جهاز بلازما مستعمل من نوع PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M

جهاز PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M هو جهاز تنظيف بالبلازما الميكروويفية يعمل على دفعات، مصمم لإزالة طبقة المقاوم الضوئي، وتنظيف الرقاقات، ومعالجة الأسطح في صناعة أشباه الموصلات. يستخدم الجهاز بلازما ميكروويفية بتردد 2.45 جيجاهرتز في حجرة مفرغة من الهواء، ويمكنه معالجة عدة رقاقات في دفعة واحدة.

تشمل الاستخدامات الشائعة إزالة طبقة مقاومة الضوء، وإزالة طبقة المقاومة قبل التنظيف الكيميائي الرطب، ومعالجة الرواسب، وإزالة المخلفات العضوية. الجهاز المعروض مُدرج كنظام من عام ٢٠١٣، ولكن يجب التأكد من حالة تشغيله، والخيارات المُثبّتة عليه، والملحقات المُرفقة قبل الشراء.

المواصفات الرئيسية لـ PVA TePla GIGAbatch 360M

ميزات المعدات الرئيسية

• توليد البلازما بالميكروويف بتردد 2.45 جيجاهرتز

• طاقة ميكروويف قابلة للتعديل تصل إلى 1000 واط

• حجرة معالجة الكوارتز بقطر 245 مم

• معالجة دفعية للرقائق حتى 150 مم

• تتسع لما يصل إلى 50 رقاقة سيليكون مع الحامل المناسب

• باب حجرة آلي لتحميل الرقاقات

• توصيل غاز العملية الذي يتم التحكم فيه بواسطة خلية الوقود الميكروبية

• مصمم لمعالجة البلازما الدفعية المتحكم بها

التطبيقات النموذجية

يُستخدم جهاز GIGAbatch 360M بشكل أساسي في عملية إزالة طبقة المقاوم الضوئي من رقائق أشباه الموصلات باستخدام تقنية البلازما. ويمكن استخدامه قبل التنظيف الكيميائي الرطب لإزالة بقايا المقاوم الضوئي والملوثات العضوية من أسطح الرقائق.

قد تشمل التطبيقات الأخرى معالجة الرواسب، والتنظيف بالبلازما الجافة، وتنشيط السطح قبل عمليات الطلاء أو الربط أو التصنيع اللاحقة. وتعتمد ملاءمة العملية الفعلية على خطوط الغاز المركبة، وحامل الرقاقة، ومواد الحجرة، والأختام، ووصفات المعالجة المتاحة.

تهيئة وفحص المعدات المستعملة

تصف المواصفات المذكورة أعلاه منصة GIGAbatch 360M المنشورة. قد يختلف التكوين الفعلي لهذه الآلة المستعملة نظرًا لاختلاف خطوط الغاز، وحوامل الرقائق، وأجهزة مراقبة العمليات، ومضخات التفريغ، والملحقات الاختيارية بين الأنظمة المختلفة.

قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد الرقم التسلسلي، وحالة الحجرة، ومولد الميكروويف، ونظام الفراغ، وتكوين MFC، وكاشف نقطة النهاية، ومراقبة درجة الحرارة، ونظام التحكم، وحامل الرقاقة، والوثائق المتاحة، وحالة التشغيل الحالية.

قد تشمل التكوينات الاختيارية للمنصة التحكم النشط في ضغط العملية، وقفص فاراداي، وخطوط غاز إضافية، وأجهزة تحميل بديلة للركائز، وغرفة معالجة خزفية، وأختام خاصة لغازات المعالجة المحتوية على الفلور. لا ينبغي افتراض هذه الخيارات إلا بعد التحقق منها على الجهاز المتاح.

طلب معلومات عن GIGAbatch 360M

تواصل مع فريقنا للاستفسار عن مدى توفر جهاز PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M المستعمل. يرجى تزويدنا بحجم الرقاقة، والعملية المستهدفة، وغازات المعالجة المطلوبة، وسعة الدفعة المتوقعة، والبلد المقصود، وجدول التركيب، حتى نتمكن من مراجعة التكوين المتاح.

اتصل بنا للحصول على صور المعدات، والرقم التسلسلي، والتكوين المثبت، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.

الأسئلة الشائعة

هل جهاز GIGAbatch 360M هو جهاز حفر بالبلازما أم جهاز تنظيف بالبلازما؟

يُعد جهاز GIGAbatch 360M نظامًا أساسيًا لتنظيف الرقائق باستخدام بلازما الميكروويف. ويُستخدم عادةً لإزالة طبقة المقاوم الضوئي، ومعالجة الرواسب، وتنظيف الأسطح، بدلاً من استخدامه في عمليات الحفر الدقيقة لنقل الأنماط.

ما هو حجم الرقاقة الذي يمكن لجهاز GIGAbatch 360M معالجته؟

تستطيع منصة 360M المنشورة معالجة رقائق السيليكون التي يصل قطرها إلى 150 مم. ويمكنها استيعاب ما يصل إلى 50 رقاقة عند تركيب حامل الرقائق المناسب.

ما هو التطبيق الرئيسي لجهاز GIGAbatch 360M؟

يتمثل تطبيقها الرئيسي في إزالة طبقة المقاوم الضوئي من رقائق أشباه الموصلات باستخدام البلازما على دفعات. كما يمكن استخدامها لإزالة المخلفات العضوية، وتنظيف البلازما، وتنشيط الأسطح.

هل يمكن للنظام استخدام غازات معالجة تحتوي على الفلور؟

تتطلب العمليات التي تحتوي على الفلور مواد حجرة متوافقة وأختامًا خاصة. يجب التأكد من هذه الإمكانية من خلال التكوين المُثبَّت للجهاز المعني.

هل هذا الطراز GIGAbatch 360M لعام 2013 يعمل حاليًا؟

تشير قائمة المصادر إلى أن الجهاز من طراز عام ٢٠١٣، لكن هذا التاريخ وحده لا يؤكد حالته التشغيلية الحالية. لذا، يجب التحقق من حالة التشغيل، واكتمال الجهاز، وحالة الحجرة، وسجلات الفحص المتاحة قبل تقديم عرض السعر.