Overweeg vergelijkbare of relevante gebruikte systemen wanneer het bestaande proces nog steeds waardevol is, maar het oorspronkelijke platform moeilijk nieuw te verkrijgen is.
Front-End Wafer Fab-apparatuur
Apparatuur voor het afzetten van halfgeleiderdunne films
Ontdek gebruikte apparatuur voor de depositie van dunne halfgeleiderfilms, waaronder CVD- en PECVD-systemen voor diëlektrische en passiveringslagen, PVD- en sputterplatforms voor metaal- en barrièrelagen, ALD-apparatuur voor ultradunne conforme films en geselecteerde epitaxie- of MOCVD-systemen. Stuur ons het model, de gewenste film, de wafergrootte, het huidige platform of de beschikbare apparatuurinformatie om de geschiktheid van de apparatuur, de procescompatibiliteit en de vereisten voor de fabriek te beoordelen.
CVD & PECVD
PVD & Sputteren
ALD
Epitaxie & MOCVD
Beschikbare gebruikte halfgeleiderafzettingsapparatuur
Bekijk de actuele CVD-, PECVD-, PVD-, sputter-, ALD- en speciale depositiesystemen, indien beschikbaar. De targetfilm, kamerconfiguratie, wafergrootte, geïnstalleerde opties, bekende staat en leveringsomvang worden voor de specifieke machine bevestigd.
Apparatuurinkoop
Stuur een model- of filmaanvraag in.
Zoekt u een platform voor getuigenverhoren dat momenteel niet in de lijst staat?
Stuur ons de fabrikant, het model, de doelfilm, de kamerconfiguratie, de wafergrootte, het huidige productieplatform of beschikbare foto's. We kunnen actuele aanbiedingen, apparatuur in ontwikkeling en op aanvraag de benodigde platformen of een relevant alternatief bekijken.
Verschillende afzettingsmethoden lossen verschillende filmproblemen op.
De tabel biedt kopers een praktisch uitgangspunt. Het vervangt echter geen gedetailleerde beoordeling van het platform, omdat een materiaal via meerdere methoden kan worden aangebracht en het exacte resultaat nog steeds afhangt van de kamer, het procesvenster en het gekwalificeerde recept.
| Wat je nodig hebt om te bouwen | Apparatuurinstructies die relevant kunnen zijn | Waarom kopers het overwegen |
|---|---|---|
| Gangbare diëlektrische, passiverings-, hardmask- of siliciumgebaseerde films | CVD / PECVD | Vaak gebruikt voor gevestigde, op productie gerichte filmprocessen waarbij afzettingssnelheid, herhaalbaarheid en praktische doorvoer van belang zijn. |
| Metaal-, barrière-, elektrode- of contactlagen | PVD / Sputteren | Het brengt het doelmateriaal over op de wafer via sputter- of verdampingsprocessen en wordt veel gebruikt voor geleidende en barrièrefilms. |
| Ultradunne films op diepe of complexe driedimensionale structuren | ALD / PAREL | Biedt nauwkeurige dikteregeling en een sterke, conforme dekking waar zijwanden, groeven en elementen met een hoge aspectverhouding van belang zijn. |
| Kristallijn silicium of samengestelde halfgeleiderlagen | Epitaxie / MOCVD | Gebruikt voor gecontroleerde kristalgroei, zoals siliciumepitaxie, GaN, GaAs, InP en verwante samengestelde halfgeleiderstructuren. |
De naam van een technologie is slechts de eerste stap in het besluitvormingsproces. De uiteindelijke keuze van de apparatuur hangt ook af van de filmkwaliteit, het temperatuurbudget, het precursor- of doelmateriaal, de structuurdekking, de wafergrootte, de productiecapaciteit en het proces dat al op de lijn is gekwalificeerd.
Vier risico's om te controleren voordat u een gebruikt getuigenverhoorsysteem koopt.
Een modelnaam kan er veelbelovend uitzien, terwijl de werkelijke problemen verborgen blijven in de printkamer, het filmresultaat, de fabricageverbinding of de productiecapaciteit. Deze vier controles helpen bepalen of een specifieke machine een gedetailleerde evaluatie waard is.
| Wat we controleren | Wat we beoordelen | Risico dat hiermee wordt vermeden |
|---|---|---|
| Kan het de film produceren die je voor ogen hebt? | Kamerconfiguratie, precursor- of doelmateriaal, procesgassen, RF- en verwarmingsopstelling, en de filmtoepassingen die al met het platform geassocieerd zijn. | Vermijd het verplaatsen van een machine naar de locatie om er vervolgens achter te komen dat de kamer, het gaspad of de procesinstellingen niet de gewenste film kunnen produceren. |
| Voldoet het aan de eisen qua filmkwaliteit en beelddekking? | Doeldikte, waferuniformiteit, spanning, deeltjes, defecten, stapdekking, conformiteit en de vlakke of driedimensionale structuren die de film moet bereiken. | Vermijd problemen met slechte uniformiteit, deeltjes of dekking die de opbrengst kunnen verlagen of de proceskwalificatie kunnen vertragen. |
| Zijn uw wafer- en fab-omstandigheden geschikt hiervoor? | Wafergrootte en -verwerking, afmetingen van de apparatuur, stroomvoorziening, vacuüm, afzuiging, koeling, temperatuurregeling en aansluitingen voor speciale gassen of precursoren. | Voorkom dat u een machine ontvangt om er vervolgens achter te komen dat de bestaande stroomvoorziening, koelwatervoorziening, afvoer, gasvoorziening of aansluitingen van de installatie deze niet ondersteunen. |
| Kan het aan uw productiedoelstelling voldoen? | Handling van afzonderlijke wafers of batches, aantal kamers, cyclustijd, automatisering, verwachte WPH-richting en de vereiste output van de bestaande productielijn. | Vermijd het toevoegen van een machine die weliswaar processen aankan, maar te traag is en de volgende productieknelpunt wordt. |
Controleer of de film, de fabricage en de productie overeenkomen voordat je een machine aanschaft.
Vraag een geschiktheidsbeoordeling van het getuigenverklaringsysteem aan.
Stuur ons de beoogde film, het huidige platform, kamerinformatie, wafergrootte, procestemperatuur, faciliteitsomstandigheden of beschikbare foto's. Wij helpen u de belangrijkste risico's en de details die nog geverifieerd moeten worden in kaart te brengen.
Ga door met een beproefd dunnefilmproces.
Gebruikte depositieapparatuur wordt vaak overwogen wanneer een chipfabrikant een gekwalificeerd filmproces wil behouden, een uitgefaseerd platform wil vervangen, de capaciteit van een volwassen productielijn wil uitbreiden of de kamers en kritieke onderdelen wil terugwinnen die nodig zijn om een bestaand systeem in productie te houden.
Verhoog de productie zonder direct een gekwalificeerd proces opnieuw op te bouwen rond een compleet andere generatie apparatuur.
Ondersteun oudere systemen met kamerassemblages, verwarmingselementen, RF-componenten, pompen, kleppen, gasleveringsonderdelen en andere platformgerelateerde items, indien beschikbaar.
Definieer de leveringsomvang en bied vervolgens ondersteuning voor het geïnstalleerde systeem.
De levering bevestigt exact welke machine, kamers, accessoires, verpakking en serviceomvang inbegrepen zijn. De aftersalesondersteuning begint later, wanneer een bestaand of geleverd depositiesysteem hulp nodig heeft met alarmen, vacuüm, kamers, verwarming, RF, gastoevoer, installatie of reserveonderdelen.
Bevestig de machine, de kamers en de overdrachtsomvang.
- Specifieke platform- en kamerlijst
Bevestig de exacte machine, de configuratie van de kamer, de meegeleverde modules, de bekende staat en de overeengekomen accessoires.
- Demontage, verpakking en verzending
Geef duidelijk aan wie verantwoordelijk is voor de demontage, exportverpakking, laden, transport en levering naar de overeengekomen haven of locatie.
- Nutsvoorzieningen en procesvoorbereiding
Controleer vóór de installatie de vereisten met betrekking tot gas, voorlopers, vacuüm, uitlaatgassen, koeling, stroomvoorziening en temperatuurregeling.
- Garantie en overeengekomen ondersteuningsomvang
Vermeld de garantieperiode, de meldingsprocedure, ondersteuning op afstand en eventuele overeengekomen reparaties, installaties of service op locatie in de offerte.
Controleer het geleverde systeem vóór de opstart.
- Verpakkings- en transportvoorwaarden
Noteer zichtbare schade, stoot- of kantelindicaties, vochtgehalte en de staat van de goederen bij het uitpakken.
- De leveringslijst moet overeenkomen.
Controleer het platform, de kamers, de serienummers, de accessoires en de overeengekomen modules aan de hand van de paklijst of leveringslijst.
- Controleer de sluisdeuren en transportsluisdeuren.
Controleer de toestand van de kamer, bewegende onderdelen, robots, sloten en losse voorwerpen voordat de stroom, het vacuüm of de procesgassen worden ingeschakeld.
- Meld afwijkende omstandigheden tijdig.
Stuur foto's, video's, alarminformatie, serienummergegevens of onderdeellabels vóór de opstart als er iets beschadigd, ontbrekend of inconsistent lijkt.
Aftersales- en ondersteuning voor bestaande systemen
Alarm- en stofzuigerrecensie
Kamer, verwarming en RF-ondersteuning
Reserveonderdelen matchen
Installatie- en opstartondersteuning
Technische ondersteuning voor bestaande en geleverde systemen voor getuigenverhoren.
Wanneer een bestaand of geleverd systeem een alarm, vacuümprobleem, kamerstoring, verwarmingsprobleem, RF-probleem, gasleveringsprobleem of behoefte aan reserveonderdelen vertoont, kan ons technische en serviceteam de beschikbare informatie beoordelen en de volgende praktische stappen coördineren.
Organiseer alarmmeldingen, drukgedrag, bedrijfsomstandigheden, foto's of video's en beoordeel de waarschijnlijke oorzaak van de storing voordat u een inspectie uitvoert of een reparatie verricht.
Bespreek de inspectie-, reparatie- of herstelinstructies voor kamerassemblages, verwarmingselementen, RF-componenten, pompen, kleppen en bijbehorende subsystemen.
Controleer de platformrelaties en mogelijke onderdelenopties aan de hand van het machinemodel, de kamernaam, het onderdeelnummer, het label of de componentfoto.
Controleer de nutsvoorzieningen, transportsluizen, lektesten, vacuüm, gassen, communicatie en eventuele vragen die bij de eerste opstart spelen, voordat de normale werkzaamheden beginnen.
De specifieke werkzaamheden met betrekking tot reparatie, restauratie, inbedrijfstelling, service op locatie en garantie worden voor de betreffende machine en offerte bevestigd.
Ondersteuning aanvragen voor het systeem voor getuigenverklaringenVeelgestelde vragen over apparatuur voor dunnefilmdepositie
Deze vragen hebben betrekking op de belangrijkste problemen waarmee kopers te maken krijgen bij de beoordeling van gebruikte CVD-, PECVD-, PVD-, ALD- en andere halfgeleiderafzettingssystemen.
Wat is het verschil tussen CVD-, PECVD-, PVD- en ALD-apparatuur?
CVD en PECVD vormen films door middel van chemische reacties, waarbij PECVD gebruikmaakt van plasmaondersteuning. PVD brengt materiaal over van een target of verdampingsbron. ALD bouwt films op door herhaalde zelfbeperkende oppervlaktereacties voor een nauwkeurige dikte en conforme dekking. De uiteindelijke keuze hangt af van de gewenste film en de procesvereisten.
Hoe weet ik of een afzettingssysteem onze doelfilm kan verwerken?
Begin met het doelmateriaal, het gebruik van de kamer, de precursor of het doelmateriaal, het procesgas, het temperatuurbereik, de wafergrootte en de bekende geschiedenis van het platform. Deze details helpen bepalen of de machine een nadere evaluatie waard is.
Kan hetzelfde platform verschillende kamerconfiguraties hebben?
Ja. Dezelfde apparatuurfamilie kan verschillen in kamers, gastoevoer, RF-technologie, verwarmingselementen, waferverwerking, software en geïnstalleerde opties. Het is belangrijk om de specifieke machine te controleren in plaats van ervan uit te gaan dat elke unit identiek is.
Waar moet op gelet worden bij het vervangen van een bestaand afzettingssysteem?
Beoordeel de gekwalificeerde film, de kamerconfiguratie, de wafergrootte, de procestemperatuur, het gas- of precursorsysteem, de automatisering, de nutsvoorzieningen, de softwaregeneratie en de praktische wijzigingen die nodig zijn voor de integratie.
Kunt u een platform voor getuigenverhoren vinden dat momenteel niet in de lijst staat?
Ja. Stuur ons de fabrikant, het model, de doelfilm, de kamerinformatie, de wafergrootte of het huidige platform. We kunnen de huidige aanbiedingen, apparatuur in ontwikkeling en aanvullende leveringsmogelijkheden op aanvraag controleren.
Levert u ook depositiekamers, modules en reserveonderdelen?
Aanvragen kunnen betrekking hebben op kamerassemblages, verwarmingselementen, RF-componenten, pompen, kleppen, gastoevoeronderdelen, controllers en andere platformgerelateerde items. De beschikbaarheid moet worden gecontroleerd aan de hand van de exacte machine-, kamer- en onderdeelgegevens.
Stuur ons uw specificaties voor dunnefilmdepositieapparatuur.
Deel de gewenste film, de huidige apparatuur, het model, een foto van de kamer, de wafergrootte, de procestemperatuur en het vervangingsdoel of de inkoopvereisten. We gebruiken de beschikbare informatie om de richting van de apparatuur te bepalen en de volgende praktische beoordelingsstap vast te stellen.