يُعدّ جهاز PVA TePla / Technics GIGA 690 نظام بلازما ميكروويف منخفض الضغط، مُصمّم لتنظيف وتنشيط الأسطح في أغلفة أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة. يُدخل الجهاز طاقة ميكروويف بتردد 2.45 جيجاهرتز عبر نافذة في حجرة التفريغ لتوليد بلازما متفاعلة كيميائيًا دون الحاجة إلى أقطاب كهربائية بترددات الراديو داخل الحجرة.
يُستخدم هذا النظام عادةً قبل تركيب الرقاقات، وربط الأسلاك، وملء الفراغات في تقنية التوصيل المقلوب، والتغليف، وتركيب الكرات. الجهاز المعروض مُدرج كنظام من عام ٢٠١٠، ولكن يجب التأكد من حالته التشغيلية الحالية، وتكوين العملية المُثبّتة، ومعدات التفريغ المُضمنة قبل الشراء.
المواصفات الرئيسية لـ PVA TePla GIGA 690
| الشركة المصنعة | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| نموذج | أعلى مستوى 690 |
| نوع المعدات | نظام تنظيف وتنشيط البلازما الميكروويفية منخفضة الضغط |
| سنة المعدات | 2010، وفقًا لقائمة المعدات المتاحة |
| مادة غرفة المعالجة | الألومنيوم |
| حجم الحجرة | 91 لتر |
| الأبعاد الداخلية للحجرة | 450 × 450 × 450 مم |
| تردد البلازما | 2.45 جيجاهرتز |
| طاقة الميكروويف | 0–1000 واط |
| قنوات الغاز القياسية | قناتان، كل منهما مزودة بجهاز تحكم في تدفق الكتلة وصمام لولبي |
| وصلة مكنسة كهربائية | DN 63 ISO K |
| قاعدة | حوالي 2 × 10-2 مليبار |
| ضغط العملية | حوالي 0.2-2 ملي بار |
| وقت الإخلاء | دقيقة واحدة تقريبًا |
| نظام التحكم | وحدة تحكم تعمل بنظام الكمبيوتر الشخصي مع شاشة عرض رسومية مقاس 10.4 بوصة |
| نظام التشغيل | نظام التشغيل QNX في الوقت الحقيقي |
| الإمداد الكهربائي | 230 فولت، أحادي الطور، 15 أمبير، 50/60 هرتز |
| إمداد الغاز الصناعي | وصلة سواغلوك مقاس 1/4 بوصة، ضغط إدخال 1-2 بار |
| إمداد الهواء المضغوط | وصلة سواغلوك مقاس 1/4 بوصة، ضغط إدخال من 4 إلى 6 بار |
| الأبعاد التقريبية | 1050 × 1750 × 800 مم |
| الوزن التقريبي | 195 كجم، النظام فقط وبدون مضخة التفريغ |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي، والفحص، وتأكيد التكوين |
ميزات المعدات الرئيسية
توليد بلازما الميكروويف منخفضة الضغط بتردد 2.45 جيجاهرتز
طاقة ميكروويف قابلة للتعديل باستمرار تصل إلى 1000 واط
غرفة معالجة كبيرة من الألومنيوم سعة 91 لترًا
اقتران طاقة الميكروويف بدون أقطاب كهربائية داخل الحجرة
توصيل غاز العملية القياسي ثنائي القنوات الذي يتم التحكم فيه بواسطة وحدة التحكم في تدفق الكتلة (MFC).
التحكم اليدوي والآلي في العمليات
مساحة تخزين لوصفات متعددة مع معالجة متعددة الخطوات
مراقبة شدة البلازما البصرية وأجهزة التعشيق الآمنة
التطبيقات النموذجية
صُممت وحدة GIGA 690 بشكل أساسي لتنظيف البلازما وتنشيط أسطح أغلفة أشباه الموصلات والركائز وإطارات التوصيل والمكونات ذات الصلة. تشمل عمليات التشغيل النموذجية التنظيف قبل تركيب الرقاقات وتوصيل الأسلاك، والتنشيط قبل التشكيل أو التغليف، والتحضير قبل ملء الفراغات في تقنية التوصيل المباشر، والتنظيف قبل تركيب كرات اللحام.
تعتمد معالجة البلازما بالميكروويف بشكل أساسي على الجذور الحرة المتفاعلة كيميائياً. يمكن لهذه البلازما المنتشرة الوصول إلى الأسطح والفراغات الصغيرة داخل المخازن أو حوامل المنتجات المتوافقة، مع تقليل قصف الأيونات الموجه المرتبط ببعض عمليات البلازما القائمة على الأقطاب الكهربائية.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
تصف المواصفات المذكورة أعلاه منصة GIGA 690 المنشورة من نفس فترة الإنتاج العامة للجهاز المذكور لعام 2010. قد يختلف الجهاز الفعلي في باب الحجرة، وحامل المنتج، ومضخة التفريغ، وعدد قنوات الغاز، أو تكوين البلازما الاختياري.
تضمنت الخيارات المتاحة للمنصة قنوات غاز إضافية، ومنصة دوارة بقطر 400 مم، وأنظمة ضخ بديلة، وتكوين ECR. لا ينبغي اعتبار هذه الميزات مثبتة إلا إذا أمكن التحقق منها من خلال صور الماكينة، أو لوحة البيانات، أو قائمة المكونات، أو تقرير الفحص.
قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد الرقم التسلسلي، وحالة الحجرة، ومولد الميكروويف، وتكوين الغاز، ونماذج MFC، ومضخة التفريغ، والمنصة الدوارة، وجهاز التحكم بالكمبيوتر، وبرنامج QNX، وحوامل المنتجات المضمنة، وساعات التشغيل، وحالة التشغيل الحالية.
طلب معلومات عن GIGA 690
اتصل بفريقنا للتحقق من التوافر الحالي لجهاز PVA TePla / Technics GIGA 690 المستعمل. يرجى تزويدنا بنوع المنتج، وعملية التعبئة والتغليف، وغازات المعالجة المطلوبة، وأبعاد الناقل، وبلد الوجهة، وجدول التركيب المتوقع حتى نتمكن من مراجعة النظام المتاح.
اتصل بنا للحصول على صور الآلة، والرقم التسلسلي، والتكوين المثبت، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هو استخدام PVA TePla GIGA 690؟
يستخدم جهاز GIGA 690 بشكل أساسي لتنظيف البلازما وتنشيط السطح قبل عمليات تغليف أشباه الموصلات مثل تركيب الرقاقة، وربط الأسلاك، والحشو السفلي، والقولبة، والتغليف، وتركيب كرات اللحام.
هل جهاز GIGA 690 نظام حفر بلازما دقيق؟
يُعد جهاز GIGA 690 في الأساس نظامًا لتنظيف وتنشيط البلازما باستخدام الموجات الدقيقة. قد يزيل التلوث العضوي أو يُعدّل الأسطح، ولكنه ليس مصممًا بشكل أساسي كجهاز حفر دقيق لنقل الأنماط لهياكل أجهزة أشباه الموصلات.
ما هو حجم حجرة المعالجة؟
يحتوي النظام المنشور من فترة الإنتاج هذه على حجرة ألومنيوم سعة 91 لترًا بأبعاد داخلية تبلغ 450 × 450 × 450 مم.
كم عدد قنوات الغاز المستخدمة في العملية التي يمتلكها النظام؟
تحتوي المنصة القياسية على قناتين للغاز، يتم التحكم في كل منهما بواسطة وحدة تحكم في تدفق الكتلة وصمام لولبي. تتوفر ثلاث أو أربع قنوات للغاز كخيارات إضافية، ويجب التحقق من ذلك على كل جهاز على حدة.
هل جهاز GIGA 690 موديل 2010 يعمل حالياً؟
يُشير الإعلان المتاح إلى أن الجهاز من طراز عام ٢٠١٠، ولكنه لا يُؤكد حالته التشغيلية الحالية. لذا، يجب فحص مصدر الميكروويف، ومضخة التفريغ، وأجهزة التحكم بالغاز، والحجرة، والبرمجيات، وحالة التشغيل قبل تقديم عرض السعر.
