Examiner les systèmes d'occasion de même famille ou pertinents lorsque le processus existant reste précieux mais que la plateforme d'origine est difficile à trouver neuve.
Équipement de fabrication de plaquettes de silicium en amont
Équipement de dépôt de couches minces semi-conductrices
Explorez les équipements d'occasion pour le dépôt de couches minces semi-conductrices, notamment les systèmes CVD et PECVD pour les films diélectriques et de passivation, les plateformes PVD et de pulvérisation cathodique pour les couches métalliques et barrières, les équipements ALD pour les films ultra-minces conformes, ainsi que certains systèmes d'épitaxie ou MOCVD. Veuillez nous communiquer le modèle, le type de film cible, la taille de la plaquette, la plateforme actuelle ou les informations relatives aux équipements disponibles afin que nous puissions évaluer la compatibilité des équipements, des procédés et les besoins en utilités de la salle blanche.
CVD et PECVD
PVD et pulvérisation cathodique
ALD
Épitaxie et MOCVD
Équipements de dépôt de semi-conducteurs d'occasion disponibles
Consultez les systèmes de dépôt CVD, PECVD, PVD, par pulvérisation cathodique, ALD et autres systèmes spéciaux actuellement disponibles. Les caractéristiques de la cible (film), de la configuration de la chambre, de la taille de la plaquette, des options installées, de l'état et des détails de la livraison sont confirmés pour chaque machine.
Approvisionnement en équipements
Envoyez un modèle ou un besoin en matière de film
Vous avez besoin d'une plateforme de déposition qui n'est pas actuellement répertoriée ?
Veuillez nous indiquer le fabricant, le modèle, le film cible, la configuration de la chambre, la taille de la plaquette, la plateforme de production actuelle ou nous fournir des photos. Nous pourrons ainsi consulter les annonces en cours, les équipements en préparation et rechercher sur demande la plateforme requise ou une alternative pertinente.
Différentes méthodes de dépôt résolvent différents problèmes de films.
Ce tableau offre aux acheteurs un point de départ pratique. Il ne remplace pas une analyse détaillée de la plateforme, car un même matériau peut être déposé par plusieurs méthodes et le résultat exact dépend toujours de la chambre, des paramètres de procédé et de la recette utilisée.
| Ce dont vous avez besoin pour construire | Instructions relatives à l'équipement qui pourraient être pertinentes | Pourquoi les acheteurs le prennent en considération |
|---|---|---|
| Films diélectriques, de passivation, de masquage dur ou à base de silicium courants | CVD / PECVD | Souvent utilisé pour les procédés de production de films établis où le taux de dépôt, la répétabilité et le débit pratique sont importants. |
| Couches métalliques, barrières, électrodes ou de contact | PVD / Pulvérisation cathodique | Transfère le matériau cible sur la plaquette par des procédés de pulvérisation cathodique ou d'évaporation et est largement utilisé pour les films conducteurs et barrières. |
| Films ultra-minces sur des structures tridimensionnelles profondes ou complexes | ALD / PEALD | Assure un contrôle précis de l'épaisseur et une couverture conforme robuste là où les parois latérales, les tranchées et les éléments à rapport d'aspect élevé sont importants. |
| Couches de silicium cristallin ou de semi-conducteurs composés | Épitaxie / MOCVD | Utilisé pour la croissance cristalline contrôlée telle que l'épitaxie du silicium, le GaN, le GaAs, l'InP et les structures semi-conductrices composées apparentées. |
Les noms technologiques ne constituent que la première étape de la décision. Le choix final des équipements dépend également de la qualité du film, du budget de température, du matériau précurseur ou cible, de la couverture de la structure, de la taille de la plaquette, du rendement de production et du processus déjà qualifié sur la ligne.
Quatre risques à vérifier avant d'acheter un système de dépôt d'occasion
Un nom de modèle peut sembler approprié, mais les véritables problèmes peuvent rester cachés au niveau de la chambre de combustion, de la qualité du film, de la connexion à l'usine ou de la capacité de production. Ces quatre points de contrôle permettent de déterminer si une machine mérite une évaluation approfondie.
| Ce que nous vérifions | Ce que nous évaluons | Risque que cela permet d'éviter |
|---|---|---|
| Peut-il produire le film que vous souhaitez réaliser ? | Configuration de la chambre, matériau précurseur ou cible, gaz de procédé, configuration RF et de chauffage, et applications de film déjà associées à la plateforme. | Évitez de déplacer une machine sur site pour ensuite constater que sa chambre, son circuit de gaz ou son processus de fabrication ne permettent pas de produire le film requis. |
| Peut-il répondre aux exigences de qualité et de couverture du film ? | Épaisseur cible, uniformité de la plaquette, contraintes, particules, défauts, couverture des marches, conformité et structures planes ou tridimensionnelles que le film doit atteindre. | Évitez les problèmes d'uniformité, de particules ou de couverture qui peuvent réduire le rendement ou retarder la qualification du processus. |
| Vos conditions de fabrication et de production de plaquettes le permettent-elles ? | Taille et manipulation des plaquettes, encombrement de l'équipement, alimentation électrique, vide, échappement, refroidissement, contrôle de la température et connexions pour gaz spéciaux ou précurseurs. | Évitez de recevoir une machine pour ensuite découvrir que l'alimentation électrique, le système de refroidissement par eau, le système d'échappement, l'alimentation en gaz ou les interfaces de l'installation existants ne peuvent pas la supporter. |
| Cela peut-il atteindre votre objectif de production ? | Manipulation de plaquettes individuelles ou par lots, nombre de chambres, temps de cycle, automatisation, direction WPH prévue et rendement requis de la ligne de production existante. | Évitez d'ajouter une machine capable de traiter des données, mais trop lente, qui deviendra le prochain goulot d'étranglement de la production. |
Vérifiez l'adéquation du film, de la fabrication et de la production avant de vous engager sur une machine.
Demande d'examen d'adéquation du système de dépôt
Veuillez nous envoyer le film cible, la plateforme actuelle, les informations sur la chambre, la taille de la plaquette, la température de traitement, les conditions de l'installation ou les photos disponibles. Nous vous aiderons à identifier les principaux risques et les détails qui nécessitent encore une vérification.
Poursuivre un procédé éprouvé de couches minces
On envisage souvent le recours à des équipements de dépôt d'occasion lorsqu'une usine de fabrication souhaite maintenir un procédé de dépôt de film qualifié, remplacer une plateforme abandonnée, augmenter la capacité d'une ligne mature ou récupérer les chambres et les pièces critiques nécessaires au maintien en production d'un système établi.
Augmenter la production sans reconstruire immédiatement un processus qualifié autour d'une génération d'équipements complètement différente.
Assurer la compatibilité des systèmes plus anciens avec des ensembles de chambres, des éléments chauffants, des composants RF, des pompes, des vannes, des pièces de distribution de gaz et d'autres éléments liés à la plateforme, lorsqu'ils sont disponibles.
Définir le périmètre de la livraison, puis assurer le support du système installé
La livraison précise le contenu exact de la machine, des chambres, des accessoires, de l'emballage et des services inclus. Le support après-vente intervient ultérieurement, lorsqu'un système de dépôt existant ou livré nécessite une assistance concernant les alarmes, le vide, les chambres, le chauffage, la radiofréquence, l'alimentation en gaz, l'installation ou les pièces détachées.
Confirmer la machine, les chambres et le périmètre de transfert
- Liste spécifique des plateformes et des chambres
Confirmer la machine exacte, la configuration de la chambre, les modules inclus, l'état connu et les accessoires convenus.
- Désinstallation, emballage et expédition
Précisez qui se charge du démontage, de l'emballage pour l'exportation, du chargement, du transport et de la livraison au port ou au site convenu.
- Services publics et préparation des procédés
Avant l'installation, examiner les exigences relatives au gaz, au précurseur, au vide, à l'échappement, au refroidissement, à l'alimentation électrique et au contrôle de la température.
- Étendue de la garantie et du support convenu
Indiquez dans le devis la période de garantie, la procédure de signalement, l'assistance à distance et toute réparation, installation ou intervention sur site convenue.
Inspectez le système livré avant la mise en service.
- Conditionnement et transport
Consignez les dommages visibles, les traces d'impact ou d'inclinaison, le taux d'humidité et les conditions de déchargement avant de déballer.
- Correspondance avec la liste de livraison
Vérifiez que la plateforme, les chambres, les numéros de série, les accessoires et les modules convenus correspondent bien à la liste d'emballage ou de livraison.
- Chambres de contrôle et écluses de transport
Vérifier l'état de la chambre, des ensembles mobiles, des robots, des verrous et des objets non fixés avant d'appliquer l'alimentation électrique, le vide ou les gaz de procédé.
- Signalez rapidement toute anomalie.
Avant la mise en marche, veuillez envoyer des photos, des vidéos, les informations d'alarme, les détails du numéro de série ou les étiquettes des pièces si quelque chose semble endommagé, manquant ou incohérent.
Assistance après-vente et maintenance des systèmes existants
Avis sur les alarmes et les aspirateurs
Chambre, chauffage et support RF
Appariement des pièces de rechange
Assistance à l'installation et à la mise en service
Assistance technique pour les systèmes de dépôt existants et livrés
Lorsqu'un système existant ou livré présente une alarme, un problème de vide, un défaut de chambre, un problème de chauffage, un problème RF, un problème d'alimentation en gaz ou un besoin en pièces de rechange, notre équipe technique et de service peut vous aider à examiner les informations disponibles et à coordonner la prochaine étape pratique.
Organisez les écrans d'alarme, le comportement de la pression, les conditions de fonctionnement, les photos ou vidéos et examinez la direction probable du défaut avant toute inspection ou réparation.
Discuter des instructions d'inspection, de réparation ou de récupération pour les ensembles de chambres, les éléments chauffants, les composants RF, les pompes, les vannes et les sous-systèmes connexes.
Vérifiez les compatibilités entre les plateformes et les options de pièces disponibles à partir du modèle de la machine, du nom de la chambre, du numéro de pièce, de l'étiquette ou de la photo du composant.
Avant le début des opérations normales, vérifiez les utilités, les verrous de transport, les contrôles d'étanchéité, le vide, les gaz, les communications et les questions relatives au premier démarrage.
Les modalités spécifiques de réparation, de restauration, de mise en service, d'intervention sur site et l'étendue de la garantie sont confirmées pour chaque machine et font l'objet d'un devis.
Demande d'assistance pour le système de dépôtFAQ sur les équipements de dépôt de couches minces
Ces questions couvrent les principaux problèmes rencontrés par les acheteurs lors de l'examen des systèmes de dépôt de semi-conducteurs d'occasion CVD, PECVD, PVD, ALD et autres.
Quelle est la différence entre les équipements CVD, PECVD, PVD et ALD ?
Les procédés CVD et PECVD permettent de former des films par réactions chimiques, le PECVD utilisant l'assistance d'un plasma. Le PVD consiste à transférer la matière à partir d'une cible ou d'une source d'évaporation. L'ALD permet de construire des films par des réactions de surface auto-limitées répétées, garantissant une épaisseur précise et une couverture conforme. Le choix final dépend du film cible et des exigences du procédé.
Comment savoir si un système de dépôt peut traiter notre film cible ?
Commencez par examiner le matériau cible, la chambre d'utilisation, le précurseur ou la cible, le gaz de procédé, la plage de températures, la taille de la plaquette et l'historique connu de la plateforme. Ces détails permettent de déterminer si la machine mérite une évaluation plus approfondie.
Une même plateforme peut-elle avoir différentes configurations de chambres ?
Oui. Des équipements d'une même famille peuvent présenter des différences au niveau des chambres, de l'alimentation en gaz, de la radiofréquence, des éléments chauffants, de la manipulation des plaquettes, du logiciel et des options installées. Il est impératif de vérifier les spécifications de la machine en question plutôt que de supposer que tous les appareils sont identiques.
Quels sont les points à vérifier lors du remplacement d'un système de dépôt existant ?
Examiner le film qualifié, la configuration de la chambre, la taille de la plaquette, la température du processus, le système de gaz ou de précurseur, l'automatisation, les utilités, la génération de logiciels et les changements pratiques nécessaires à l'intégration.
Pouvez-vous trouver une plateforme de dépôt qui ne soit pas actuellement répertoriée ?
Oui. Veuillez nous indiquer le fabricant, le modèle, le film cible, les informations sur la chambre, la taille de la plaquette ou votre plateforme actuelle. Nous pourrons ainsi consulter nos offres actuelles, les équipements en cours de préparation et explorer d'autres possibilités d'approvisionnement sur demande.
Fournissez-vous des chambres de dépôt, des modules et des pièces de rechange ?
Les demandes peuvent inclure des ensembles de chambres, des éléments chauffants, des composants RF, des pompes, des vannes, des pièces pour la distribution de gaz, des contrôleurs et d'autres éléments liés à la plateforme. La disponibilité doit être vérifiée en fonction des informations exactes concernant la machine, la chambre et la pièce.
Envoyez-nous vos besoins en équipement de dépôt de couches minces
Veuillez nous indiquer le film cible, l'équipement actuel, son modèle, une photo de la chambre, la taille de la plaquette, la température de traitement, l'objectif de remplacement ou les besoins d'approvisionnement. Ces informations nous permettront d'orienter le choix de l'équipement et de déterminer la prochaine étape pratique de l'évaluation.