يُعدّ جهاز Thermco 5200 منصة فرن انتشار أفقية لإنتاج أشباه الموصلات، وأنظمة MEMS، والخلايا الكهروضوئية، ومعالجة الركائز ذات الصلة. وتُحدد القائمة المتاحة المعدات المناسبة لمعالجة رقائق السيليكون التي يصل قطرها إلى 150 مم.

يمكن تهيئة منصة 5200 بأنبوبين إلى أربعة أنابيب معالجة مستقلة. ويمكن تخصيص كل أنبوب لعمليات الأكسدة أو الانتشار أو التلدين أو عمليات الترسيب الكيميائي للبخار ذات الضغط المنخفض المتوافقة، وذلك حسب مواد الأنابيب وأنظمة الغاز وتكوين العادم المستخدمة.

المواصفات الرئيسية لـ Thermco 5200

ميزات المعدات الرئيسية

• منصة فرن أفقية تدعم رقائق السيليكون حتى 150 مم

• بنية نظام قابلة للتكوين من أنبوبين إلى أربعة أنابيب

• منطقة مسطحة لدرجة الحرارة تصل إلى 1100 مم

• ثلاث مناطق تدفئة يتم التحكم فيها بشكل مستقل

• يمكن تهيئة الأنابيب الفردية لعمليات حرارية مختلفة

• متوافق مع التحميل اليدوي أو شبه الآلي أو الآلي الذي يعتمد على التكوين

التطبيقات النموذجية

تشمل التطبيقات المنشورة لأنابيب Thermco 5200 الأكسدة الرطبة والجافة، ونشر الشوائب، والتلدين بغاز التشكيل، والتشكيل الحراري عند درجات حرارة عالية، وغيرها من المعالجات الحرارية. كما يمكن للأنابيب المصممة بشكل مناسب أن تدعم عمليات ترسيب نيتريد السيليكون، والسيليكون متعدد التبلور، وTEOS، وLTO، أو عمليات الترسيب الكيميائي للبخار عند ضغط منخفض (LPCVD) ذات الصلة.

ينبغي الترويج للآلة المتاحة فقط للعمليات التي تدعمها الأنابيب المثبتة فيها، وخزانة الغاز، ونظام الضغط، ومعدات العادم. قد يكون للأنابيب المختلفة في نفس الهيكل الرئيسي تاريخ عمليات مختلف.

تهيئة وفحص المعدات المستعملة

تصف المواصفات المنشورة منصة 5200 القابلة للتكوين. قد يحتوي النظام المستعمل المتاح على أقل من أربعة أنابيب، أو أنواع مختلفة من السخانات، أو نظام تحكم قديم، أو معدات غاز وعادم خاصة بالعملية.

قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد عدد الأنابيب المثبتة، وأبعاد الأنابيب، وحالة السخان، ونطاق درجة الحرارة، والأواني الكوارتزية، وقوارب الرقائق، ونظام التحميل، وألواح الغاز، ووحدات التحكم في التدفق الميكروبي، وأجهزة التحكم في الضغط، والمضخات، ومعالجة العادم، وإصدار وحدة التحكم.

طلب معلومات عن جهاز Thermco 5200

اتصل بفريقنا للتحقق من التوافر الحالي لجهاز Thermco 5200 المستعمل. يرجى تزويدنا بحجم الرقاقة، والعملية المقصودة، وعدد أنابيب الفرن المطلوبة، ونطاق درجة الحرارة المستهدفة، وغازات العملية، وبلد الوجهة، وجدول التركيب.

اتصل بنا للحصول على صور المعدات الحالية، وتكوين الأنابيب، وتاريخ العملية، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.

الأسئلة الشائعة

ما هو حجم الرقاقة الذي يمكن لجهاز Thermco 5200 معالجته؟

تدعم منصة 5200 المنشورة أشباه الموصلات والركائز ذات الصلة التي يصل قطرها إلى 150 مم.

كم عدد أنابيب الفرن الموجودة في جهاز Thermco 5200؟

يمكن تهيئة المنصة بأنبوبين إلى أربعة أنابيب معالجة. يجب التأكد من عدد الأنابيب المثبتة على الجهاز المتاح.

ما هي العمليات التي يمكن أن يقوم بها جهاز Thermco 5200؟

تشمل العمليات الممكنة الأكسدة، والانتشار، والتلدين، وتطبيقات مختارة من تقنية الترسيب الكيميائي للبخار عند ضغط منخفض. يجب فحص كل أنبوب مُركّب للتأكد من العملية المُخصصة له وتكوين الغاز.

هل تعمل جميع أجهزة Thermco 5200 حتى درجة حرارة 1350 درجة مئوية؟

يمتد نطاق المنصة المنشور إلى 1350 درجة مئوية، لكن الحد الأقصى الفعلي يعتمد على السخان المثبت، والمزدوجات الحرارية، ومواد الأنابيب، وتكوين العملية.