Prüfen Sie gebrauchte Systeme derselben Produktfamilie oder vergleichbare Systeme, wenn der bestehende Prozess weiterhin wertvoll ist, die ursprüngliche Plattform aber schwer neu zu beschaffen ist.
Front-End-Wafer-Fertigungsanlagen
Halbleiter-Dünnschichtabscheidungsanlagen
Entdecken Sie gebrauchte Anlagen zur Halbleiter-Dünnschichtabscheidung, darunter CVD- und PECVD-Systeme für dielektrische und Passivierungsschichten, PVD- und Sputteranlagen für Metall- und Barrierenschichten, ALD-Anlagen für ultradünne, konforme Schichten sowie ausgewählte Epitaxie- oder MOCVD-Systeme. Senden Sie uns Informationen zu Modell, Zielfilm, Wafergröße, aktueller Plattform oder verfügbaren Anlagen, damit wir die Eignung der Anlagen, die Prozesskompatibilität und die Anforderungen an die Anlageninfrastruktur prüfen können.
CVD & PECVD
PVD & Sputtern
ALD
Epitaxie & MOCVD
Verfügbare gebrauchte Halbleiter-Abscheidungsanlagen
Informieren Sie sich über die aktuell verfügbaren CVD-, PECVD-, PVD-, Sputter-, ALD- und Spezialbeschichtungssysteme. Targetfilm, Kammerkonfiguration, Wafergröße, installierte Optionen, bekannter Zustand und Lieferumfang werden für die jeweilige Anlage bestätigt.
Ausrüstungsbeschaffung
Senden Sie ein Modell oder eine Filmanforderung
Benötigen Sie eine Plattform für die Beweisaufnahme, die derzeit nicht aufgeführt ist?
Bitte senden Sie uns Hersteller, Modell, Zielfilm, Kammerkonfiguration, Wafergröße, aktuelle Produktionsplattform oder verfügbare Fotos. Wir prüfen aktive Angebote, Anlagen in Vorbereitung und beschaffen auf Anfrage die benötigte Plattform oder eine passende Alternative.
Unterschiedliche Beschichtungsverfahren lösen unterschiedliche Filmprobleme.
Die Tabelle bietet Käufern einen praktischen Ausgangspunkt. Sie ersetzt jedoch keine detaillierte Plattformprüfung, da ein Material mit mehreren Methoden abgeschieden werden kann und das genaue Ergebnis weiterhin von der Kammer, dem Prozessfenster und der verwendeten Rezeptur abhängt.
| Was Sie zum Bauen benötigen | Geräteanweisungen, die relevant sein könnten | Warum Käufer es in Betracht ziehen |
|---|---|---|
| Gängige dielektrische, Passivierungs-, Hartmasken- oder Silizium-basierte Filme | CVD / PECVD | Wird häufig für etablierte, produktionsorientierte Filmbeschichtungsverfahren eingesetzt, bei denen es auf Abscheidungsrate, Wiederholbarkeit und praktischen Durchsatz ankommt. |
| Metall-, Barriere-, Elektroden- oder Kontaktschichten | PVD / Sputtern | Überträgt das Zielmaterial mittels Sputtern oder Verdampfung auf den Wafer und wird häufig für leitfähige und Barriereschichten verwendet. |
| Ultradünne Schichten auf tiefen oder komplexen dreidimensionalen Strukturen | ALD / PEALD | Ermöglicht eine präzise Dickenkontrolle und eine starke, konforme Abdeckung dort, wo Seitenwände, Gräben und Strukturen mit hohem Aspektverhältnis von Bedeutung sind. |
| Kristallines Silizium oder Verbindungshalbleiterschichten | Epitaxie / MOCVD | Wird für kontrolliertes Kristallwachstum wie Siliziumepitaxie, GaN, GaAs, InP und verwandte Verbindungshalbleiterstrukturen verwendet. |
Die Namen der Technologieunternehmen sind nur die erste Ebene der Entscheidungsfindung. Die endgültige Anlagenausrichtung hängt auch von der Filmqualität, dem Temperaturbudget, dem Vorläufer- oder Zielmaterial, der Strukturabdeckung, der Wafergröße, dem Produktionsausstoß und dem bereits auf der Linie qualifizierten Prozess ab.
Vier Risiken, die Sie vor dem Kauf eines gebrauchten Ablagerungssystems prüfen sollten
Ein passender Modellname kann vielversprechend klingen, während die eigentlichen Probleme in der Kammer, dem Filmergebnis, der Geräteanbindung oder der Produktionskapazität verborgen bleiben. Diese vier Prüfungen helfen zu entscheiden, ob sich eine detaillierte Evaluierung einer bestimmten Maschine lohnt.
| Was wir überprüfen | Was wir testen | Risiko, das dies zu vermeiden hilft |
|---|---|---|
| Kann es Ihren Zielfilm produzieren? | Kammerkonfiguration, Vorläufer- oder Zielmaterial, Prozessgase, HF- und Heizaufbau sowie die bereits mit der Plattform verbundenen Filmanwendungen. | Vermeiden Sie es, eine Maschine vor Ort zu platzieren, nur um dann festzustellen, dass ihre Kammer, der Gasweg oder die Prozesskonfiguration nicht den benötigten Film produzieren können. |
| Kann es die Anforderungen an Filmqualität und Bildabdeckung erfüllen? | Zieldicke, Wafer-Gleichmäßigkeit, Spannung, Partikel, Defekte, Stufenabdeckung, Konformität und die planaren oder dreidimensionalen Strukturen, die der Film erreichen muss. | Vermeiden Sie mangelnde Gleichmäßigkeit, Partikelbildung oder Deckkraftprobleme, die die Ausbeute verringern oder die Prozessqualifizierung verzögern können. |
| Sind Ihre Wafer- und Fertigungsbedingungen dafür geeignet? | Wafergröße und -handhabung, Platzbedarf der Ausrüstung, Stromversorgung, Vakuum, Abluft, Kühlung, Temperaturregelung und Anschlüsse für Spezialgase oder Vorläufer. | Vermeiden Sie es, eine Maschine zu erhalten, nur um dann festzustellen, dass die vorhandene Stromversorgung, Kühlwasserversorgung, Abgasanlage, Gasversorgung oder die Schnittstellen der Anlage diese nicht unterstützen. |
| Kann es Ihre Produktionsziele erfüllen? | Einzelwafer- oder Chargenhandhabung, Kammeranzahl, Zykluszeit, Automatisierung, erwartete WPH-Richtung und die erforderliche Ausbringungsmenge der bestehenden Produktionslinie. | Vermeiden Sie die Anschaffung einer prozessfähigen Maschine, die zu langsam ist und zum nächsten Produktionsengpass wird. |
Prüfen Sie Film, Verarbeitung und Produktionstauglichkeit, bevor Sie sich für eine Maschine entscheiden.
Fordern Sie eine Eignungsprüfung für Ihr Vernehmungssystem an.
Senden Sie uns bitte den Zielfilm, die aktuelle Plattform, Informationen zur Kammer, die Wafergröße, die Prozesstemperatur, die Anlagenbedingungen oder verfügbare Fotos. Wir helfen Ihnen, die Hauptrisiken und die noch zu überprüfenden Details zu identifizieren.
Ein bewährtes Dünnschichtverfahren fortsetzen
Gebrauchte Beschichtungsanlagen werden oft dann in Betracht gezogen, wenn ein Unternehmen einen qualifizierten Filmbeschichtungsprozess aufrechterhalten, eine eingestellte Plattform ersetzen, die Kapazität einer ausgereiften Produktionslinie erweitern oder die Kammern und kritischen Teile zurückgewinnen möchte, die für den Weiterbetrieb eines etablierten Systems erforderlich sind.
Steigern Sie die Produktivität, ohne sofort einen qualifizierten Prozess auf Basis einer völlig anderen Gerätegeneration neu aufzubauen.
Ältere Systeme sollten, sofern verfügbar, mit Kammerbaugruppen, Heizungen, HF-Komponenten, Pumpen, Ventilen, Gaszufuhrteilen und anderen plattformbezogenen Artikeln unterstützt werden.
Definieren Sie den Lieferumfang und unterstützen Sie anschließend das installierte System.
Die Lieferung bestätigt genau, welche Maschine, Kammern, Zubehörteile, Verpackung und Serviceleistungen enthalten sind. Der Kundendienst beginnt später, wenn für ein bestehendes oder geliefertes Beschichtungssystem Unterstützung bei Alarmen, Vakuum, Kammern, Heizung, HF, Gaszufuhr, Installation oder Ersatzteilen benötigt wird.
Maschine, Kammern und Übergabeumfang bestätigen
- Spezifische Plattform- und Kammerliste
Bitte bestätigen Sie die genaue Maschinenkonfiguration, die Kammerkonfiguration, die enthaltenen Module, den bekannten Zustand und das vereinbarte Zubehör.
- Deinstallation, Packing and Shipping
Klären Sie, wer für Demontage, Exportverpackung, Verladung, Fracht und Lieferung zum vereinbarten Hafen oder Bestimmungsort zuständig ist.
- Versorgungseinrichtungen und Prozessvorbereitung
Vor der Installation die Anforderungen an Gas, Vorläufergas, Vakuum, Abgas, Kühlung, Stromversorgung und Temperaturregelung prüfen.
- Garantie- und vereinbarter Supportumfang
Nehmen Sie die Garantiezeit, den Meldeprozess, den Fernsupport und alle vereinbarten Reparaturen, Installationen oder Vor-Ort-Serviceleistungen in das Angebot auf.
Überprüfen Sie das gelieferte System vor der Inbetriebnahme.
- Verpackungs- und Transportzustand
Vor dem Auspacken sichtbare Schäden, Anzeichen von Stößen oder Neigungen, Feuchtigkeit und den Zustand beim Entladen dokumentieren.
- Lieferliste abgleichen
Überprüfen Sie die Plattform, die Kammern, die Seriennummern, das Zubehör und die vereinbarten Module anhand der Pack- oder Lieferliste.
- Kontrollkammern und Transportschleusen
Prüfen Sie vor dem Anlegen von Strom, Vakuum oder Prozessgasen den Zustand der Kammer, bewegliche Baugruppen, Roboter, Schlösser und lose Teile.
- Melden Sie Auffälligkeiten frühzeitig.
Senden Sie vor der Inbetriebnahme Fotos, Videos, Alarminformationen, Seriennummern oder Teileetiketten, falls etwas beschädigt, fehlend oder inkonsistent erscheint.
Kundendienst und Unterstützung bestehender Systeme
Alarm- und Staubsauger-Test
Kammer, Heizung und HF-Unterstützung
Ersatzteilzuordnung
Installations- und Inbetriebnahmehilfe
Technischer Support für bestehende und gelieferte Abscheidungssysteme
Wenn bei einem bestehenden oder gelieferten System ein Alarm, ein Vakuumproblem, ein Kammerfehler, ein Heizungsproblem, ein HF-Problem, ein Gasversorgungsproblem oder ein Ersatzteilbedarf auftritt, kann unser Technik- und Serviceteam die verfügbaren Informationen prüfen und den nächsten praktischen Schritt koordinieren.
Vor der Inspektion oder Reparatur sollten Alarmbildschirme, Druckverhalten, Betriebsbedingungen, Fotos oder Videos übersichtlich dargestellt und die wahrscheinliche Fehlerrichtung ermittelt werden.
Besprechen Sie die Anweisungen zur Inspektion, Reparatur oder Wiederherstellung von Kammerbaugruppen, Heizgeräten, HF-Komponenten, Pumpen, Ventilen und zugehörigen Teilsystemen.
Prüfen Sie die Plattformbeziehungen und die möglichen Teileoptionen anhand des Maschinenmodells, des Kammernamens, der Teilenummer, des Etiketts oder des Fotos des Bauteils.
Vor Beginn des normalen Betriebs sind die Versorgungseinrichtungen, Transportsicherungen, Dichtheitsprüfungen, Vakuumsysteme, Gase, Kommunikationssysteme und Fragen zur Inbetriebnahme zu überprüfen.
Der genaue Umfang von Reparatur, Instandsetzung, Inbetriebnahme, Vor-Ort-Service und Garantie wird für die jeweilige Maschine und im Angebot festgelegt.
Unterstützung für das System zur Anforderung von ZeugenaussagenHäufig gestellte Fragen zu Dünnschichtabscheidungsanlagen
Diese Fragen decken die wichtigsten Probleme ab, mit denen Käufer bei der Überprüfung gebrauchter CVD-, PECVD-, PVD-, ALD- und anderer Halbleiterabscheidungssysteme konfrontiert sind.
Worin besteht der Unterschied zwischen CVD-, PECVD-, PVD- und ALD-Anlagen?
CVD und PECVD erzeugen Schichten durch chemische Reaktionen, wobei PECVD Plasmaunterstützung nutzt. PVD überträgt Material von einem Target oder einer Verdampfungsquelle. ALD baut Schichten durch wiederholte, selbstlimitierende Oberflächenreaktionen auf, um eine präzise Schichtdicke und konforme Bedeckung zu erzielen. Die endgültige Wahl des Verfahrens hängt von der gewünschten Schichtdicke und den Prozessanforderungen ab.
Woran erkenne ich, ob ein Beschichtungssystem unseren Zielfilm verarbeiten kann?
Beginnen Sie mit dem Zielmaterial, der Kammerverwendung, dem Vorläufermaterial oder Zielmaterial, dem Prozessgas, dem Temperaturbereich, der Wafergröße und der bekannten Historie der Plattform. Diese Details helfen dabei festzustellen, ob sich eine eingehendere Evaluierung der Maschine lohnt.
Kann dieselbe Plattform unterschiedliche Kammerkonfigurationen aufweisen?
Ja. Geräte derselben Familie können sich in Kammern, Gaszufuhr, HF-Technik, Heizungen, Waferhandhabung, Software und installierten Optionen unterscheiden. Es muss die jeweilige Maschine überprüft werden, anstatt davon auszugehen, dass alle Geräte identisch sind.
Was sollte beim Austausch eines bestehenden Ablagerungssystems überprüft werden?
Prüfen Sie den qualifizierten Film, die Kammerkonfiguration, die Wafergröße, die Prozesstemperatur, das Gas- oder Vorläufersystem, die Automatisierung, die Versorgungseinrichtungen, die Softwaregenerierung und die für die Integration erforderlichen praktischen Änderungen.
Können Sie eine Einzahlungsplattform finden, die derzeit nicht gelistet ist?
Ja. Bitte senden Sie uns Hersteller, Modell, Zielfilm, Kammerinformationen, Wafergröße oder Ihre aktuelle Plattform. Wir prüfen dann die aktuellen Angebote, die in Vorbereitung befindlichen Geräte und weitere Beschaffungsmöglichkeiten auf Anfrage.
Liefern Sie Beschichtungskammern, Module und Ersatzteile?
Anfragen können Kammerbaugruppen, Heizungen, HF-Komponenten, Pumpen, Ventile, Gaszufuhrteile, Steuerungen und andere plattformbezogene Komponenten umfassen. Die Verfügbarkeit muss anhand der genauen Maschinen-, Kammer- und Teileinformationen geprüft werden.
Senden Sie uns Ihre Anforderungen an die Dünnschichtabscheidungsanlage.
Teilen Sie uns bitte den Zielfilm, die aktuelle Ausrüstung, das Modell, ein Foto der Kammer, die Wafergröße, die Prozesstemperatur sowie Ihre Anforderungen an Ersatzbeschaffung oder -versorgung mit. Wir werden die verfügbaren Informationen nutzen, um die Ausrüstungsauswahl einzugrenzen und den nächsten praktischen Überprüfungsschritt festzulegen.