جهاز PVA TePla / Technics 600 Autoload هو جهاز تنظيف بلازما بترددات الراديو شبه أوتوماتيكي، يُستخدم لإزالة طبقة المقاوم الضوئي، وتنظيف أسطح الرقاقات، وعمليات حفر البلازما الجافة المختارة. يستخدم النظام مولد ترددات راديوية بتردد 13.56 ميجاهرتز، ويدعم رقاقات أشباه الموصلات حتى 200 مم، وذلك حسب تكوين التحميل المُثبَّت وحامل الركيزة.
هذا النظام المستعمل مُدرج بـ 1731 ساعة تشغيل ومضخة تفريغ من سلسلة Leybold TRIVAC D65. يُرجى التأكد من آلية التحميل الدقيقة، وحالة مولد الترددات اللاسلكية، وتكوين الغاز، ولاحقة طراز المضخة، وحالة التشغيل الحالية قبل الشراء.
المواصفات الرئيسية لـ PVA TePla 600 Autoload
| الشركة المصنعة | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| نموذج | 600 تحميل تلقائي / 600-AL |
| نوع المعدات | نظام حفر ونقش البلازما بترددات الراديو شبه الأوتوماتيكي |
| أقصى حجم للرقاقة | يصل إلى 200 مم، وفقًا لتكوين المعدات المتوافقة |
| ترددات الراديو | 13.56 ميجاهرتز |
| مولد الترددات اللاسلكية | مولد الترددات اللاسلكية ENI |
| طاقة الترددات اللاسلكية | 0-600 واط |
| مادة غرفة المعالجة | السيراميك |
| قطر الحجرة | 245 مم |
| عمق الحجرة | 380 مم |
| قنوات الغازات المستخدمة في العمليات | أربع قنوات غاز يتم التحكم فيها بواسطة وحدة التحكم في تدفق الكتلة (MFC)، وفقًا لتكوين المعدات المتوافقة. |
| مضخة تفريغ | مضخة تفريغ من سلسلة Leybold TRIVAC D65؛ سيتم تأكيد لاحقة الطراز الدقيقة لاحقًا |
| ساعات العمل المسجلة | 1731 ساعة، وفقًا لقائمة المعدات المتاحة |
| الإمداد الكهربائي | 230 فولت، 50/60 هرتز؛ يجب التأكد من تصنيف التيار والطاقة من لوحة بيانات الجهاز. |
| الأبعاد التقريبية للنظام | 740 × 624 × 701 مم، باستثناء التوصيلات الخارجية ومعدات التفريغ |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي، والفحص، وتأكيد التكوين |
ميزات المعدات الرئيسية
بلازما مولدة بتردد 13.56 ميجاهرتز
طاقة تردد لاسلكي قابلة للتعديل تصل إلى 600 واط
غرفة معالجة السيراميك بقطر 245 مم
قدرة معالجة رقائق السيليكون حتى 200 مم
أربع قنوات غاز معالجة يتم التحكم فيها بواسطة MFC في التكوين المتطابق
تحميل الركائز ومعالجة البلازما شبه الآلية
مضخة تفريغ الهواء من سلسلة Leybold TRIVAC D65
مناسب لعمليات إزالة المقاومات، والتنظيف، وعمليات حفر مواد محددة
التطبيقات النموذجية
يُستخدم جهاز Tepla 600 Autoload بشكل أساسي لإزالة طبقة مقاومة الضوء بالبلازما وتنظيف الأسطح في معالجة رقائق أشباه الموصلات. فهو قادر على إزالة بقايا المقاومة بعد الطباعة الحجرية أو الحفر، وتنظيف الملوثات العضوية من أسطح الرقائق قبل خطوات التصنيع اللاحقة.
تشمل التطبيقات المنشورة الأخرى لهذه المنصة إزالة طبقات التخميل العضوية والأقنعة، وإزالة البوليميد، ومعالجة البلازما الانتقائية للسيليكون، وثاني أكسيد السيليكون، ونيتريد السيليكون، والزجاج، والسيراميك. يعتمد معدل الحفر الفعلي، وانتقائية المواد، وتجانس العملية على تكوين القطب الكهربائي المُثبَّت، والتركيب الكيميائي للغاز، والتحكم في الضغط، وظروف الترددات الراديوية، ووصفة العملية المُعتمدة.
تكوين عملية البلازما بترددات الراديو
بخلاف أنظمة بلازما الميكروويف في سلسلتي PVA TePla 660 وGIGA، يستخدم هذا التكوين من Tepla 600 مولد ترددات لاسلكية ENI بتردد 13.56 ميجاهرتز. يمكن لبلازما الترددات اللاسلكية أن توفر كلاً من الأنواع الكيميائية المتفاعلة والتفاعل السطحي المدعوم بالأيونات، وذلك اعتمادًا على غاز المعالجة والضغط والطاقة وموضع الركيزة.
لا ينبغي التعامل مع النظام تلقائيًا كأداة إنتاج عالية الانتقائية بتقنية الحفر التفاعلي الأيوني (RIE). يجب على العملاء الذين يخططون لحفر السيليكون أو الأكاسيد أو النتريد التأكد أولاً من ترتيب الأقطاب الكهربائية، وشبكة التوافق، والتحكم في الضغط، والغازات المتاحة، وسجلات العمليات الحالية.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
تستند المواصفات المذكورة أعلاه إلى المعلومات المتاحة والمطابقة لنظام Tepla 600-AL الذي له نفس ساعات التشغيل المُبلغ عنها. يجب التحقق من المكونات المُثبتة فعليًا ومقارنتها بصور حديثة للجهاز، وملصقات التعريف، وتقرير الفحص.
قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد الرقم التسلسلي للجهاز، وسجل وحدة التحكم لمدة 1731 ساعة، وحالة غرفة السيراميك، ومولد الترددات اللاسلكية، وشبكة المطابقة، ونماذج ونطاقات MFC الأربعة، وحامل الركيزة، وآلية التحميل، ومقاييس الضغط، وصمامات التفريغ، ونموذج مضخة Leybold، ونظام التحكم، وأجهزة التعشيق الآمنة، وحالة التشغيل الحالية.
تختلف المعلومات المتعلقة بتصنيف التيار الكهربائي بين قوائم المنتجات المتاحة. لذا، ينبغي الحصول على متطلبات الطاقة للمنشأة من لوحة بيانات الجهاز بدلاً من افتراضها من معلومات المعدات الثانوية.
طلب معلومات عن التحميل التلقائي لجهاز PVA TePla 600
تواصل مع فريقنا للاستفسار عن مدى توفر جهاز PVA TePla / Technics 600 Autoload المستعمل. يرجى تزويدنا بمعلومات حول حجم الرقاقة، ومادة الركيزة، وعملية إزالة أو حفر الهدف، والغازات المطلوبة، والبلد المقصود، والجدول الزمني المتوقع للتركيب.
اتصل بنا للحصول على صور حديثة للآلة، والرقم التسلسلي، والتكوين المثبت، وسجل ساعات التشغيل، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هو استخدام جهاز PVA TePla 600 Autoload؟
تُستخدم هذه المنصة بشكل أساسي لإزالة طبقة مقاومة الضوء بالبلازما، وإزالة المخلفات العضوية، وتنظيف أسطح الرقائق. كما يمكنها دعم عمليات الحفر الانتقائي للسيليكون، ومركبات السيليكون، والزجاج، والسيراميك، والبوليميد عند تهيئتها وتأهيلها بشكل صحيح.
هل جهاز Tepla 600 هو نظام بلازما يعمل بالميكروويف أم بترددات الراديو؟
هذا التكوين 600 Autoload هو نظام بلازما RF يستخدم مولد ENI يعمل بتردد 13.56 ميجاهرتز مع طاقة خرج تصل إلى 600 واط.
ما هو حجم الرقاقة التي يمكن للنظام معالجتها؟
تم تحديد تكوين المعدات المتوافقة للرقاقات التي يصل قطرها إلى 200 مم. يجب فحص حامل الركيزة وآلية التحميل المثبتة قبل التأكد من التوافق مع حجم رقاقة معين.
هل تعني خاصية التحميل التلقائي أن الآلة أوتوماتيكية بالكامل؟
ليس بالضرورة. على الرغم من تسويق الجهاز باسم 600 Autoload أو 600-AL، إلا أن المواصفات المطابقة تصفه بأنه نظام بلازما بترددات الراديو شبه أوتوماتيكي. يجب توضيح تسلسل التحميل المثبت وخطوات التشغيل المطلوبة أثناء الفحص.
هل تحتوي الآلة على مضخة تفريغ؟
يُشير الإعلان المتاح إلى مضخة تفريغ من سلسلة Leybold TRIVAC D65. يُرجى التأكد من لاحقة المضخة الدقيقة، وحالة الزيت، وأداء الضخ، ومكونات التوصيل المرفقة على الجهاز المتاح.
