ウェハーソーの修理、部品、交換に関するサポート

刃の破損が繰り返される、スピンドル負荷が高い、異音や振動が発生する、刃の検出アラームが鳴る、切断幅が変化する、レシピを復元した後も粗いエッジや欠けが残る。

• 異音、刃の損傷、または強い振動が発生した場合は、機械を停止してください。
• 刃の仕様、露出状態、フランジの状態、スピンドル負荷、および問題が発生した正確な切断箇所を記録してください。
• 許可されている場合は、正常な刃物と比較し、症状に変化があるかどうかを記録してください。

• フランジおよびブレード取り付け部品の検索
• スピンドル関連部品またはモジュールのレビュー
• スピンドルまたは切削モジュールの修理方向
• 修復が困難な場合の交換用ウェハーソー

真空度が低いまたは不安定な場合、ウェーハの動き、フレームクランプの誤差、テープ下の水、局所的なチッピング、切断深さのばらつき、またはウェーハの特定領域に集中した欠陥。

• テープ、フレームの位置、およびアクセス可能なチャック表面に、しわ、異物、または目に見える損傷がないか点検してください。
• 故障発生前と発生中の真空値を記録し、別の承認済みフレームまたはワークピースを使用した場合に問題が変化するかどうかも記録してください。
• 欠陥が同じテーブル領域内に留まるのか、それともウェーハや実装条件に沿って発生するのかを確認してください。

• チャックテーブル、クランプ、治具部品
• 真空ポンプ、バルブ、シール、センサー
• ワーク保持モジュールの修理または交換
• 中古機械またはテーブル対応機器の検索

位置合わせマークが見つからない、画像のコントラストが変化する、フォーカスが不安定になる、切り込み幅チェックが失敗する、切り込み位置がヘアラインからずれる、またはカメラ、照明、ソフトウェアの動作後にエラーが発生する。

• リセットする前に、ライブ画像、アライメントターゲット、切断幅画像、およびアラーム画面全体を保存してください。
• 汚染がないか、アクセス可能なカメラの窓と照明面のみを点検してください。
• 問題が特定のレシピや加工品のみに影響するのか、それとも複数の製品にまたがって発生するのかを比較してください。

• カメラ、照明、センサー、ケーブル
• ビジョンボードとアライメントモジュール
• 校正または修理の方向
• モデルとラベルで識別される交換モジュール

流量または圧力アラーム、ノズルの詰まり、漏れ、異常な水温、スピンドル冷却アラーム、切削溝に残った異物、またはフィルター、ポンプ、ユーティリティのメンテナンス後の不安定な結果。

• 表示された流量、圧力、温度の値と、アラームの正確な位置を記録してください。
• 機械が安全な状態になった後、アクセス可能なフィルター、ノズル、ホース、および漏れ箇所を点検してください。
• 工場の給水設備、チラー、フィルター、またはメンテナンススケジュールに最近変更があった場合は、その旨をメモしておいてください。

• ポンプ、バルブ、フィルター、流量センサー
• ノズル、ホース、冷却部品
• ユーティリティモジュールの修理または交換
• モデル、ラベル、写真から部品が一致している

ホーミング失敗、サーボまたは追従エラー、エンコーダーアラーム、動作中の1軸の停止、再現性のある位置オフセット、異常な振動、または衝突、電源障害、または大規模メンテナンス後に発生した障害。

• アラームの内容、影響を受けた軸、および不具合が発生した動作ステップをすべて記録してください。
• 問題発生直前に発生した衝突、停電、ケーブルの移動、またはメンテナンス作業について、すべて記録しておいてください。
• 安全なシャットダウン後、手順で許可されている外部からアクセス可能なケーブルとコネクタのみを点検してください。

• モーター、ドライブ、エンコーダー、ケーブル
• 軸およびモーションモジュールの修理または交換
• 電子部品とコネクタのマッチング
• 重大な損傷後の代替機の評価

積み込みまたは積み下ろしが停止する、移送が失敗する、洗浄または乾燥に不具合が生じる、モジュールが1つオフラインのままになる、起動がフリーズする、通信が途絶える、安全エラーが繰り返される、または複数のサブシステムが同時に故障する。

• 正確なサイクルステップ、センサーの状態、および完全な起動またはアラームシーケンスを記録してください。
• 目に見える障害物がないか確認し、最近のソフトウェア、基板、ネットワーク、電源、またはメンテナンスの変更点をメモしてください。
• 安全回路をバイパスしてはいけません。可能な限り、元の警報装置と入出力画面を保存してください。

• 搬送装置、積載装置、洗浄システム部品
• コントローラ、ボード、電源、I/Oモジュール
• モジュールの修理、交換、または部品の交換
• 生産復旧またはバックアップ用のウェハーソーを使用