يُعدّ نظام PVA TePla / Technics 660 نظام بلازما ميكروويف منخفض الضغط مُصمّمًا لحفر عزل الحواف في إنتاج الخلايا الشمسية. تعمل هذه العملية على إزالة الطبقة الموصلة المُطعّمة حول حواف الخلية لعزل السطحين الأمامي والخلفي كهربائيًا وتقليل تسرب التيار غير المرغوب فيه.
هذه الآلة المتوفرة صُنعت عام ٢٠٠٨، وعدد ساعات تشغيلها ١٦ ساعة فقط. تشمل مواصفاتها المذكورة منصة قطرها ٣٥٠ مم، وثلاثة مداخل لغازات المعالجة يتم التحكم بها بواسطة وحدة تحكم في تدفق الكتلة (MFC)، ومدخل لغازات التهوية، ومضخة تفريغ جافة خالية من الزيت من نوع إيبارا. يُنصح بالتأكد من حالة التشغيل الحالية واكتمال جميع المكونات قبل الشراء.
المواصفات الرئيسية لـ PVA TePla Technics 660
| الشركة المصنعة | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| نموذج | 660 |
| نوع المعدات | نظام حفر البلازما بالميكروويف منخفض الضغط |
| العملية المُهيأة | حفر عزل حافة الخلية الشمسية |
| سنة المعدات | 2008، وفقًا لقائمة المعدات المتاحة |
| ساعات العمل المسجلة | 16 ساعة، وفقًا لقائمة المعدات المتاحة |
| تردد البلازما | 2.45 جيجاهرتز |
| طاقة الميكروويف | 0–1000 واط |
| مادة غرفة المعالجة | الألومنيوم |
| حجم الحجرة | 64 لتر |
| الأبعاد الداخلية للحجرة | 400 × 400 × 400 مم |
| مدخلات غاز العملية المركبة | ثلاثة مداخل غاز يتم التحكم فيها بواسطة وحدة التحكم في تدفق الكتلة (MFC)، وفقًا لقائمة المعدات |
| منصة | خيار منصة بقطر 350 مم، وفقًا لقائمة المعدات |
| وصلة مكنسة كهربائية | DN 63 ISO K |
| قاعدة | حوالي 2 × 10-2 مليبار |
| ضغط العملية | حوالي 0.2-2 ملي بار |
| وقت الإخلاء | دقيقة واحدة تقريبًا |
| مضخة تفريغ مرفقة | مضخة إيبارا الجافة الخالية من الزيت، وفقًا لقائمة المعدات |
| الإمداد الكهربائي | 230 فولت، أحادي الطور، 16 أمبير، 50/60 هرتز |
| الأبعاد التقريبية | 1050 × 1720 × 770 مم |
| الوزن التقريبي | 180 كجم، باستثناء مضخة التفريغ |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي، والفحص، وتأكيد التكوين |
ميزات المعدات الرئيسية
توليد بلازما الميكروويف منخفضة الضغط بتردد 2.45 جيجاهرتز
طاقة خرج الميكروويف قابلة للتعديل حتى 1000 واط
حجرة معالجة من الألومنيوم سعة 64 لترًا بدون أقطاب كهربائية داخلية بترددات الراديو
مُصممة لحفر عزل حواف الخلايا الشمسية
خيار منصة الركيزة بقطر 350 مم
ثلاثة مدخلات لغاز العملية يتم التحكم فيها بواسطة وحدة التحكم في تدفق الكتلة الميكروبية
مضخة تفريغ جافة خالية من الزيت من إيبارا مضمنة في التكوين المذكور
المعالجة اليدوية والآلية باستخدام الوصفات المخزنة
حفر عزل حافة الخلية الشمسية
أثناء تصنيع الخلايا الشمسية، قد تمتد الطبقة المشوبة حول حواف الرقاقة وتُنشئ اتصالاً كهربائياً بين السطحين الأمامي والخلفي. تعمل تقنية عزل حواف البلازما على إزالة هذه المنطقة الموصلة، مما يحافظ على فصل وصلة PN كهربائياً.
في عملية البلازما التقليدية القائمة على التراص، تُحفر حواف الخلايا المكشوفة فقط، بينما تحمي الرقاقات المجاورة السطحين الأمامي والخلفي الرئيسيين. وتعتمد التركيبة الكيميائية للغاز، وترتيب التحميل، ونتيجة الحفر، وأبعاد الركيزة المدعومة على المنصة المُثبّتة، ونظام الغاز، ووصفة العملية المُعتمدة.
قدرة إضافية على معالجة البلازما
طُوِّرت منصة 660 أيضًا لتنظيف أسطح أشباه الموصلات باستخدام البلازما منخفضة الضغط وتنشيطها قبل تركيب الرقاقات وتوصيل الأسلاك والتغليف. ومع ذلك، فإن هذه الآلة مُدرجة تحديدًا بتكوين حفر عزل الحواف.
لا ينبغي النظر في استخدام البلازما لتنظيف العبوات أو معالجة المواد المقاومة للضوء أو أي تطبيق آخر للبلازما إلا بعد التأكد من توافق الحجرة ومواد الغاز والأختام وتكوين الضخ وحامل الركيزة ومتطلبات تطوير العملية.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
قد لا تتطابق مواصفات المنصة المنشورة مع التكوين المُثبّت للنظام المُستخدَم. يُذكر أن هذه الآلة تتضمن ثلاثة مداخل غاز MFC، ووصلة غاز للتهوية، ووحدة معالجة بقطر 350 مم، ومضخة جافة من نوع EBARA، ولكن يجب التحقق من كل مكون على حدة من خلال صور حديثة وفحص دقيق.
قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد الرقم التسلسلي، وساعات التشغيل المسجلة، ومولد الميكروويف، وحالة الحجرة، ونماذج MFC، وتوافق الغاز، وحركة المرحلة، ونموذج مضخة التفريغ، ونظام التحكم، وأجهزة التعشيق الآمنة، والوصفات المتاحة، وحالة التشغيل الحالية.
طلب معلومات عن PVA TePla 660
اتصل بفريقنا للتحقق من التوافر الحالي لـ PVA TePla / Technics 660 المستعملة. يرجى تقديم نوع الركيزة، وأبعاد الرقاقة أو الخلية، وعملية عزل الحافة المستهدفة، والغازات المطلوبة، وبلد الوجهة، وجدول التثبيت المتوقع.
اتصل بنا للحصول على صور المعدات الحالية، والرقم التسلسلي، وسجل ساعات التشغيل، والتكوين المثبت، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هو استخدام جهاز PVA TePla Technics 660؟
تم تصميم هذه الآلة خصيصًا لعملية حفر عزل الحواف باستخدام بلازما الميكروويف في إنتاج الخلايا الشمسية. كما يمكن لمنصة 660 دعم تنظيف البلازما وتنشيط الأسطح عند تجهيزها واعتمادها لهذه العمليات.
ما الذي يزيله حفر عزل الحواف؟
يزيل هذا الإجراء الطبقة الموصلة المشوبة حول حواف الخلية الشمسية بحيث لا تبقى الأسطح الأمامية والخلفية متصلة كهربائياً حول محيط الرقاقة.
هل تحتوي هذه الآلة على مضخة تفريغ؟
تشير قائمة المعدات المتاحة إلى أن مضخة إيبارا الجافة الخالية من الزيت مُضمنة. يجب التأكد من طراز المضخة وحالة تشغيلها ومكونات التوصيل أثناء الفحص.
كم عدد مداخل الغازات المستخدمة في العملية؟
تحتوي الآلة المذكورة على ثلاثة مداخل لغازات المعالجة يتم التحكم بها بواسطة وحدة تحكم في تدفق الكتلة (MFC)، بالإضافة إلى مدخل منفصل لغازات التهوية. يجب التحقق من نطاقات وحدة التحكم في تدفق الكتلة والغازات المتوافقة من المكونات المثبتة.
هل تم استخدام هذا المنتج من نوع PVA TePla 660 بكثرة؟
تشير قائمة المعدات إلى 16 ساعة تشغيل فقط. يجب التحقق من هذه القيمة بمقارنتها مع وحدة تحكم الآلة، أو سجلات الصيانة، أو أي دليل آخر متاح على ساعات التشغيل قبل اعتبارها مؤكدة.
