В случаях, когда существующий процесс остается ценным, но найти новую исходную платформу сложно, следует рассмотреть бывшие в употреблении системы того же семейства или аналогичные.
Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе
Оборудование для осаждения тонких полупроводниковых пленок
Ознакомьтесь с информацией об используемом оборудовании для осаждения полупроводниковых тонких пленок, включая системы CVD и PECVD для диэлектрических и пассивирующих пленок, платформы PVD и магнетронного распыления для металлических и барьерных слоев, оборудование ALD для сверхтонких конформных пленок, а также отдельные системы эпитаксии или MOCVD. Отправьте модель, целевую пленку, размер пластины, текущую платформу или информацию о доступном оборудовании, чтобы начать оценку соответствия оборудования, совместимости процесса и требований к производственным мощностям.
CVD и PECVD
PVD и напыление
АЛД
Эпитаксия и МОЦВ
Доступно бывшее в употреблении оборудование для осаждения полупроводников.
Ознакомьтесь с доступными системами осаждения методом CVD, PECVD, PVD, магнетронного распыления, ALD и специальными методами. Для конкретной установки уточняются параметры целевой пленки, конфигурация камеры, размер пластины, установленные опции, известные условия эксплуатации и объем поставки.
Поиск поставщиков оборудования
Отправьте запрос на модель или фильм.
Нужна платформа для проведения допросов, которой пока нет в списке?
Укажите производителя, модель, целевую пленку, конфигурацию камеры, размер пластины, текущую производственную платформу или имеющиеся фотографии. Мы можем просмотреть актуальные объявления, оборудование, находящееся в процессе подготовки, и предложения по поиску поставщиков для требуемой платформы или подходящей альтернативы.
Различные методы нанесения покрытия решают различные проблемы, связанные с пленками.
Таблица предоставляет покупателям практическую отправную точку. Она не заменяет детального анализа платформы, поскольку один и тот же материал может наноситься несколькими способами, и точный результат по-прежнему зависит от камеры, технологического окна и квалифицированной рецептуры.
| Что вам нужно для создания | Направление развития оборудования, которое может иметь значение. | Почему покупатели рассматривают этот вариант |
|---|---|---|
| Обычные диэлектрические, пассивирующие, твердые маски или кремниевые пленки | CVD / PECVD | Часто используется в устоявшихся производственных процессах нанесения пленок, где важны скорость осаждения, воспроизводимость и практическая производительность. |
| Металлические, барьерные, электродные или контактные слои | PVD / Напыление | Этот метод позволяет переносить целевой материал на подложку посредством процессов магнетронного распыления или испарения и широко используется для создания проводящих и барьерных пленок. |
| Сверхтонкие пленки на глубоких или сложных трехмерных структурах | АЛД / ПИАЛД | Обеспечивает точный контроль толщины и прочное конформное покрытие там, где важны боковые стенки, канавки и элементы с высоким соотношением сторон. |
| Кристаллический кремний или слои составного полупроводника | Эпитаксия / MOCVD | Используется для контролируемого роста кристаллов, таких как эпитаксия кремния, GaN, GaAs, InP и родственные полупроводниковые структуры. |
Названия технологий — это лишь первый этап принятия решения. Окончательное направление настройки оборудования также зависит от качества пленки, температурного режима, исходного или целевого материала, степени покрытия структуры, размера пластины, объема производства и процесса, уже прошедшего квалификацию на линии.
Четыре риска, которые следует проверить перед покупкой бывшей в употреблении системы осаждения
Название модели может выглядеть подходящим, в то время как реальные проблемы остаются скрытыми в камере, качестве пленки, соединениях на производстве или производственных мощностях. Эти четыре проверки помогают определить, стоит ли проводить детальную оценку конкретной машины.
| Что мы проверяем | Что мы рассматриваем | Риск, которого это помогает избежать |
|---|---|---|
| Сможет ли оно изготовить пленку нужного вам размера? | Конфигурация камеры, исходный или целевой материал, технологические газы, схема ВЧ-нагрева и другие параметры, уже используемые в данной платформе для получения пленок. | Не допускайте ситуации, когда при перемещении оборудования на место оказывается, что его камера, газовый тракт или технологическая схема не позволяют получить требуемый пленочный материал. |
| Может ли она соответствовать требованиям к качеству и охвату пленки? | Целевая толщина, однородность подложки, напряжение, частицы, дефекты, покрытие ступенек, конформность, а также плоские или трехмерные структуры, которые должна иметь пленка. | Избегайте проблем, связанных с плохой однородностью, наличием частиц или неравномерным покрытием, которые могут снизить выход годной продукции или задержать квалификацию процесса. |
| Подходят ли для этого ваши параметры производства и изготовления пластин? | Размеры и способы обработки пластин, габариты оборудования, электропитание, вакуум, вытяжка, охлаждение, контроль температуры, а также соединения для специальных газов или прекурсоров. | Избегайте ситуаций, когда после получения оборудования обнаруживается, что существующие системы электропитания, охлаждения, выхлопа, газоснабжения или подключения к сети не могут его поддерживать. |
| Сможет ли это достичь вашей производственной цели? | Обработка отдельных пластин или партий, количество камер, время цикла, автоматизация, ожидаемое направление изменения производительности на единицу пластины и требуемый объем производства существующей производственной линии. | Избегайте установки оборудования, способного выполнять технологический процесс, но работающего слишком медленно и становящегося следующим узким местом в производстве. |
Перед тем как принимать решение о приобретении оборудования, проверьте соответствие пленки, конструкции и производственных параметров.
Запросить проверку соответствия системы для проведения допросов.
Отправьте информацию о целевой пленке, текущей платформе, камере, размере пластины, температуре процесса, условиях эксплуатации или имеющиеся фотографии. Мы поможем выявить основные риски и детали, требующие дополнительной проверки.
Продолжить проверенный процесс получения тонких пленок
Использование бывшего в употреблении оборудования для нанесения пленок часто рассматривается предприятиями, желающим поддерживать работоспособность отлаженного процесса производства пленок, заменить снятую с производства платформу, увеличить мощности отлаженной линии или восстановить камеры и критически важные компоненты, необходимые для поддержания работоспособности существующей системы.
Увеличьте производительность без немедленной перестройки технологического процесса, соответствующего требованиям, на основе оборудования совершенно другого поколения.
Оказывайте поддержку более старым системам, предоставляя камерные узлы, нагреватели, радиочастотные компоненты, насосы, клапаны, детали системы подачи газа и другие элементы, относящиеся к данной платформе, по мере их наличия.
Определите объем работ по поставке, а затем обеспечьте поддержку установленной системы.
При поставке точно указывается, какое оборудование, камеры, принадлежности, упаковка и объем сервисного обслуживания включены в комплект. Послепродажная поддержка начинается позже, когда существующей или уже поставленной системе осаждения требуется помощь с сигнализацией, вакуумом, камерами, нагревом, радиочастотным оборудованием, подачей газа, установкой или запасными частями.
Подтвердите оборудование, камеры и объем работ по передаче.
- Список конкретных платформ и палат.
Подтвердите точную модель машины, конфигурацию камеры, входящие в комплект модули, известное состояние и согласованные принадлежности.
- Демонтаж, упаковка и отправка
Уточните, кто занимается разборкой, экспортной упаковкой, погрузкой, фрахтом и доставкой в согласованный порт или на площадку.
- Подготовка инженерных коммуникаций и технологических процессов
Перед установкой необходимо проверить требования к газу, прекурсорам, вакууму, выхлопным системам, охлаждению, электропитанию и контролю температуры.
- Гарантия и согласованный объем технической поддержки
В коммерческом предложении укажите гарантийный период, порядок подачи заявок, удаленную поддержку, а также любые согласованные ремонтные работы, установку или обслуживание на месте.
Перед запуском проверьте поставленную систему.
- Условия упаковки и транспортировки
Перед распаковкой зафиксируйте видимые повреждения, признаки удара или наклона, уровень влажности и условия разгрузки.
- Сопоставьте список доставки
Проверьте соответствие платформы, камер, серийных номеров, принадлежностей и согласованных модулей упаковочному или накладному листу.
- Проверьте камеры и транспортные шлюзы.
Перед подачей питания, вакуума или технологических газов убедитесь в исправности камеры, подвижных узлов, роботов, замков и незакрепленных предметов.
- Сообщайте о любых отклонениях от нормы как можно раньше.
Если что-либо повреждено, отсутствует или не соответствует заявленному, перед запуском устройства отправьте фотографии, видеозаписи, информацию о тревоге, серийные номера или этикетки деталей.
Послепродажное обслуживание и поддержка существующих систем.
Обзор систем сигнализации и вакуумной техники
Камера, нагреватель и поддержка радиочастотного оборудования
Подбор запасных частей
Помощь в установке и запуске
Техническая поддержка существующих и поставленных систем осаждения.
Если в существующей или установленной системе возникает сигнализация, проблема с вакуумом, неисправность камеры, проблема с нагревом, проблема с радиочастотами, проблема с подачей газа или требуется запасная часть, наша техническая и сервисная команда может помочь проанализировать имеющуюся информацию и скоординировать дальнейшие практические действия.
Перед осмотром или ремонтом необходимо систематизировать информацию об авариях, динамике давления, условиях эксплуатации, фотографии или видеозаписи, а также определить вероятное направление неисправности.
Обсудите порядок осмотра, ремонта или восстановления камерных узлов, нагревателей, радиочастотных компонентов, насосов, клапанов и связанных с ними подсистем.
Проверьте взаимосвязь платформ и возможные варианты комплектующих, исходя из модели машины, названия камеры, номера детали, этикетки или фотографии компонента.
Перед началом нормальной эксплуатации проверьте инженерные сети, транспортные замки, проверку на герметичность, вакуум, газы, связь и вопросы, возникающие при первом запуске.
Конкретные виды ремонта, восстановления, ввода в эксплуатацию, выездного обслуживания и гарантийного обслуживания уточняются для каждой отдельной машины и в смете.
Запросить поддержку системы проведения допросовЧасто задаваемые вопросы об оборудовании для осаждения тонких пленок
Эти вопросы охватывают основные проблемы, с которыми сталкиваются покупатели при оценке бывших в употреблении систем осаждения полупроводников, таких как CVD, PECVD, PVD, ALD и другие.
В чём разница между оборудованием для CVD, PECVD, PVD и ALD?
CVD и PECVD формируют пленки посредством химических реакций, при этом PECVD использует плазменную поддержку. PVD переносит материал с мишени или источника испарения. ALD создает пленки посредством многократных самоограничивающихся поверхностных реакций для достижения точной толщины и конформного покрытия. Окончательный выбор зависит от целевой пленки и требований процесса.
Как мне узнать, подходит ли система нанесения покрытия для обработки нашей целевой пленки?
Начните с целевого материала, назначения камеры, прекурсора или мишени, технологического газа, температурного диапазона, размера пластины и известной истории платформы. Эти детали помогут определить, стоит ли проводить более глубокое исследование данного оборудования.
Могут ли одна и та же платформа иметь различные конфигурации камеры?
Да. Оборудование одного и того же семейства может иметь разные камеры, систему подачи газа, радиочастотное оборудование, нагреватели, систему обработки пластин, программное обеспечение и установленные опции. Необходимо уточнить характеристики конкретного оборудования, а не предполагать, что все устройства идентичны.
Что следует проверить при замене существующей системы осаждения?
Проанализируйте качество пленки, конфигурацию камеры, размер пластины, температуру процесса, газовую или прекурсорную систему, автоматизацию, инженерные сети, разработку программного обеспечения и практические изменения, необходимые для интеграции.
Можете ли вы найти платформу для проведения допросов, которая в настоящее время не указана в списке?
Да. Пришлите информацию о производителе, модели, целевой пленке, камере, размере пластины или текущей платформе. Мы можем проверить текущие предложения, оборудование, находящееся в процессе подготовки, и дополнительные возможности поиска поставщиков по запросу.
Вы поставляете камеры осаждения, модули и запасные части?
Запросы могут включать в себя камерные узлы, нагреватели, радиочастотные компоненты, насосы, клапаны, детали системы подачи газа, контроллеры и другие элементы, относящиеся к платформе. Наличие необходимо уточнять, сверяясь с точной информацией о машине, камере и детали.
Отправьте ваши требования к оборудованию для осаждения тонких пленок.
Предоставьте информацию о целевой пленке, имеющемся оборудовании, модели, фотографии камеры, размере пластины, температуре процесса, цели замены или требованиях к поставкам. Мы используем имеющуюся информацию для сужения круга поиска оборудования и определения следующего практического этапа анализа.