فرن الانتشار العمودي TEL ALPHA 8S

يُعدّ نظام طوكيو إلكترون TEL ALPHA 8S نظام معالجة حرارية رأسية مُصممة لأكسدة رقائق أشباه الموصلات، والتلدين، وغيرها من عمليات الأفران ذات درجات الحرارة العالية. وتُحدد قائمة المعدات المتاحة هذه المنصة لكلٍ من رقائق السيليكون بقياس 150 مم و200 مم.

تم توريد أنظمة ALPHA 8S بتكوينات تشغيلية مختلفة. اعتمادًا على أنبوب الفرن المُثبَّت، ونظام الغاز، والسيراميك الكوارتزي، وبرنامج التحكم، يمكن تهيئة كل جهاز على حدة لعمليات الأكسدة الرطبة، أو الأكسدة الجافة، أو التلدين، أو عمليات الترسيب الكيميائي للبخار عند ضغط منخفض (LPCVD) المختارة.

المواصفات الرئيسية لهاتف TEL ALPHA 8S

ميزات المعدات الرئيسية

• تصميم فرن الدفعات العمودي

• دعم منشور لرقاقات السيليكون بقياس 150 مم و200 مم

• مناسب لعمليات أكسدة وتلدين أشباه الموصلات

• تُحدد قدرة العملية بواسطة أنبوب الفرن ونظام الغاز المُثبتين

• تحميل الرقاقات آليًا والتحكم في الوصفة حسب التكوين

التطبيقات النموذجية

يمكن استخدام جهاز TEL ALPHA 8S في عمليات الأكسدة الحرارية الرطبة أو الجافة، وتنشيط الشوائب، والتلدين الحراري، وغيرها من عمليات أفران الدفعات. كما يمكن للأنظمة المُهيأة بشكل مناسب دعم عمليات الترسيب الكيميائي للبخار عند ضغط منخفض (LPCVD) للسيليكون، أو نتريد السيليكون، أو أكسيد السيليكون.

ينبغي التأكد من التطبيق الدقيق من خلال تسمية العملية، ومادة أنبوب الفرن، وخزانة الغاز، وتكوين وحدة التحكم في تدفق الكتلة، ومعالجة العادم، وقارب الكوارتز، وسجلات العملية المتاحة.

تهيئة وفحص المعدات المستعملة

تم توفير منصة ALPHA 8S بخيارات معالجة متعددة، لذا فإن اسم الطراز وحده لا يُحدد عملية المعالجة المُثبّتة. يجب على العملاء التأكد مما إذا كانت الآلة المتوفرة مُهيأة للأكسدة أو التلدين أو الانتشار أو الترسيب.

قبل تقديم عرض الأسعار، يجب فحص أنبوب الفرن، وحالة السخان، والأواني الكوارتزية، وقارب الرقائق، وآلية التحميل، ولوحة الغاز، ووحدات التحكم في تدفق الكتلة، وأجهزة التحكم في درجة الحرارة، ونظام العادم، والبرمجيات، وحالة التشغيل الحالية.

طلب معلومات عن TEL ALPHA 8S

تواصل مع فريقنا للتحقق من مدى توفر جهاز TEL ALPHA 8S المستعمل حاليًا. يرجى تزويدنا بحجم الرقاقة، والعملية الحرارية المستهدفة، والغازات المطلوبة، وتكوين الدفعة المفضل، وبلد الوجهة، وجدول التركيب.

اتصل بنا للحصول على صور المعدات، وتكوين العملية، والأواني الكوارتزية المضمنة، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.

الأسئلة الشائعة

ما هي أحجام الرقاقات التي يمكن لجهاز TEL ALPHA 8S معالجتها؟

تُحدد القائمة المتاحة النظام المناسب لرقائق السيليكون بقياس 150 مم و200 مم. يجب أن تتوافق قارب الرقائق وأجهزة التحميل المُثبتة مع حجم الرقاقة المطلوب.

هل تم تكوين جميع أجهزة ALPHA 8S لنفس العملية؟

لا. يمكن تهيئة الأنظمة الفردية لعمليات الأكسدة أو التلدين أو الانتشار أو عمليات الترسيب المختارة. يجب التأكد من نظام الأنابيب والغاز المُثبَّت.

هل يمكن لجهاز ALPHA 8S إجراء الأكسدة الرطبة والجافة؟

تم استخدام المنصة للأكسدة الرطبة والجافة، ولكن يجب أن تكون معدات توصيل الغاز وتوليد البخار ومعدات المعالجة المطلوبة موجودة على الآلة المتاحة.

ما الذي يجب فحصه قبل شراء الفرن؟

تشمل الفحوصات المهمة السخان، وأنبوب الفرن، والأواني الكوارتزية، وآلية التحميل، ولوحة الغاز، ووحدات التحكم في تدفق الكتلة، والتحكم في درجة الحرارة، ونظام العادم، وبرامج التشغيل.