Piec dyfuzyjny poziomy Thermco 5200
Thermco 5200 to poziomy piec dyfuzyjny do produkcji półprzewodników, układów MEMS, fotowoltaiki i pokrewnych podłoży. Dostępna oferta obejmuje urządzenia do obróbki płytek o średnicy do 150 mm.
Platformę 5200 można skonfigurować z dwiema do czterech niezależnych rur procesowych. Poszczególne rury mogą być przypisane do procesów utleniania, dyfuzji, wyżarzania lub kompatybilnych procesów LPCVD, w zależności od zastosowanych materiałów rur, systemów gazowych i konfiguracji wydechu.
Główne specyfikacje Thermco 5200
| Producent | Systemy Thermo |
|---|---|
| Model | 5200 |
| Typ sprzętu | Poziomy piec dyfuzyjny wielorurowy |
| Maksymalny rozmiar podłoża | Do 150 mm |
| Konfiguracja rury peronowej | Od dwóch do czterech rur procesowych, w zależności od zainstalowanego systemu |
| Maksymalna strefa płaska | Do 1100 mm |
| Opublikowany zakres operacyjny | 200–1350°C, w zależności od grzałki i konfiguracji procesu |
| Strefy grzewcze | Trzy niezależnie sterowane strefy pieca |
| Opcjonalna szybkość narastania | Do 25°C na minutę z odpowiednią opcją szybkiego nagrzewania |
| Opcjonalna szybkość chłodzenia | Do 20°C na minutę z odpowiednią opcją szybkiego chłodzenia |
| Kontrola procesów | System sterowania piecem Thermco; należy potwierdzić wersję zainstalowanego sterownika |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego, konfiguracji rur i potwierdzenia kontroli |
Kluczowe cechy wyposażenia
Pozioma platforma pieca podtrzymująca wafle o średnicy do 150 mm
Konfigurowalna architektura systemu dwu- lub czterorurowego
Strefa płaska o temperaturze do 1100 mm
Trzy niezależnie sterowane strefy grzewcze
Poszczególne rury można skonfigurować do różnych procesów termicznych
Kompatybilny z ładowaniem ręcznym, półautomatycznym lub zależnym od konfiguracji automatycznym
Typowe zastosowania
Opublikowane zastosowania Thermco 5200 obejmują utlenianie na mokro i na sucho, dyfuzję domieszek, wyżarzanie w gazie formującym, wysokotemperaturowe wtłaczanie i inne rodzaje obróbki cieplnej. Odpowiednio skonfigurowane rury mogą również obsługiwać procesy azotku krzemu, polikrzemu, TEOS, LTO lub pokrewne procesy LPCVD.
Dostępna maszyna powinna być promowana wyłącznie w przypadku procesów obsługiwanych przez zainstalowaną rurę, szafę gazową, system ciśnieniowy i urządzenia wyciągowe. Różne rury w tej samej maszynie centralnej mogą mieć różne historie procesów.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Opublikowane specyfikacje opisują konfigurowalną platformę 5200. Dostępny używany system może zawierać mniej niż cztery rury, różne typy grzałek, starszy system sterowania lub specyficzne dla danego procesu urządzenia gazowe i wydechowe.
Przed sporządzeniem wyceny klienci powinni potwierdzić liczbę zainstalowanych rur, wymiary rur, stan grzałki, zakres temperatur, kwarc, łódki na płytki półprzewodnikowe, system ładowania, panele gazowe, MFC, regulatory ciśnienia, pompy, obróbkę spalin i wersję sterownika.
Poproś o informacje dotyczące Thermoco 5200
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego pieca Thermco 5200. Podaj rozmiar wafla, planowany proces, wymaganą liczbę rur pieca, docelowy zakres temperatur, gazy procesowe, kraj docelowy i harmonogram instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia sprzętu, konfigurację rur, historię procesów, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie rozmiary płytek może przetwarzać maszyna Thermco 5200?
Opublikowana platforma 5200 obsługuje podłoża półprzewodnikowe i pokrewne o średnicy do 150 mm.
Ile rur pieca ma Thermco 5200?
Platformę można skonfigurować z dwoma do czterech rur procesowych. Liczba zainstalowanych na dostępnej maszynie musi zostać potwierdzona.
Jakie procesy może realizować Thermco 5200?
Możliwe procesy obejmują utlenianie, dyfuzję, wyżarzanie i wybrane zastosowania LPCVD. Każda zainstalowana rura musi zostać sprawdzona pod kątem przypisanego jej procesu i konfiguracji gazu.
Czy każdy Thermco 5200 działa w temperaturach do 1350°C?
Podany zakres platformy sięga 1350°C, ale rzeczywista wartość maksymalna zależy od zainstalowanego elementu grzejnego, termopar, materiałów rur i konfiguracji procesu.
