ระบบรางและเครื่องพิมพ์หิน
ระบบแทร็กจะทำการพ่น อบ และล้างสารไวแสง เครื่องพิมพ์หินจะจัดตำแหน่งและฉายแสงตามลวดลาย
อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
อุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์ขั้นต้น
สำรวจหมวดหมู่ของอุปกรณ์หลักที่ใช้ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นต้น ตั้งแต่การกำหนดรูปแบบและการขึ้นรูปวัสดุ ไปจนถึงการปรับพื้นผิว การวัดกระบวนการ และการตรวจสอบข้อบกพร่อง
เรียกดูตามฟังก์ชันของกระบวนการ เลือกหมวดหมู่ของอุปกรณ์ที่เหมาะสม หรือส่งข้อมูลผู้ผลิต รุ่น ขนาดเวเฟอร์ รูปภาพอุปกรณ์ หรือข้อกำหนดของกระบวนการเพื่อขอรับการตรวจสอบจากฝ่ายจัดหา
อุปกรณ์ส่วนหน้าจำแนกตามหน้าที่ของกระบวนการ
แต่ละหมวดหมู่จะนำไปสู่ส่วนอุปกรณ์เฉพาะที่เกี่ยวข้อง ป้ายกำกับจะอธิบายถึงงานกระบวนการหลักมากกว่าลำดับการผลิตที่ตายตัว
กระบวนการต้านทาน
ระบบราง
ขั้นตอนการเคลือบ การอบ การล้างฟิล์ม และการจัดการแผ่นเวเฟอร์ในกระบวนการพิมพ์หิน (ลิโทกราฟี)
การเปิดเผยรูปแบบ
เครื่องพิมพ์หิน
แท่นจัดตำแหน่งและแท่นฉายแสงที่ใช้ในการกำหนดรูปแบบวงจรบนแผ่นเวเฟอร์เคลือบสารไวแสง
การกำจัดวัสดุ
เครื่องกัดกรด
ระบบแบบแห้ง ระบบพลาสมา และระบบที่เกี่ยวข้อง ถูกนำมาใช้ในการถ่ายทอดลวดลายที่กำหนดไว้ลงบนฟิล์มและวัสดุเวเฟอร์
การก่อตัวของชั้น
อุปกรณ์การตกตะกอนฟิล์มบาง
ระบบที่ใช้ในการสร้างฟิล์มบางที่มีคุณสมบัติเป็นตัวนำ ฉนวน กั้น และโครงสร้าง
การแนะนำสารเจือปน
เครื่องฝังไอออน
ระบบลำแสงไอออนถูกนำมาใช้เพื่อนำสารเจือปนที่เลือกไว้เข้าไปในแผ่นเวเฟอร์
การอบชุบด้วยความร้อน
อุปกรณ์แปรรูปความร้อน
เตาเผาและระบบความร้อนเร็วสำหรับการออกซิเดชัน การแพร่ การอบอ่อน และการกระตุ้น
การปรับพื้นผิวให้เรียบ
ซีเอ็มพี ซิสเต็มส์
เครื่องมือปรับพื้นผิวให้เรียบ เพื่อลดความไม่สม่ำเสมอของพื้นผิวก่อนการลงชั้นวัสดุในขั้นตอนต่อไป
การควบคุมกระบวนการ
มาตรวิทยาและการตรวจสอบ
เครื่องมือวัดและควบคุมข้อบกพร่องที่ใช้ในขั้นตอนการผลิตหลายขั้นตอน
วิธีการทำงานร่วมกันของหมวดหมู่อุปกรณ์ต่างๆ
บางหมวดหมู่มีความเชื่อมโยงกันอย่างใกล้ชิดในขั้นตอนการทำงาน แต่ทำหน้าที่เกี่ยวกับอุปกรณ์ที่แตกต่างกัน และจำเป็นต้องมีการประเมินเครื่องมือแยกต่างหาก
การประมวลผลด้วยความร้อนและการเคลือบฟิล์มบาง
เครื่องมือขึ้นรูปด้วยการตกตะกอนส่วนใหญ่ใช้ในการสร้างชั้นวัสดุ ส่วนอุปกรณ์ทางความร้อนส่วนใหญ่ใช้สำหรับการออกซิเดชัน การแพร่ การอบอ่อน การกระตุ้น หรือการบำบัดอื่นๆ ที่ใช้ความร้อนเป็นหลัก
การวัดและตรวจสอบตลอดกระบวนการผลิตเวเฟอร์
การวัดและการควบคุมข้อบกพร่องสามารถดำเนินการได้หลายขั้นตอนในกระบวนการผลิต ดังนั้นเครื่องมือที่เหมาะสมจึงขึ้นอยู่กับผลลัพธ์หรือข้อบกพร่องที่กำลังประเมิน
ลำดับขั้นตอนการผลิตที่แน่นอนจะแตกต่างกันไปตามอุปกรณ์ ชั้น วัสดุ และการบูรณาการในโรงงานผลิต ไม่ใช่ทุกชั้นของเวเฟอร์ที่จะใช้อุปกรณ์ทุกประเภทที่แสดงในหน้านี้
ข้อมูลสำคัญสำหรับการจับคู่อุปกรณ์
หมวดหมู่จะระบุประเภทเครื่องมือโดยทั่วไป การจับคู่กับระบบที่ใช้เฉพาะเจาะจงนั้น จำเป็นต้องมีรายละเอียดเกี่ยวกับเวเฟอร์ กระบวนการ แพลตฟอร์มที่มีอยู่ การกำหนดค่าที่ติดตั้ง และเงื่อนไขของโครงการ
แผ่นเวเฟอร์และซับสเตรต
ตรวจสอบขนาดเวเฟอร์ วัสดุพื้นผิว รูปแบบตัวพา และวิธีการจัดการที่ใช้ในสายการผลิตปัจจุบัน
วัตถุประสงค์ของกระบวนการ
อธิบายวัสดุเป้าหมาย ฟิล์ม การกัด การฝัง การอบชุบด้วยความร้อน การปรับพื้นผิว การวัด หรือภารกิจการตรวจสอบ
แพลตฟอร์มที่มีอยู่
โปรดระบุผู้ผลิต รุ่น และสายการผลิตปัจจุบัน รวมถึงระบุว่าโครงการนี้เป็นการทดแทนหรือเป็นการขยายสายการผลิตเดิม
การกำหนดค่าที่ติดตั้ง
ระบุรายละเอียดของห้องต่างๆ โมดูล ระบบอัตโนมัติ เวอร์ชันซอฟต์แวร์ และตัวเลือกที่ติดตั้งไว้ ซึ่งส่งผลต่อความเข้ากันได้และขอบเขตการใช้งาน
เงื่อนไขสถานที่และวิธีการจัดส่ง
ระบุพื้นที่ติดตั้ง อินเทอร์เฟซของอุปกรณ์ เอกสารที่จำเป็น ขอบเขตการส่งมอบที่คาดหวัง และระยะเวลาของโครงการ
รายการประกาศและคำขอจัดหา
สินค้าที่ประกาศขายและสินค้าที่ขอจัดหาแตกต่างกัน รุ่นที่ไม่ได้แสดงไว้ก็ยังสามารถส่งเพื่อพิจารณาได้ แต่คำขอที่ไม่ได้ระบุไว้ไม่ควรถือว่าเป็นการยืนยันว่าสินค้ามีพร้อมจำหน่ายแล้ว
ตรวจสอบเครื่องมือเฉพาะนั้น
ปีที่ผลิต ขนาดเวเฟอร์ การกำหนดค่าห้องหรือโมดูล ระบบอัตโนมัติ ซอฟต์แวร์ โปรแกรมยูทิลิตี้ เอกสารประกอบ และอุปกรณ์เสริมที่รวมอยู่ อาจแตกต่างกันไปในแต่ละเครื่องจักร
โปรดตรวจสอบความพร้อมให้บริการอีกครั้ง
อุปกรณ์ที่ร้องขอผ่านกระบวนการจัดหาจะไม่ถือว่าพร้อมใช้งานจนกว่าจะมีการตรวจสอบโอกาสเฉพาะ ข้อมูลผู้ขาย และขอบเขตการจัดหาแล้ว
ใช้ใบเสนอราคาและรายการส่งมอบ
เงื่อนไข เอกสาร การทดสอบ การปรับปรุงใหม่ การสอบเทียบ การติดตั้ง การฝึกอบรม การรับประกัน และการสนับสนุน ณ สถานที่ปฏิบัติงาน จะไม่รวมอยู่ในบริการ เว้นแต่จะระบุไว้ในใบเสนอราคาหรือข้อตกลงการส่งมอบ
คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับอุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์ขั้นต้น (Front-End Wafer Fab Equipment FAQ)
คำตอบเหล่านี้ช่วยชี้แจงขอบเขตของหน้า รายการสินค้า และข้อมูลที่จำเป็นสำหรับการขออุปกรณ์
หน้านี้รวมถึงอุปกรณ์ประกอบและทดสอบระบบเบื้องหลังหรือไม่
ไม่ หน้านี้ครอบคลุมอุปกรณ์ที่ใช้ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ขั้นต้น การตัดแบ่ง การติดชิ้นส่วน การเชื่อมต่อสายไฟ การขึ้นรูป การทดสอบขั้นสุดท้าย เครื่องมือจัดการทดสอบ และอุปกรณ์ SMT จัดอยู่ในหมวดอุปกรณ์อื่นๆ
ฉันสามารถดูรายละเอียดและรูปภาพของเครื่องมือเฉพาะชิ้นนั้นได้ที่ไหน?
เปิดหมวดหมู่อุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องและไปยังหน้าแสดงรายละเอียดผลิตภัณฑ์ที่มีอยู่ หน้าผลิตภัณฑ์แต่ละรายการเป็นสถานที่ที่เหมาะสมในการตรวจสอบรูปภาพ ข้อมูลรุ่น และรายละเอียดเฉพาะของเครื่องมือ
ถ้าผมมีแค่รูปอุปกรณ์หรือป้ายชื่อ ผมควรส่งอะไรไปบ้างครับ?
โปรดส่งภาพถ่ายอุปกรณ์และป้ายชื่อที่ชัดเจนที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ พร้อมทั้งขนาดเวเฟอร์ แพลตฟอร์มการผลิตปัจจุบัน กระบวนการผลิตเป้าหมาย และภูมิภาคที่ติดตั้ง รายละเอียดเหล่านี้จะช่วยในการระบุประเภทและรุ่นที่น่าจะเป็นไปได้
เครื่องมือมือสองนี้รวมถึงการทดสอบ การปรับปรุงใหม่ การติดตั้ง และการรับประกันหรือไม่?
สิ่งเหล่านี้ไม่ได้ถูกกำหนดไว้โดยปริยาย เงื่อนไข บริการที่รวมอยู่ เอกสาร การทดสอบ การปรับปรุงใหม่ การติดตั้ง การสอบเทียบ การฝึกอบรม และการรับประกัน จะต้องได้รับการยืนยันในใบเสนอราคาหรือข้อตกลงการส่งมอบสำหรับเครื่องมือเฉพาะนั้นๆ
ส่งรายละเอียดความต้องการอุปกรณ์ส่วนหน้าของคุณ
โปรดส่งข้อมูลประเภทอุปกรณ์ ผู้ผลิต รุ่น ขนาดเวเฟอร์ แพลตฟอร์มปัจจุบัน กระบวนการเป้าหมาย การกำหนดค่าที่ต้องการ รูปภาพหรือป้ายชื่ออุปกรณ์ สถานที่ตั้งโครงการ และระยะเวลาที่คาดไว้