MỘT cưa wafer, còn được gọi là cưa cắt lát mỏng hoặc cưa cắt hạt lựuĐây là một máy chính xác có chức năng căn chỉnh tấm bán dẫn, điều khiển đường cắt và sử dụng lưỡi dao tốc độ cao hoặc phương pháp cắt lát đạt tiêu chuẩn khác để tách tấm bán dẫn thành các chip bán dẫn riêng lẻ. Kết quả cuối cùng phụ thuộc vào sự hoạt động đồng bộ của máy móc, trục chính, lưỡi dao, bàn kẹp, băng dính, khung, hệ thống thị giác, hệ thống cấp nước và các thiết lập quy trình.
Định vị chính xácHệ thống thị giác, căn chỉnh và chuyển động giúp đảm bảo đường cắt luôn nằm chính giữa con phố đã định.
Cắt có kiểm soátTốc độ trục chính, tốc độ tiến dao, tình trạng lưỡi dao và độ sâu cắt đều ảnh hưởng đến độ rộng vết cắt và chất lượng cạnh cắt.
Giữ phôi ổn địnhKhung, băng dính, bàn kẹp và hệ thống hút chân không giúp ngăn chuyển động trong suốt chu trình cắt.
Vệ sinh và kiểm traViệc tưới nước, loại bỏ mảnh vụn, sấy khô và kiểm tra đường cắt giúp bảo vệ các khuôn dập cuối cùng.
So sánh cưa cắt lát mỏng và cưa cắt hạt lựu: Cả hai thuật ngữ này thường được dùng để mô tả các máy cắt bán dẫn chính xác được sử dụng để tách các tấm wafer. Sự phù hợp chính xác phụ thuộc vào phôi, loại cắt, cấu hình trục chính, tự động hóa và các tùy chọn được cài đặt.