Quando il processo esistente rimane valido ma è difficile reperire una nuova piattaforma identica, è opportuno valutare sistemi usati della stessa famiglia o sistemi analoghi.
Apparecchiature per la fabbricazione di wafer front-end
Apparecchiature per la deposizione di film sottili di semiconduttori
Esplora le apparecchiature usate per la deposizione di film sottili di semiconduttori, inclusi i sistemi CVD e PECVD per film dielettrici e di passivazione, le piattaforme PVD e di sputtering per strati metallici e di barriera, le apparecchiature ALD per film conformi ultrasottili e sistemi di epitassia o MOCVD selezionati. Invia il modello, il film target, le dimensioni del wafer, la piattaforma attuale o le informazioni sulle apparecchiature disponibili per iniziare a valutare l'idoneità delle apparecchiature, la compatibilità del processo e i requisiti delle utenze di fabbrica.
CVD e PECVD
PVD e sputtering
ALD
Epitassia e MOCVD
Apparecchiature usate per la deposizione di semiconduttori disponibili
Consulta i sistemi di deposizione CVD, PECVD, PVD, sputtering, ALD e speciali attualmente disponibili. Il film target, la configurazione della camera, le dimensioni del wafer, le opzioni installate, le condizioni note e la fornitura sono confermati per la specifica macchina.
Approvvigionamento di attrezzature
Invia un modello o un requisito per il film
Hai bisogno di una piattaforma per la deposizione che non è attualmente presente nell'elenco?
Inviaci il produttore, il modello, il tipo di pellicola di destinazione, la configurazione della camera, le dimensioni del wafer, la piattaforma di produzione attuale o delle foto disponibili. Possiamo esaminare gli annunci attivi, le apparecchiature in fase di preparazione e reperire, su richiesta, la piattaforma richiesta o un'alternativa valida.
Metodi di deposizione differenti risolvono problemi differenti relativi alla pellicola.
La tabella offre agli acquirenti un punto di partenza pratico. Non sostituisce un'analisi dettagliata della piattaforma, poiché un materiale può essere depositato con più di un metodo e il risultato esatto dipende comunque dalla camera, dalla finestra di processo e dalla ricetta qualificata.
| Cosa ti serve per costruire | Direzione dell'attrezzatura che potrebbe essere rilevante | Perché gli acquirenti lo prendono in considerazione |
|---|---|---|
| Pellicole comuni dielettriche, di passivazione, per maschere rigide o a base di silicio | CVD / PECVD | Spesso utilizzato nei processi di produzione di pellicole consolidati, dove la velocità di deposizione, la ripetibilità e la produttività pratica sono fattori importanti. |
| Strati metallici, di barriera, di elettrodo o di contatto | PVD / Sputtering | Consente di trasferire il materiale desiderato sul wafer tramite processi di sputtering o evaporazione ed è ampiamente utilizzato per pellicole conduttive e barriera. |
| Pellicole ultrasottili su strutture tridimensionali profonde o complesse | ALD / PEALD | Garantisce un controllo preciso dello spessore e una copertura conforme e robusta laddove pareti laterali, trincee e elementi con elevato rapporto d'aspetto sono importanti. |
| strati di silicio cristallino o semiconduttore composto | Epitassia / MOCVD | Utilizzato per la crescita cristallina controllata, ad esempio mediante epitassia del silicio, GaN, GaAs, InP e strutture a semiconduttore composto correlate. |
I nomi delle tecnologie rappresentano solo il primo livello del processo decisionale. La configurazione finale delle apparecchiature dipende anche dalla qualità del film, dal budget di temperatura, dal materiale precursore o di destinazione, dalla copertura della struttura, dalle dimensioni del wafer, dalla produzione e dal processo già qualificato sulla linea.
Quattro rischi da verificare prima di acquistare un sistema di deposizione usato
Il nome di un modello può sembrare adatto, mentre i veri problemi rimangono nascosti nella camera di stampa, nella resa del film, nella connessione di fabbricazione o nella capacità produttiva. Questi quattro controlli aiutano a determinare se una specifica macchina merita una valutazione più approfondita.
| Cosa controlliamo | Cosa recensiamo | Rischio che aiuta ad evitare |
|---|---|---|
| È in grado di realizzare il film che desideri? | Configurazione della camera, materiale precursore o bersaglio, gas di processo, configurazione RF e di riscaldamento e applicazioni di pellicole già associate alla piattaforma. | Evitate di spostare una macchina in loco solo per scoprire che la sua camera, il percorso del gas o la configurazione del processo non sono in grado di produrre la pellicola richiesta. |
| È in grado di soddisfare i requisiti di qualità e copertura della pellicola? | Spessore target, uniformità del wafer, stress, particelle, difetti, copertura dei gradini, conformità e le strutture planari o tridimensionali che il film deve raggiungere. | Evitare scarsa uniformità, particelle o problemi di copertura che possono ridurre la resa o ritardare la qualificazione del processo. |
| Le condizioni del wafer e della fabbrica lo consentono? | Dimensioni e movimentazione dei wafer, ingombro dell'apparecchiatura, alimentazione, vuoto, scarico, raffreddamento, controllo della temperatura e connessioni per gas speciali o precursori. | Evitate di ricevere una macchina per poi scoprire che l'alimentazione elettrica, il sistema di raffreddamento, lo scarico dei fumi, l'approvvigionamento del gas o le interfacce impiantistiche esistenti non sono in grado di supportarla. |
| Riuscirà a raggiungere i vostri obiettivi di produzione? | Gestione di singoli wafer o lotti, numero di camere, tempo di ciclo, automazione, direzione prevista dei wafer all'ora e output richiesto dalla linea di produzione esistente. | Evitate di aggiungere una macchina adatta al processo ma troppo lenta, che diventi poi il prossimo collo di bottiglia della produzione. |
Prima di scegliere una macchina, verifica la pellicola, la fabbricazione e l'idoneità alla produzione.
Richiedi una valutazione dell'idoneità del sistema di deposizione
Inviaci il film target, la piattaforma attuale, le informazioni sulla camera, le dimensioni del wafer, la temperatura di processo, le condizioni dell'impianto o delle foto disponibili. Ti aiuteremo a identificare i rischi principali e i dettagli che necessitano ancora di verifica.
Continuare con un processo a film sottile collaudato
Le apparecchiature di deposizione usate vengono spesso prese in considerazione quando una fabbrica desidera mantenere un processo di deposizione di film qualificato, sostituire una piattaforma dismessa, aggiungere capacità a linee consolidate o recuperare le camere e le parti critiche necessarie per mantenere in produzione un sistema già avviato.
Aumentare la produzione senza dover ricostruire immediatamente un processo qualificato attorno a una generazione di apparecchiature completamente diversa.
Fornire supporto ai sistemi più datati con gruppi camera, riscaldatori, componenti RF, pompe, valvole, parti per l'erogazione del gas e altri articoli correlati alla piattaforma, ove disponibili.
Definisci l'ambito di fornitura, quindi fornisci supporto al sistema installato.
La consegna conferma esattamente quali macchine, camere, accessori, imballaggi e servizi sono inclusi. L'assistenza post-vendita inizia in un secondo momento, quando un sistema di deposizione esistente o appena consegnato necessita di assistenza per allarmi, vuoto, camere, riscaldamento, RF, alimentazione del gas, installazione o pezzi di ricambio.
Confermare la macchina, le camere e l'ambito di consegna
- Elenco di piattaforme e camere specifiche
Confermare il modello esatto della macchina, la configurazione della camera, i moduli inclusi, le condizioni note e gli accessori concordati.
- Disinstallazione, imballaggio e spedizione
Definire chiaramente chi si occupa dello smontaggio, dell'imballaggio per l'esportazione, del carico, del trasporto e della consegna al porto o al sito concordato.
- Servizi e preparazione dei processi
Prima dell'installazione, verificare i requisiti relativi a gas, precursori, vuoto, scarico, raffreddamento, alimentazione e controllo della temperatura.
- Garanzia e ambito di assistenza concordato
Nel preventivo, indicare il periodo di garanzia, la procedura di segnalazione, l'assistenza remota e qualsiasi intervento di riparazione, installazione o servizio in loco concordato.
Ispezionare il sistema consegnato prima dell'avvio.
- Condizioni di imballaggio e trasporto
Prima di disimballare, annotare eventuali danni visibili, segni di impatto o inclinazione, umidità e condizioni di scarico.
- Confronta la lista di consegna
Verificare la piattaforma, le camere, i numeri di serie, gli accessori e i moduli concordati confrontandoli con la distinta di imballaggio o di consegna.
- Camere di controllo e camere di trasporto
Verificare le condizioni della camera, i gruppi mobili, i robot, le serrature e gli oggetti non fissi prima di applicare alimentazione, vuoto o gas di processo.
- Segnalare tempestivamente eventuali anomalie
Se qualcosa risulta danneggiato, mancante o non conforme, prima dell'avvio inviate foto, video, informazioni sugli allarmi, dati seriali o etichette dei componenti.
Assistenza post-vendita e supporto per sistemi esistenti
Recensione di allarmi e aspirapolvere
Camera, riscaldatore e supporto RF
Corrispondenza dei pezzi di ricambio
Assistenza per l'installazione e l'avvio
Supporto tecnico per i sistemi di deposizione esistenti e forniti
Quando un sistema esistente o appena installato presenta un allarme, un problema di vuoto, un guasto alla camera, un problema di riscaldamento, un problema di radiofrequenza, un problema di erogazione del gas o la necessità di un pezzo di ricambio, il nostro team tecnico e di assistenza può aiutarvi ad analizzare le informazioni disponibili e a coordinare i successivi passi pratici.
Organizza le schermate di allarme, l'andamento della pressione, le condizioni operative, le foto o i video e valuta la probabile direzione del guasto prima di procedere all'ispezione o alla riparazione.
Illustrare le procedure di ispezione, riparazione o recupero per gruppi di camere, riscaldatori, componenti RF, pompe, valvole e sottosistemi correlati.
Verifica le compatibilità tra le piattaforme e le possibili opzioni di ricambi in base al modello della macchina, al nome della camera, al codice del ricambio, all'etichetta o alla foto del componente.
Prima di iniziare il normale funzionamento, verificare le utenze, i blocchi di trasporto, i controlli delle perdite, il vuoto, i gas, le comunicazioni e le domande relative al primo avvio.
Le specifiche relative a riparazione, restauro, messa in servizio, assistenza in loco e ambito di garanzia vengono confermate per ogni singola macchina e per ogni preventivo.
Richiesta di supporto per il sistema di deposizioneDomande frequenti sulle apparecchiature per la deposizione di film sottili
Queste domande riguardano le principali problematiche che gli acquirenti si trovano ad affrontare quando valutano sistemi usati di deposizione di semiconduttori tramite CVD, PECVD, PVD, ALD e altre tecnologie.
Qual è la differenza tra le apparecchiature CVD, PECVD, PVD e ALD?
La CVD e la PECVD formano film attraverso reazioni chimiche, con la PECVD che utilizza l'ausilio del plasma. La PVD trasferisce materiale da un bersaglio o da una sorgente di evaporazione. L'ALD crea film attraverso ripetute reazioni superficiali auto-limitanti per ottenere spessori precisi e una copertura conforme. La scelta finale dipende dal film desiderato e dai requisiti di processo.
Come faccio a sapere se un sistema di deposizione è in grado di processare la pellicola che ci interessa?
Iniziate considerando il materiale di destinazione, l'utilizzo della camera, il precursore o il prodotto finale, il gas di processo, l'intervallo di temperatura, le dimensioni del wafer e la storia nota della piattaforma. Questi dettagli aiutano a stabilire se la macchina merita una valutazione più approfondita.
La stessa piattaforma può avere diverse configurazioni di camere?
Sì. La stessa famiglia di apparecchiature può presentare camere, sistemi di erogazione del gas, RF, riscaldatori, sistemi di gestione dei wafer, software e opzioni installate differenti. È necessario verificare le caratteristiche specifiche della macchina, anziché presumere che tutte le unità siano identiche.
Cosa bisogna verificare quando si sostituisce un sistema di deposizione esistente?
Esaminare la pellicola qualificata, la configurazione della camera, le dimensioni del wafer, la temperatura di processo, il sistema di gas o precursori, l'automazione, le utenze, la generazione del software e le modifiche pratiche necessarie per l'integrazione.
Riuscite a trovare una piattaforma per le deposizioni che non sia attualmente presente nell'elenco?
Sì. Inviaci il produttore, il modello, il tipo di pellicola di destinazione, le informazioni sulla camera di reazione, le dimensioni del wafer o la piattaforma attuale. Possiamo verificare gli elenchi attuali, le apparecchiature in fase di preparazione e ulteriori possibilità di approvvigionamento in base alle tue richieste.
Fornite camere di deposizione, moduli e pezzi di ricambio?
Le richieste possono includere gruppi camera, riscaldatori, componenti RF, pompe, valvole, parti per l'erogazione del gas, controllori e altri articoli correlati alla piattaforma. La disponibilità deve essere verificata confrontandola con le informazioni esatte relative alla macchina, alla camera e al componente.
Inviaci i requisiti per le apparecchiature di deposizione di film sottili
Condividi il film target, l'apparecchiatura attuale, il modello, la foto della camera, le dimensioni del wafer, la temperatura di processo, l'obiettivo di sostituzione o i requisiti di approvvigionamento. Utilizzeremo le informazioni disponibili per restringere il campo delle apparecchiature e identificare il prossimo passo pratico di valutazione.