Máy PVA TePla / Technics 600 Autoload là máy cắt plasma RF bán tự động được sử dụng để loại bỏ chất cản quang, làm sạch bề mặt wafer và một số quy trình khắc plasma khô. Hệ thống sử dụng máy phát RF 13,56 MHz và hỗ trợ các wafer bán dẫn có kích thước lên đến 200 mm, tùy thuộc vào cấu hình nạp và giá đỡ chất nền được lắp đặt.
Hệ thống đã qua sử dụng này được ghi nhận với 1.731 giờ hoạt động và sử dụng bơm chân không Leybold TRIVAC D65-series. Cần xác nhận chính xác cơ chế nạp, tình trạng máy phát RF, cấu hình khí, hậu tố kiểu bơm và trạng thái hoạt động hiện tại trước khi mua.
Thông số kỹ thuật chính của máy nạp tự động PVA TePla 600
| Nhà sản xuất | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Người mẫu | 600 Autoload / 600-AL |
| Loại thiết bị | Hệ thống khắc và làm nóng plasma RF bán tự động |
| Kích thước wafer tối đa | Tối đa 200 mm, tùy thuộc vào cấu hình thiết bị tương thích. |
| Tần số RF | 13,56 MHz |
| Máy phát tần số vô tuyến | Máy phát RF ENI |
| Công suất RF | 0-600 W |
| Vật liệu buồng xử lý | Gốm sứ |
| Đường kính buồng | 245 mm |
| Độ sâu buồng | 380 mm |
| Các kênh khí xử lý | Bốn kênh dẫn khí được điều khiển bằng MFC, tùy thuộc vào cấu hình thiết bị phù hợp. |
| Bơm chân không | Máy bơm chân không Leybold TRIVAC D65-series; cần xác nhận lại mã hiệu chính xác. |
| Giờ hoạt động đã ghi nhận | Theo danh sách thiết bị hiện có, tổng thời gian hoạt động là 1.731 giờ. |
| Nguồn cung cấp điện | 230 V, 50/60 Hz; cần xác nhận định mức dòng điện và công suất từ nhãn máy. |
| Kích thước hệ thống ước lượng | 740 × 624 × 701 mm, không bao gồm các kết nối bên ngoài và thiết bị hút chân không. |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
Plasma tạo ra bởi sóng RF 13,56 MHz
Công suất RF có thể điều chỉnh lên đến 600 W.
Buồng xử lý bằng gốm có đường kính 245 mm.
Khả năng xử lý các tấm wafer có kích thước lên đến 200 mm.
Bốn kênh khí xử lý được điều khiển bằng MFC trong cấu hình phù hợp.
Nạp chất nền bán tự động và xử lý plasma
Máy bơm chân không Leybold TRIVAC D65-series
Thích hợp cho quá trình loại bỏ lớp phủ, làm sạch và khắc vật liệu.
Ứng dụng điển hình
Máy Tepla 600 Autoload chủ yếu được sử dụng để loại bỏ lớp chất cản quang bằng plasma và làm sạch bề mặt trong quá trình xử lý tấm bán dẫn. Nó có thể loại bỏ chất cản quang còn sót lại sau quá trình quang khắc hoặc khắc axit và làm sạch các chất ô nhiễm hữu cơ trên bề mặt tấm bán dẫn trước các bước chế tạo tiếp theo.
Các ứng dụng khác đã được công bố cho nền tảng này bao gồm loại bỏ các lớp thụ động hóa hữu cơ và mặt nạ, loại bỏ polyimide và xử lý plasma chọn lọc đối với silicon, silicon dioxide, silicon nitride, thủy tinh và gốm sứ. Tốc độ khắc thực tế, độ chọn lọc vật liệu và tính đồng nhất của quy trình phụ thuộc vào cấu hình điện cực được lắp đặt, thành phần hóa học của khí, kiểm soát áp suất, điều kiện RF và công thức quy trình đã được chứng nhận.
Cấu hình quy trình plasma RF
Khác với các hệ thống plasma vi sóng trong dòng PVA TePla 660 và GIGA, cấu hình Tepla 600 này sử dụng máy phát RF ENI 13,56 MHz. Plasma RF có thể cung cấp cả các chất phản ứng hóa học và tương tác bề mặt hỗ trợ ion, tùy thuộc vào khí xử lý, áp suất, công suất và vị trí chất nền.
Hệ thống này không nên tự động được coi là một công cụ khắc plasma phản ứng (RIE) có độ chọn lọc cao dùng trong sản xuất. Khách hàng có kế hoạch khắc silicon, oxit hoặc nitrit nên xác nhận trước cách bố trí điện cực, mạng lưới phù hợp, kiểm soát áp suất, các loại khí có sẵn và hồ sơ quy trình hiện có.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Các thông số kỹ thuật nêu trên dựa trên danh sách và thông tin đối chiếu hiện có cho hệ thống Tepla 600-AL với số giờ hoạt động được báo cáo tương đương. Các bộ phận thực tế được lắp đặt cần được kiểm tra so với ảnh chụp máy hiện tại, nhãn nhận dạng và báo cáo kiểm tra.
Trước khi báo giá, khách hàng cần xác nhận số sê-ri máy, hồ sơ hoạt động 1.731 giờ của bộ điều khiển, tình trạng buồng gốm, máy phát RF, mạng phối hợp, bốn kiểu và phạm vi MFC, giá đỡ chất nền, cơ cấu nạp liệu, đồng hồ đo áp suất, van chân không, kiểu bơm Leybold, hệ thống điều khiển, khóa an toàn và trạng thái bật nguồn hiện tại.
Thông số dòng điện định mức được ghi khác nhau giữa các tài liệu hiện có. Do đó, công suất yêu cầu của thiết bị nên được lấy từ nhãn máy chứ không phải suy đoán từ thông tin thiết bị phụ trợ.
Yêu cầu thông tin về máy nạp tự động PVA TePla 600.
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy nạp tự động PVA TePla / Technics 600 đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp kích thước wafer, vật liệu nền, quy trình bóc tách hoặc khắc mục tiêu, khí cần thiết, quốc gia đích và lịch trình lắp đặt dự kiến.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để nhận ảnh máy hiện tại, số seri, cấu hình lắp đặt, nhật ký giờ hoạt động, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy PVA TePla 600 Autoload dùng để làm gì?
Nền tảng này chủ yếu được sử dụng để loại bỏ chất cản quang bằng plasma, loại bỏ cặn hữu cơ và làm sạch bề mặt wafer. Khi được cấu hình và kiểm định đúng cách, nền tảng này cũng có thể hỗ trợ khắc một số vật liệu như silicon, hợp chất silicon, thủy tinh, gốm sứ và polyimide.
Tepla 600 là hệ thống plasma vi sóng hay tần số vô tuyến?
Cấu hình Autoload 600 này là một hệ thống plasma RF sử dụng máy phát ENI hoạt động ở tần số 13,56 MHz với công suất đầu ra lên đến 600 W.
Hệ thống này có thể xử lý tấm wafer có kích thước bao nhiêu?
Cấu hình thiết bị phù hợp được quy định cho các tấm wafer có kích thước lên đến 200 mm. Cần kiểm tra giá đỡ đế và cơ cấu nạp đã lắp đặt trước khi xác nhận khả năng tương thích với kích thước wafer cụ thể.
Chức năng Autoload có nghĩa là máy hoạt động hoàn toàn tự động phải không?
Không nhất thiết. Mặc dù thiết bị được bán trên thị trường với tên gọi 600 Autoload hoặc 600-AL, nhưng thông số kỹ thuật tương ứng mô tả nó là một hệ thống plasma RF bán tự động. Trình tự nạp liệu đã lắp đặt và các bước vận hành cần thiết phải được trình bày trong quá trình kiểm tra.
Máy này có bao gồm bơm hút chân không không?
Thông tin rao bán cho thấy đây là máy bơm chân không Leybold TRIVAC D65-series. Cần xác nhận chính xác hậu tố của máy, tình trạng dầu, hiệu suất bơm và các bộ phận kết nối đi kèm trên máy hiện có.
