พิจารณาระบบมือสองในกลุ่มผลิตภัณฑ์เดียวกันหรือระบบที่เกี่ยวข้อง เมื่อกระบวนการที่มีอยู่ยังคงมีคุณค่า แต่การหาแพลตฟอร์มเดิมใหม่ทำได้ยาก
อุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์ขั้นต้น
อุปกรณ์การตกตะกอนฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์
สำรวจอุปกรณ์การผลิตฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์มือสอง รวมถึงระบบ CVD และ PECVD สำหรับฟิล์มไดอิเล็กทริกและฟิล์มพาสซิเวชัน แพลตฟอร์ม PVD และสปัตเตอร์ริ่งสำหรับชั้นโลหะและชั้นกั้น อุปกรณ์ ALD สำหรับฟิล์มบางพิเศษแบบคอนฟอร์มอล และระบบเอพิแท็กซีหรือ MOCVD ที่เลือกไว้ ส่งข้อมูลรุ่น ฟิล์มเป้าหมาย ขนาดเวเฟอร์ แพลตฟอร์มปัจจุบัน หรือข้อมูลอุปกรณ์ที่มีอยู่ เพื่อเริ่มต้นการตรวจสอบความเหมาะสมของอุปกรณ์ ความเข้ากันได้ของกระบวนการ และข้อกำหนดด้านสาธารณูปโภคของโรงงาน
โรคหลอดเลือดหัวใจและโรคหลอดเลือดหัวใจตีบตันชนิด PECVD
PVD และการสปัตเตอร์ริ่ง
เอแอลดี
การปลูกผลึกแบบ Epitaxy และ MOCVD
อุปกรณ์การผลิตสารกึ่งตัวนำมือสองพร้อมจำหน่าย
ตรวจสอบระบบการเคลือบแบบ CVD, PECVD, PVD, sputtering, ALD และระบบการเคลือบแบบพิเศษที่มีอยู่ โดยจะยืนยันรายละเอียดของฟิล์มเป้าหมาย การกำหนดค่าห้องเคลือบ ขนาดเวเฟอร์ ตัวเลือกที่ติดตั้ง สภาพการใช้งาน และขอบเขตการส่งมอบสำหรับเครื่องจักรแต่ละเครื่อง
การจัดหาอุปกรณ์
ส่งความต้องการเกี่ยวกับแบบจำลองหรือภาพยนตร์
ต้องการแพลตฟอร์มรับฝากเงินที่ยังไม่มีอยู่ในรายการใช่หรือไม่?
โปรดส่งข้อมูลผู้ผลิต รุ่น ฟิล์มเป้าหมาย การกำหนดค่าห้อง ขนาดเวเฟอร์ แพลตฟอร์มการผลิตปัจจุบัน หรือรูปภาพที่มีอยู่ เราสามารถตรวจสอบรายการสินค้าที่ใช้งานอยู่ อุปกรณ์ที่อยู่ระหว่างการเตรียมการ และการจัดหาอุปกรณ์ตามคำขอสำหรับแพลตฟอร์มที่ต้องการหรือทางเลือกอื่นที่เกี่ยวข้องได้
วิธีการเคลือบที่แตกต่างกันช่วยแก้ปัญหาฟิล์มที่แตกต่างกัน
ตารางนี้เป็นจุดเริ่มต้นที่เป็นประโยชน์สำหรับผู้ซื้อ แต่ไม่สามารถทดแทนการตรวจสอบแพลตฟอร์มอย่างละเอียดได้ เนื่องจากวัสดุชนิดหนึ่งอาจถูกตกตะกอนด้วยวิธีการมากกว่าหนึ่งวิธี และผลลัพธ์ที่แน่นอนยังคงขึ้นอยู่กับห้องอบ ระยะเวลาการทำงาน และสูตรที่เหมาะสม
| สิ่งที่คุณต้องใช้ในการสร้าง | คำแนะนำเกี่ยวกับอุปกรณ์ที่อาจเกี่ยวข้อง | เหตุผลที่ผู้ซื้อพิจารณา |
|---|---|---|
| ฟิล์มไดอิเล็กทริก ฟิล์มพาสซิเวชัน ฟิล์มฮาร์ดมาสก์ หรือฟิล์มที่ทำจากซิลิคอนทั่วไป | โรคหลอดเลือดหัวใจ / โรคหลอดเลือดหัวใจตีบชนิด PECVD | มักใช้ในกระบวนการผลิตฟิล์มที่เน้นการผลิตจำนวนมาก ซึ่งอัตราการสะสม ความสามารถในการทำซ้ำ และปริมาณงานที่สามารถดำเนินการได้จริงมีความสำคัญ |
| ชั้นโลหะ ชั้นกั้น ชั้นอิเล็กโทรด หรือชั้นสัมผัส | PVD / การสปัตเตอร์ | กระบวนการนี้ใช้ในการถ่ายโอนวัสดุเป้าหมายไปยังแผ่นเวเฟอร์โดยใช้วิธีการสปัตเตอร์หรือการระเหย และใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับฟิล์มนำไฟฟ้าและฟิล์มกั้น |
| ฟิล์มบางพิเศษบนโครงสร้างสามมิติที่ลึกหรือซับซ้อน | ALD / PEALD | ช่วยให้ควบคุมความหนาได้อย่างแม่นยำและครอบคลุมพื้นผิวได้ดีในบริเวณที่ต้องการความสม่ำเสมอ เช่น ผนังด้านข้าง ร่อง และส่วนประกอบที่มีอัตราส่วนความสูงต่อความกว้างสูง |
| ชั้นซิลิคอนผลึกหรือชั้นสารกึ่งตัวนำเชิงซ้อน | เอพิแท็กซี / MOCVD | ใช้สำหรับควบคุมการเจริญเติบโตของผลึก เช่น การปลูกผลึกซิลิคอนแบบเอพิแท็กซี, GaN, GaAs, InP และโครงสร้างสารกึ่งตัวนำแบบผสมอื่นๆ ที่เกี่ยวข้อง |
ชื่อเทคโนโลยีเป็นเพียงด่านแรกของการตัดสินใจเท่านั้น การเลือกอุปกรณ์ขั้นสุดท้ายยังขึ้นอยู่กับคุณภาพของฟิล์ม งบประมาณด้านอุณหภูมิ วัสดุตั้งต้นหรือวัสดุเป้าหมาย การครอบคลุมโครงสร้าง ขนาดเวเฟอร์ ผลผลิต และกระบวนการที่ผ่านการรับรองแล้วในสายการผลิตด้วย
สี่ความเสี่ยงที่ควรตรวจสอบก่อนซื้อระบบฝากเงินมือสอง
ชื่อรุ่นอาจดูเหมาะสม แต่ปัญหาที่แท้จริงอาจซ่อนอยู่ภายในห้องทดสอบ ผลลัพธ์ของฟิล์ม การเชื่อมต่อกับโรงงาน หรือกำลังการผลิต การตรวจสอบทั้งสี่ข้อนี้จะช่วยพิจารณาว่าเครื่องจักรนั้นคุ้มค่าที่จะนำไปประเมินอย่างละเอียดหรือไม่
| สิ่งที่เราตรวจสอบ | สิ่งที่เราตรวจสอบ | ความเสี่ยงที่ช่วยหลีกเลี่ยง |
|---|---|---|
| สามารถสร้างฟิล์มตามที่คุณต้องการได้หรือไม่? | การกำหนดค่าห้อง วัสดุตั้งต้นหรือวัสดุเป้าหมาย ก๊าซในกระบวนการ การตั้งค่า RF และระบบทำความร้อน และการใช้งานฟิล์มที่เกี่ยวข้องกับแพลตฟอร์มอยู่แล้ว | หลีกเลี่ยงการเคลื่อนย้ายเครื่องจักรไปยังสถานที่ติดตั้ง แล้วพบว่าห้องเผาไหม้ เส้นทางก๊าซ หรือการตั้งค่ากระบวนการทำงานไม่สามารถผลิตฟิล์มได้ตามที่ต้องการ |
| สามารถตอบสนองความต้องการด้านคุณภาพและการครอบคลุมของภาพยนตร์ได้หรือไม่? | ความหนาเป้าหมาย ความสม่ำเสมอของเวเฟอร์ ความเครียด อนุภาค ข้อบกพร่อง การครอบคลุมขั้นบันได ความสอดคล้อง และโครงสร้างระนาบหรือสามมิติที่ฟิล์มต้องเข้าถึง | หลีกเลี่ยงปัญหาความไม่สม่ำเสมอ อนุภาค หรือการปกคลุมที่ไม่ดี ซึ่งอาจลดผลผลิตหรือทำให้การตรวจสอบคุณสมบัติของกระบวนการล่าช้า |
| สภาพแวดล้อมการผลิตเวเฟอร์และโรงงานของคุณรองรับได้หรือไม่? | ขนาดและการจัดการเวเฟอร์ ขนาดพื้นที่ติดตั้งอุปกรณ์ กำลังไฟ ระบบสุญญากาศ ระบบระบายอากาศ ระบบระบายความร้อน การควบคุมอุณหภูมิ และการเชื่อมต่อก๊าซพิเศษหรือสารตั้งต้น | หลีกเลี่ยงการรับเครื่องจักรมาแล้วพบว่าระบบไฟฟ้า ระบบน้ำหล่อเย็น ระบบระบายอากาศ ระบบจ่ายก๊าซ หรือระบบเชื่อมต่อภายในอาคารที่มีอยู่ไม่สามารถรองรับเครื่องจักรนั้นได้ |
| สามารถตอบโจทย์เป้าหมายการผลิตของคุณได้หรือไม่? | การจัดการเวเฟอร์แบบเดี่ยวหรือแบบเป็นชุด จำนวนห้อง เวลาต่อรอบ ระบบอัตโนมัติ ทิศทาง WPH ที่คาดหวัง และผลผลิตที่ต้องการของสายการผลิตที่มีอยู่ | หลีกเลี่ยงการเพิ่มเครื่องจักรที่มีขีดความสามารถในการประมวลผล แต่ทำงานช้าเกินไปจนกลายเป็นปัญหาคอขวดในการผลิต |
ตรวจสอบคุณภาพของฟิล์ม การผลิต และความเหมาะสมในการผลิตก่อนตัดสินใจเลือกซื้อเครื่องจักร
ขอรับการตรวจสอบความเหมาะสมของระบบการให้คำมั่นสัญญา
ส่งฟิล์มเป้าหมาย แพลตฟอร์มปัจจุบัน ข้อมูลห้อง ขนาดเวเฟอร์ อุณหภูมิกระบวนการ สภาพแวดล้อมของโรงงาน หรือรูปถ่ายที่มีอยู่ เราจะช่วยระบุความเสี่ยงหลักและรายละเอียดที่ยังต้องตรวจสอบเพิ่มเติม
ดำเนินการตามกระบวนการฟิล์มบางที่ได้รับการพิสูจน์แล้วต่อไป
โดยทั่วไปแล้วโรงงานผลิตฟิล์มมักพิจารณาใช้เครื่องเคลือบฟิล์มมือสองเพื่อรักษาคุณภาพของกระบวนการผลิตฟิล์ม ทดแทนแพลตฟอร์มที่เลิกผลิตไปแล้ว เพิ่มกำลังการผลิตในสายการผลิตที่มีอยู่เดิม หรือนำห้องเคลือบและชิ้นส่วนสำคัญที่จำเป็นต่อการรักษาระบบการผลิตที่มีอยู่ให้สามารถใช้งานต่อไปได้
เพิ่มผลผลิตโดยไม่ต้องสร้างกระบวนการที่มีคุณภาพขึ้นใหม่ทั้งหมดโดยใช้เครื่องมือและอุปกรณ์รุ่นใหม่ที่แตกต่างไปจากเดิมอย่างสิ้นเชิง
ให้การสนับสนุนระบบรุ่นเก่าด้วยชุดประกอบห้องเผาไหม้ ฮีตเตอร์ ส่วนประกอบ RF ปั๊ม วาล์ว ชิ้นส่วนส่งก๊าซ และอุปกรณ์อื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับแพลตฟอร์ม หากมีจำหน่าย
กำหนดขอบเขตการส่งมอบ จากนั้นให้การสนับสนุนระบบที่ติดตั้ง
เอกสารการส่งมอบจะยืนยันอย่างชัดเจนว่าเครื่องจักร ห้อง อุปกรณ์เสริม บรรจุภัณฑ์ และขอบเขตการบริการใดบ้างที่รวมอยู่ด้วย การสนับสนุนหลังการขายจะเริ่มต้นในภายหลัง เมื่อระบบการตกตะกอนที่มีอยู่หรือที่ส่งมอบไปแล้วต้องการความช่วยเหลือเกี่ยวกับสัญญาณเตือน สุญญากาศ ห้อง การทำความร้อน RF การจ่ายก๊าซ การติดตั้ง หรือชิ้นส่วนอะไหล่
ยืนยันเครื่องจักร ห้องทดสอบ และขอบเขตการส่งมอบงาน
- รายชื่อแพลตฟอร์มและหอการค้าเฉพาะ
ยืนยันรายละเอียดเครื่องจักร การกำหนดค่าห้อง อุปกรณ์ที่รวมอยู่ สภาพการใช้งาน และอุปกรณ์เสริมที่ตกลงกันไว้
- การถอดประกอบ การบรรจุ และการจัดส่ง
ระบุให้ชัดเจนว่าใครจะเป็นผู้รับผิดชอบในการถอดชิ้นส่วน บรรจุภัณฑ์เพื่อการส่งออก การขนถ่าย การขนส่ง และการส่งมอบสินค้าไปยังท่าเรือหรือสถานที่ที่ตกลงกันไว้
- การเตรียมสาธารณูปโภคและกระบวนการ
ตรวจสอบข้อกำหนดเกี่ยวกับก๊าซ สารตั้งต้น สุญญากาศ ไอเสีย ระบบระบายความร้อน พลังงาน และการควบคุมอุณหภูมิก่อนการติดตั้ง
- ขอบเขตการรับประกันและการสนับสนุนที่ตกลงกันไว้
ระบุระยะเวลาการรับประกัน กระบวนการแจ้งปัญหา การสนับสนุนระยะไกล และรายละเอียดการซ่อมแซม การติดตั้ง หรือบริการนอกสถานที่ที่ตกลงกันไว้ในใบเสนอราคา
ตรวจสอบระบบที่ได้รับก่อนเริ่มใช้งาน
- เงื่อนไขการบรรจุและการขนส่ง
บันทึกความเสียหายที่มองเห็นได้ ร่องรอยการกระแทกหรือการเอียง ความชื้น และสภาพการขนถ่ายก่อนแกะกล่อง
- ตรวจสอบรายการจัดส่งให้ตรงกัน
ตรวจสอบแท่นวาง ห้อง หมายเลขซีเรียล อุปกรณ์เสริม และโมดูลที่ตกลงกันไว้ กับรายการบรรจุภัณฑ์หรือรายการส่งมอบ
- ตรวจสอบห้องและตัวล็อคสำหรับการขนส่ง
ตรวจสอบสภาพภายในห้อง ชุดประกอบที่เคลื่อนที่ได้ หุ่นยนต์ ตัวล็อค และสิ่งของหลวม ๆ ก่อนที่จะจ่ายไฟ ดูดสุญญากาศ หรือปล่อยก๊าซในกระบวนการผลิต
- รายงานสภาวะผิดปกติโดยเร็ว
หากพบสิ่งใดเสียหาย สูญหาย หรือไม่สอดคล้องกัน โปรดส่งรูปถ่าย วิดีโอ ข้อมูลการแจ้งเตือน รายละเอียดหมายเลขประจำเครื่อง หรือฉลากชิ้นส่วนก่อนเริ่มใช้งาน
บริการหลังการขายและการสนับสนุนระบบที่มีอยู่เดิม
รีวิวระบบเตือนภัยและเครื่องดูดฝุ่น
ห้องทดสอบ, เครื่องทำความร้อน และอุปกรณ์รองรับ RF
การจับคู่ชิ้นส่วนอะไหล่
ความช่วยเหลือในการติดตั้งและเริ่มต้นใช้งาน
การสนับสนุนทางเทคนิคสำหรับระบบการวางตะกอนที่มีอยู่และที่ส่งมอบใหม่
เมื่อระบบที่มีอยู่หรือระบบที่ส่งมอบใหม่เกิดปัญหา เช่น สัญญาณเตือนภัย ปัญหาสุญญากาศ ความผิดพลาดของห้อง ปัญหาความร้อน ปัญหาคลื่นวิทยุ ปัญหาการส่งก๊าซ หรือความต้องการอะไหล่ ทีมงานด้านเทคนิคและบริการของเราสามารถช่วยตรวจสอบข้อมูลที่มีอยู่และประสานงานขั้นตอนต่อไปที่เหมาะสมได้
จัดระเบียบหน้าจอแสดงสัญญาณเตือน พฤติกรรมแรงดัน สภาพการทำงาน รูปภาพหรือวิดีโอ และทบทวนทิศทางของปัญหาที่น่าจะเป็นไปได้ก่อนการตรวจสอบหรือซ่อมแซม
หารือเกี่ยวกับแนวทางการตรวจสอบ ซ่อมแซม หรือฟื้นฟูสภาพสำหรับชุดประกอบห้อง เครื่องทำความร้อน ส่วนประกอบ RF ปั๊ม วาล์ว และระบบย่อยที่เกี่ยวข้อง
ตรวจสอบความสัมพันธ์ของแพลตฟอร์มและตัวเลือกชิ้นส่วนที่เป็นไปได้จากรุ่นเครื่องจักร ชื่อห้อง หมายเลขชิ้นส่วน ฉลาก หรือรูปภาพของชิ้นส่วน
ตรวจสอบระบบสาธารณูปโภค ระบบล็อคการขนส่ง การตรวจสอบการรั่วไหล ระบบสุญญากาศ ก๊าซ การสื่อสาร และคำถามเกี่ยวกับการเริ่มต้นใช้งานครั้งแรก ก่อนเริ่มการใช้งานตามปกติ
ขอบเขตการซ่อมแซม การบูรณะ การทดสอบระบบ การบริการนอกสถานที่ และการรับประกันเฉพาะเจาะจงจะได้รับการยืนยันสำหรับเครื่องจักรแต่ละเครื่องและในใบเสนอราคา
ขอรับการสนับสนุนระบบการให้คำมั่นสัญญาคำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับอุปกรณ์การตกตะกอนฟิล์มบาง
คำถามเหล่านี้ครอบคลุมประเด็นหลักที่ผู้ซื้อต้องเผชิญเมื่อตรวจสอบระบบการตกตะกอนสารกึ่งตัวนำมือสอง เช่น CVD, PECVD, PVD, ALD และระบบอื่นๆ
อุปกรณ์ CVD, PECVD, PVD และ ALD แตกต่างกันอย่างไร?
CVD และ PECVD สร้างฟิล์มผ่านปฏิกิริยาเคมี โดย PECVD ใช้พลาสมาช่วย PVD ถ่ายโอนวัสดุจากเป้าหมายหรือแหล่งระเหย ALD สร้างฟิล์มผ่านปฏิกิริยาบนพื้นผิวแบบจำกัดตัวเองซ้ำๆ เพื่อให้ได้ความหนาที่แม่นยำและการเคลือบที่สม่ำเสมอ การเลือกใช้ขึ้นอยู่กับฟิล์มเป้าหมายและข้อกำหนดของกระบวนการ
ฉันจะรู้ได้อย่างไรว่าระบบการเคลือบฟิล์มสามารถประมวลผลฟิล์มเป้าหมายของเราได้หรือไม่?
เริ่มต้นด้วยวัสดุเป้าหมาย การใช้งานห้องอบ วัสดุตั้งต้นหรือวัสดุเป้าหมาย ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการ ช่วงอุณหภูมิ ขนาดเวเฟอร์ และประวัติการใช้งานของแพลตฟอร์ม ข้อมูลเหล่านี้จะช่วยระบุว่าเครื่องจักรนั้นคุ้มค่าแก่การประเมินอย่างละเอียดหรือไม่
แพลตฟอร์มเดียวกันสามารถมีรูปแบบห้องที่แตกต่างกันได้หรือไม่?
ใช่แล้ว อุปกรณ์ในตระกูลเดียวกันอาจมีห้องทำงาน ระบบจ่ายแก๊ส คลื่นวิทยุ (RF) ฮีตเตอร์ ระบบจัดการเวเฟอร์ ซอฟต์แวร์ และอุปกรณ์เสริมที่ติดตั้งแตกต่างกันได้ จึงจำเป็นต้องตรวจสอบรายละเอียดของเครื่องจักรแต่ละเครื่องให้แน่ชัด แทนที่จะคิดว่าทุกเครื่องเหมือนกันหมด
ควรตรวจสอบอะไรบ้างเมื่อทำการเปลี่ยนระบบการตกตะกอนที่มีอยู่เดิม?
ตรวจสอบคุณสมบัติของฟิล์ม การกำหนดค่าห้อง ขนาดเวเฟอร์ อุณหภูมิกระบวนการ ระบบก๊าซหรือสารตั้งต้น ระบบอัตโนมัติ ระบบสาธารณูปโภค การสร้างซอฟต์แวร์ และการเปลี่ยนแปลงที่จำเป็นในทางปฏิบัติสำหรับการบูรณาการ
คุณสามารถจัดหาแพลตฟอร์มการรับฝากเอกสารที่ยังไม่มีอยู่ในรายการได้หรือไม่?
ใช่ค่ะ กรุณาส่งข้อมูลผู้ผลิต รุ่น ฟิล์มเป้าหมาย ข้อมูลห้องอบ ขนาดเวเฟอร์ หรือแพลตฟอร์มปัจจุบันมาให้เรา เราสามารถตรวจสอบรายการปัจจุบัน อุปกรณ์ที่อยู่ระหว่างการเตรียมการ และความเป็นไปได้ในการจัดหาเพิ่มเติมตามคำขอได้ค่ะ
คุณจำหน่ายห้องตกตะกอน โมดูล และชิ้นส่วนอะไหล่หรือไม่?
คำขออาจรวมถึงชุดประกอบห้องเผาไหม้ ฮีตเตอร์ ชิ้นส่วน RF ปั๊ม วาล์ว ชิ้นส่วนส่งก๊าซ ตัวควบคุม และรายการอื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับแพลตฟอร์ม ต้องตรวจสอบความพร้อมใช้งานโดยเทียบกับข้อมูลเครื่องจักร ห้องเผาไหม้ และชิ้นส่วนที่แน่นอน
ส่งรายละเอียดความต้องการอุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบางของคุณ
โปรดแจ้งรายละเอียดเกี่ยวกับฟิล์มเป้าหมาย อุปกรณ์ปัจจุบัน รุ่น รูปภาพห้องอบ ขนาดเวเฟอร์ อุณหภูมิกระบวนการ เป้าหมายการเปลี่ยน หรือข้อกำหนดในการจัดหา เราจะใช้ข้อมูลที่มีอยู่เพื่อจำกัดทิศทางของอุปกรณ์และระบุขั้นตอนการตรวจสอบที่เหมาะสมต่อไป