써모코 5200 수평 확산로

Thermco 5200은 반도체, MEMS, 태양광 및 관련 기판 처리를 위한 수평형 생산 확산로 플랫폼입니다. 제공되는 장비 목록에는 최대 직경 150mm의 웨이퍼 처리가 포함되어 있습니다.

5200 플랫폼은 2개에서 4개까지의 독립적인 공정 튜브로 구성할 수 있습니다. 각 튜브는 설치된 튜브 재질, 가스 시스템 및 배기 구성에 따라 산화, 확산, 어닐링 또는 호환 가능한 LPCVD 공정에 할당될 수 있습니다.

써모코 5200 주요 사양

주요 장비 특징

• 최대 150mm 웨이퍼를 지원하는 수평형 퍼니스 플랫폼

• 구성 가능한 2~4개 튜브 시스템 아키텍처

• 최대 1,100mm 온도 평탄 영역

• 독립적으로 제어되는 3개의 난방 구역

• 개별 튜브는 서로 다른 열처리 공정에 맞게 구성할 수 있습니다.

• 수동, 반자동 또는 구성에 따라 달라지는 자동 로딩과 호환됩니다.

일반적인 적용 사례

공개된 Thermco 5200 응용 분야에는 습식 및 건식 산화, 도핑 확산, 포밍 가스 어닐링, 고온 드라이브인 및 기타 열처리 공정이 포함됩니다. 적절하게 구성된 튜브는 질화규소, 폴리실리콘, TEOS, LTO 또는 관련 LPCVD 공정에도 사용할 수 있습니다.

사용 가능한 장비는 설치된 튜브, 가스 캐비닛, 압력 시스템 및 배기 장비가 지원하는 공정에 한해서만 홍보해야 합니다. 동일한 메인프레임 내에서도 튜브마다 다른 공정 이력을 가질 수 있습니다.

중고 장비 구성 및 검사

공개된 사양서에는 구성 가능한 5200 플랫폼에 대한 설명이 포함되어 있습니다. 사용 가능한 중고 시스템은 튜브 수가 4개 미만이거나, 히터 유형이 다르거나, 제어 시스템이 구형이거나, 공정별 가스 및 배기 장비가 포함되어 있을 수 있습니다.

견적을 제출하기 전에 고객은 설치된 튜브 수, 튜브 크기, 히터 상태, 온도 범위, 석영 제품, 웨이퍼 보트, 로딩 시스템, 가스 패널, MFC, 압력 제어 장치, 펌프, 배기 처리 장치 및 컨트롤러 버전을 확인해야 합니다.

Thermco 5200 정보 요청

중고 Thermco 5200의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 웨이퍼 크기, 공정 종류, 필요한 퍼니스 튜브 개수, 목표 온도 범위, 공정 가스 종류, 구매 국가 및 설치 일정을 알려주시면 더욱 정확한 정보를 제공해 드릴 수 있습니다.

최신 장비 사진, 튜브 구성, 공정 이력, 검사 현황 및 견적을 원하시면 저희에게 연락하십시오.

자주 묻는 질문

Thermco 5200은 어떤 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있습니까?

공개된 5200 플랫폼은 직경 최대 150mm의 반도체 및 관련 기판을 지원합니다.

Thermco 5200에는 연소관이 몇 개 있습니까?

이 플랫폼은 2개에서 4개까지의 처리 튜브로 구성할 수 있습니다. 사용 가능한 장비에 설치된 튜브 수를 확인해야 합니다.

Thermco 5200은 어떤 공정을 수행할 수 있습니까?

가능한 공정에는 산화, 확산, 어닐링 및 일부 LPCVD 공정이 포함됩니다. 설치된 각 튜브는 지정된 공정 및 가스 구성에 맞는지 확인해야 합니다.

모든 Thermco 5200 모델이 최대 1,350°C까지 작동합니까?

공개된 플랫폼 범위는 1,350°C까지 확장되지만, 실제 최대 온도는 설치된 히터, 열전대, 튜브 재질 및 공정 구성에 따라 달라집니다.