Горизонтальная диффузионная печь Thermco 5200
Thermco 5200 — это горизонтальная производственная диффузионная печь для обработки полупроводниковых, MEMS, фотоэлектрических и других подложек. В представленном каталоге указано, что оборудование предназначено для обработки пластин диаметром до 150 мм.
Платформа 5200 может быть сконфигурирована с двумя-четырьмя независимыми технологическими трубками. В зависимости от материалов установленных трубок, газовых систем и конфигурации выхлопа, отдельные трубки могут быть задействованы в процессах окисления, диффузии, отжига или совместимых процессах LPCVD.
Основные технические характеристики Thermco 5200
| Производитель | Системы Thermco |
|---|---|
| Модель | 5200 |
| Тип оборудования | Горизонтальная многотрубная диффузионная печь |
| Максимальный размер субстрата | До 150 мм |
| Конфигурация платформы из труб | В зависимости от установленной системы, имеется от двух до четырех технологических трубок. |
| Максимальная плоская зона | До 1100 мм |
| Опубликованный диапазон рабочих параметров | 200–1350 °C, в зависимости от нагревателя и конфигурации процесса. |
| Зоны нагрева | Три независимо управляемые зоны печи |
| Дополнительная скорость нарастания | До 25 °C в минуту при использовании соответствующей опции быстрого повышения температуры. |
| Дополнительная скорость охлаждения | До 20 °C в минуту при использовании соответствующей опции быстрого охлаждения. |
| Управление технологическими процессами | Система управления печью Thermco; необходимо подтвердить версию установленного контроллера. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, соответствия конфигурации труб и подтверждения результатов проверки. |
Основные характеристики оборудования
Горизонтальная платформа печи, поддерживающая пластины диаметром до 150 мм.
Конфигурируемая двух-четырехтрубная системная архитектура
Зона температурной стабильности до 1100 мм
Три независимо регулируемые зоны нагрева
Отдельные трубки могут быть сконфигурированы для различных термических процессов.
Совместимость с ручной, полуавтоматической или автоматизированной загрузкой, зависящей от конфигурации.
Типичные области применения
В число опубликованных областей применения Thermco 5200 входят влажное и сухое окисление, диффузия легирующих примесей, отжиг в формовочном газе, высокотемпературная обработка и другие термические обработки. Правильно сконфигурированные трубки также могут использоваться для осаждения нитрида кремния, поликремния, TEOS, LTO или связанных с ними процессов LPCVD.
Предлагаемое оборудование следует продвигать только для процессов, поддерживаемых установленными на нем трубами, газовым шкафом, системой регулирования давления и вытяжным оборудованием. Разные трубы в одном и том же основном блоке могут иметь разную историю технологических процессов.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Опубликованные технические характеристики описывают конфигурируемую платформу 5200. Доступная бывшая в употреблении система может содержать менее четырех трубок, различные типы нагревателей, более старую систему управления или специализированное газовое и вытяжное оборудование.
Перед предоставлением коммерческого предложения заказчику следует подтвердить количество установленных труб, габариты труб, состояние нагревателя, температурный диапазон, кварцевую посуду, лотки для пластин, систему загрузки, газовые панели, МТХ, регуляторы давления, насосы, систему обработки выхлопных газов и версию контроллера.
Запросить информацию о Thermco 5200
Свяжитесь с нашей командой, чтобы узнать о наличии бывших в употреблении печей Thermco 5200. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, предполагаемый технологический процесс, необходимое количество трубок печи, целевой диапазон температур, используемые технологические газы, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить фотографии текущего оборудования, информацию о конфигурации труб, историю технологического процесса, статус проверки и коммерческое предложение.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры пластин может обрабатывать Thermco 5200?
Представленная платформа 5200 поддерживает полупроводниковые и аналогичные подложки диаметром до 150 мм.
Сколько трубок в печи Thermco 5200?
Платформа может быть сконфигурирована с двумя-четырьмя технологическими трубами. Необходимо уточнить количество труб, установленных на имеющейся машине.
Какие процессы может выполнять Thermco 5200?
Возможные процессы включают окисление, диффузию, отжиг и отдельные виды LPCVD-процессов. Каждую установленную трубку необходимо проверить на соответствие назначенному процессу и газовой конфигурации.
Все ли термометры Thermco 5200 работают при температуре до 1350 °C?
Заявленный диапазон рабочих температур платформы составляет 1350 °C, однако фактический максимум зависит от установленного нагревателя, термопар, материалов трубок и конфигурации процесса.
