Le système PVA TePla / Technics 600 Autoload est un système de gravure plasma RF semi-automatique utilisé pour le décapage de la résine photosensible, le nettoyage de surface des plaquettes et certains procédés de gravure plasma sèche. Il utilise un générateur RF de 13,56 MHz et prend en charge les plaquettes de semi-conducteurs jusqu'à 200 mm, selon la configuration de chargement et le porte-substrat installés.
Ce système d'occasion affiche 1 731 heures de fonctionnement et une pompe à vide Leybold TRIVAC série D65. Avant l'achat, veuillez vérifier le mécanisme de chargement exact, l'état du générateur RF, la configuration des gaz, le suffixe du modèle de la pompe et son état de fonctionnement actuel.
Spécifications principales du chargeur automatique PVA TePla 600
| Fabricant | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Modèle | 600 Autoload / 600-AL |
| Type d'équipement | Système semi-automatique de décapage et de gravure plasma RF |
| Taille maximale de la plaquette | Jusqu'à 200 mm, selon la configuration de l'équipement correspondant |
| Fréquence RF | 13,56 MHz |
| Générateur RF | Générateur RF ENI |
| Puissance RF | 0-600 W |
| Matériau de la chambre de traitement | Céramique |
| Diamètre de la chambre | 245 mm |
| Profondeur de la chambre | 380 mm |
| Canaux de gaz de procédé | Quatre canaux de gaz contrôlés par MFC, selon la configuration d'équipement correspondante |
| Pompe à vide | Pompe à vide Leybold TRIVAC série D65 ; suffixe de modèle exact à confirmer |
| Heures de fonctionnement enregistrées | 1 731 heures, selon la liste des équipements disponibles |
| Alimentation électrique | 230 V, 50/60 Hz ; l’intensité et la puissance nominales doivent être vérifiées sur la plaque signalétique de la machine. |
| Dimensions approximatives du système | 740 × 624 × 701 mm, hors raccords externes et équipement de vide |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks, d'inspection et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
Plasma généré par radiofréquence à 13,56 MHz
Puissance RF réglable jusqu'à 600 W
Chambre de traitement en céramique d'un diamètre de 245 mm
Capacité de traitement de plaquettes jusqu'à 200 mm
Quatre canaux de gaz de procédé contrôlés par MFC dans la configuration correspondante
Chargement semi-automatique du substrat et traitement plasma
Pompe à vide Leybold TRIVAC série D65
Convient aux procédés de décapage de résine, de nettoyage et de gravure de certains matériaux
Applications typiques
Le système Tepla 600 Autoload est principalement utilisé pour le décapage de la résine photosensible par plasma et le nettoyage de surface lors du traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Il permet d'éliminer les résidus de résine après lithographie ou gravure et de nettoyer les surfaces des plaquettes des contaminations organiques avant les étapes de fabrication ultérieures.
Parmi les autres applications publiées de cette plateforme figurent l'élimination des couches de passivation organiques et des masques, le décapage du polyimide et le traitement plasma sélectif du silicium, du dioxyde de silicium, du nitrure de silicium, du verre et de la céramique. La vitesse de gravure, la sélectivité des matériaux et l'uniformité du procédé dépendent de la configuration des électrodes, de la chimie des gaz, du contrôle de la pression, des conditions RF et du protocole de gravure validé.
Configuration du processus plasma RF
Contrairement aux systèmes plasma micro-ondes des séries PVA TePla 660 et GIGA, cette configuration Tepla 600 utilise un générateur RF ENI de 13,56 MHz. Le plasma RF peut produire des espèces chimiquement réactives et induire une interaction de surface assistée par ions, selon le gaz de procédé, la pression, la puissance et la position du substrat.
Ce système ne doit pas être considéré d'emblée comme un outil de gravure RIE de production à haute sélectivité. Les clients prévoyant la gravure de silicium, d'oxyde ou de nitrure doivent au préalable vérifier la configuration des électrodes, le réseau d'adaptation, la régulation de la pression, les gaz disponibles et les données de processus existantes.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
Les spécifications ci-dessus sont basées sur les informations disponibles concernant un système Tepla 600-AL présentant le même nombre d'heures de fonctionnement. Il convient de vérifier les composants installés à l'aide des photographies, des étiquettes d'identification et du rapport d'inspection de la machine.
Avant d'établir un devis, les clients doivent confirmer le numéro de série de la machine, l'enregistrement du contrôleur de 1 731 heures, l'état de la chambre en céramique, le générateur RF, le réseau d'adaptation, les quatre modèles et plages de MFC, le porte-substrat, le mécanisme de chargement, les manomètres, les vannes à vide, le modèle de pompe Leybold, le système de contrôle, les verrouillages de sécurité et l'état actuel de mise sous tension.
L'intensité électrique nominale est indiquée différemment selon les fiches techniques. Il convient donc de se référer à la plaque signalétique de la machine pour connaître la puissance requise par l'installation, plutôt que de la déduire des informations relatives aux équipements secondaires.
Demande d'informations sur le chargement automatique PVA TePla 600
Contactez notre équipe pour connaître la disponibilité actuelle du système de chargement automatique PVA TePla / Technics 600 d'occasion. Veuillez indiquer la taille de votre plaquette, le matériau du substrat, le procédé de décapage ou de gravure souhaité, les gaz nécessaires, le pays de destination et le calendrier d'installation prévu.
Contactez-nous pour obtenir des photos actuelles de la machine, son numéro de série, sa configuration installée, son historique d'heures de fonctionnement, son statut d'inspection et un devis.
Foire aux questions
À quoi sert le PVA TePla 600 Autoload ?
Elle est principalement utilisée pour le décapage de résine photosensible par plasma, l'élimination des résidus organiques et le nettoyage de la surface des plaquettes. Correctement configurée et qualifiée, la plateforme peut également prendre en charge la gravure sélective du silicium, des composés de silicium, du verre, de la céramique et du polyimide.
Le Tepla 600 est-il un système plasma à micro-ondes ou à radiofréquences ?
Cette configuration 600 Autoload est un système plasma RF utilisant un générateur ENI fonctionnant à 13,56 MHz avec une puissance de sortie allant jusqu'à 600 W.
Quelle est la taille maximale de plaquettes que le système peut traiter ?
La configuration de l'équipement correspondant est spécifiée pour les plaquettes jusqu'à 200 mm. Le porte-substrat et le mécanisme de chargement installés doivent être inspectés avant de confirmer la compatibilité avec une taille de plaquette spécifique.
Le terme « chargement automatique » signifie-t-il que la machine est entièrement automatique ?
Pas nécessairement. Bien que l'équipement soit commercialisé sous les appellations 600 Autoload ou 600-AL, les spécifications correspondantes le décrivent comme un système plasma RF semi-automatique. La séquence de chargement installée et les étapes requises par l'opérateur doivent être démontrées lors de l'inspection.
La machine comprend-elle une pompe à vide ?
L'annonce mentionne une pompe à vide Leybold TRIVAC série D65. Il convient de vérifier sur la machine disponible la référence exacte de la pompe, l'état de l'huile, les performances de pompage et les accessoires de raccordement fournis.
