نظام AG Associates Heatpulse 8108 RTP
نظام AG Associates Heatpulse 8108 هو نظام معالجة حرارية سريع أحادي الرقاقة يُستخدم في عمليات أشباه الموصلات القصيرة والمضبوطة ذات درجات الحرارة العالية. ويُشير الجدول المتاح إلى أن النظام مُصمم لرقاقات السيليكون بقياس 150 مم و200 مم.
تقوم منصة Heatpulse بتسخين الرقاقة بسرعة باستخدام مصفوفات مصابيح التنجستن، وتتحكم في درجة حرارة العملية من خلال حلقة مغلقة تعتمد على المزدوجة الحرارية أو مقياس الإشعاع الحراري. ويحد التبريد السريع من إجمالي الطاقة الحرارية اللازمة مقارنةً بدورات الأفران التقليدية الأطول.
المواصفات الرئيسية لجهاز AG Heatpulse 8108
| الشركة المصنعة | شركة إيه جي أسوشيتس |
|---|---|
| عائلة المنتجات | نبضة حرارية |
| نموذج | 8108 |
| نوع المعدات | نظام المعالجة الحرارية السريعة أحادي الرقاقة |
| أحجام الرقاقات المدعومة | حتى 200 مم؛ القائمة المتاحة تحدد رقائق السيليكون بقياس 150 مم و200 مم |
| طريقة التسخين | صفائف مصابيح التنجستن العلوية والسفلية |
| قياس درجة الحرارة | مزدوجة حرارية أو مقياس حرارة، حسب التكوين المُثبَّت |
| التحكم في درجة الحرارة | التحكم في درجة حرارة العملية بنظام الحلقة المغلقة |
| طريقة التبريد | تبريد المبادل الحراري ذي الجدار البارد في المنصة المنشورة |
| تطبيقات العمليات المنشورة | التلدين، والانتشار المتحكم به، والأكسدة، والتنشيط، وتكوين السيليسيد |
| جو العملية | يعتمد ذلك على لوحة الغاز المثبتة، والحجرة، والخيارات المتاحة. |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي، والفحص، وتأكيد التكوين |
ميزات المعدات الرئيسية
المعالجة الحرارية السريعة للرقاقة الواحدة
دعم منشور للركائز حتى 200 مم
تسخين سريع للرقاقات باستخدام مصباح التنجستن
التحكم في درجة الحرارة باستخدام المزدوجة الحرارية أو مقياس الإشعاع الحراري ذي الحلقة المغلقة
تصميم جدار بارد لتبريد سريع بعد المعالجة
مناسب للأبحاث والإنتاج التجريبي وعمليات التصنيع المتوافقة
التطبيقات النموذجية
يمكن استخدام جهاز Heatpulse 8108 في عمليات التلدين بعد الزرع، وتنشيط الشوائب، والانتشار المتحكم فيه، والأكسدة الحرارية السريعة، وتكوين السيليسيد أو الساليسيد، وإعادة التدفق، وغيرها من العمليات الحرارية قصيرة المدة.
تعتمد توافقية العملية على مادة الرقاقة، وحجرات الكوارتز، ومستشعر درجة الحرارة، وحالة المصباح، وتوصيل الغاز، ومراقبة الأكسجين، ومجموعة الوصفات المتاحة. يجب مراجعة العملية المطلوبة مع تكوين الجهاز المُثبَّت.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
قد تختلف أنظمة Heatpulse 8108 في مستشعر درجة الحرارة، ولوحة الغاز، وخيار مراقبة الأكسجين، وحامل الرقاقة، وبرنامج التحكم، ومتطلبات المنشأة. يجب تحديد هذه المكونات في الجهاز المتاح قبل تقديم عرض السعر.
تشمل نقاط الفحص المهمة مصابيح التنجستن، والعاكسات، وغرفة الكوارتز، والمزدوجة الحرارية أو مقياس الإشعاع الحراري، ومكونات رفع وتدوير الرقاقة، ونظام التبريد، وصمامات الغاز، وأجهزة التعشيق الآمنة، ووحدة التحكم، والوصفات، وحالة التشغيل الحالية.
طلب معلومات عن جهاز AG Heatpulse 8108
اتصل بفريقنا للتحقق من التوافر الحالي لجهاز AG Associates Heatpulse 8108 المستعمل. يرجى تزويدنا بحجم الرقاقة، ومادة الركيزة، وعملية التلدين أو الأكسدة المستهدفة، والجو المطلوب، وبلد الوجهة، وجدول التثبيت.
اتصل بنا للحصول على صور حديثة، وتكوين التحكم في درجة الحرارة، وحالة الغرفة، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هو حجم الرقاقة الذي يمكن لجهاز Heatpulse 8108 معالجته؟
تدعم منصة Heatpulse 8108 ركائز يصل قطرها إلى 200 مم. يجب أن يتطابق حامل الرقاقة المثبت مع القطر المطلوب.
ما الفرق بين فرن RTP وفرن الدفعات؟
تقوم تقنية RTP بتسخين رقاقة واحدة بسرعة لدورة معالجة قصيرة، بينما يقوم فرن الانتشار التقليدي عادةً بتسخين مجموعة من الرقائق على مدار دورة حرارية أطول.
ما هي العمليات التي يمكن لجهاز Heatpulse 8108 القيام بها؟
تشمل التطبيقات المنشورة التلدين، وتنشيط الشوائب، والأكسدة، والانتشار المتحكم فيه، وإعادة التدفق، وتكوين السيليسيد.
هل تستخدم جميع أجهزة 8108 نفس مستشعر درجة الحرارة؟
لا. قد تستخدم الأنظمة المتاحة مزدوجًا حراريًا أو مقياس حرارة أو تكوين استشعار خاص بالعملية. يجب التأكد من نوع المستشعر المُثبَّت قبل اختيار الجهاز.
