PVA TePla / Technics 600 Autoload to półautomatyczna plazmowa suszarka RF, używana do usuwania fotorezystu, czyszczenia powierzchni płytek półprzewodnikowych oraz wybranych procesów trawienia plazmowego na sucho. System wykorzystuje generator RF 13,56 MHz i obsługuje płytki półprzewodnikowe o średnicy do 200 mm, w zależności od zainstalowanej konfiguracji załadunku i uchwytu podłoża.
Ten używany system ma przebieg 1731 godzin i jest wyposażony w pompę próżniową Leybold TRIVAC serii D65. Dokładny mechanizm ładowania, stan generatora RF, konfigurację gazu, oznaczenie modelu pompy i aktualny stan roboczy należy potwierdzić przed zakupem.
Główne specyfikacje PVA TePla 600 Autoload
| Producent | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Model | 600 Automatyczne ładowanie / 600-AL |
| Typ sprzętu | Półautomatyczny system do wytrawiania i polerowania plazmą RF |
| Maksymalny rozmiar wafla | Do 200 mm, w zależności od konfiguracji odpowiedniego sprzętu |
| Częstotliwość RF | 13,56 MHz |
| Generator RF | Generator RF ENI |
| Moc RF | 0–600 W |
| Materiał komory procesowej | Ceramiczny |
| Średnica komory | 245 mm |
| Głębokość komory | 380 mm |
| Kanały gazu procesowego | Cztery kanały gazowe sterowane przez MFC, zgodnie z konfiguracją odpowiedniego sprzętu |
| Pompa próżniowa | Pompa próżniowa Leybold TRIVAC serii D65; dokładny sufiks modelu zostanie potwierdzony |
| Zarejestrowane godziny pracy | 1731 godzin, zgodnie z dostępnym wykazem sprzętu |
| Zasilanie elektryczne | 230 V, 50/60 Hz; natężenie prądu i moc znamionową należy sprawdzić na tabliczce znamionowej maszyny |
| Przybliżone wymiary systemu | 740 × 624 × 701 mm, bez przyłączy zewnętrznych i urządzeń próżniowych |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego, inspekcji i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Plazma generowana częstotliwością RF 13,56 MHz
Regulowana moc RF do 600 W
Komora procesowa ceramiczna o średnicy 245 mm
Możliwość obróbki płytek o średnicy do 200 mm
Cztery kanały gazu procesowego sterowane przez MFC w dopasowanej konfiguracji
Półautomatyczne ładowanie podłoża i obróbka plazmowa
Pompa próżniowa Leybold TRIVAC serii D65
Nadaje się do usuwania powłoki ochronnej, czyszczenia i wybranych procesów trawienia materiałów
Typowe zastosowania
Urządzenie Tepla 600 Autoload jest wykorzystywane głównie do plazmowego usuwania fotorezystu i czyszczenia powierzchni w procesie obróbki płytek półprzewodnikowych. Umożliwia usuwanie pozostałości rezystu po litografii lub trawieniu oraz oczyszczanie powierzchni płytek z zanieczyszczeń organicznych przed dalszymi etapami produkcji.
Inne opublikowane zastosowania platformy obejmują usuwanie organicznych warstw pasywacyjnych i masek, usuwanie poliimidu oraz wyselekcjonowaną obróbkę plazmową krzemu, dwutlenku krzemu, azotku krzemu, szkła i ceramiki. Rzeczywista szybkość trawienia, selektywność materiału i jednorodność procesu zależą od konfiguracji zainstalowanych elektrod, składu chemicznego gazu, kontroli ciśnienia, stanu RF oraz kwalifikowanej receptury procesu.
Konfiguracja procesu plazmowego RF
W przeciwieństwie do systemów plazmy mikrofalowej z serii PVA TePla 660 i GIGA, konfiguracja Tepla 600 wykorzystuje generator RF ENI o częstotliwości 13,56 MHz. Plazma RF może zapewnić zarówno chemicznie reaktywne gatunki, jak i wspomaganą jonami interakcję powierzchni, w zależności od gazu procesowego, ciśnienia, mocy i położenia podłoża.
System nie powinien być automatycznie traktowany jako narzędzie RIE o wysokiej selektywności produkcyjnej. Klienci planujący trawienie krzemu, tlenków lub azotków powinni najpierw sprawdzić układ elektrod, pasującą sieć, kontrolę ciśnienia, dostępne gazy i istniejące zapisy procesowe.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Powyższe specyfikacje opierają się na dostępnych danych i informacjach porównawczych dla systemu Tepla 600-AL o takim samym zgłoszonym czasie pracy. Należy sprawdzić zainstalowane komponenty na podstawie aktualnych zdjęć maszyny, etykiet identyfikacyjnych i raportu z inspekcji.
Przed złożeniem oferty klienci powinni potwierdzić numer seryjny maszyny, 1731-godzinny rejestr sterownika, stan komory ceramicznej, generator RF, pasującą sieć, cztery modele i zakresy MFC, uchwyt podłoża, mechanizm ładowania, manometry, zawory podciśnieniowe, model pompy Leybold, system sterowania, blokady bezpieczeństwa i aktualny stan zasilania.
Prąd znamionowy jest podawany w różny sposób w różnych dostępnych zestawieniach. Dlatego zapotrzebowanie na energię elektryczną w obiekcie należy odczytać z tabliczki znamionowej maszyny, a nie zakładać na podstawie informacji o sprzęcie wtórnym.
Poproś o informacje dotyczące automatycznego ładowania PVA TePla 600
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego urządzenia PVA TePla / Technics 600 Autoload. Prosimy o podanie rozmiaru wafla, materiału podłoża, procesu usuwania powłoki lub trawienia, wymaganych gazów, kraju docelowego oraz przewidywanego harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia maszyny, numer seryjny, zainstalowaną konfigurację, rejestr godzin pracy, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Do czego służy urządzenie PVA TePla 600 Autoload?
Służy głównie do usuwania fotorezystu plazmowego, usuwania pozostałości organicznych i czyszczenia powierzchni płytek półprzewodnikowych. Po prawidłowej konfiguracji i kwalifikacji platforma może również obsługiwać wybrane metody trawienia krzemu, związków krzemu, szkła, ceramiki i poliimidu.
Czy Tepla 600 to system mikrofalowy czy plazmowy RF?
Konfiguracja 600 Autoload to system plazmowy RF wykorzystujący generator ENI pracujący na częstotliwości 13,56 MHz z mocą wyjściową do 600 W.
Jakiej wielkości płytki może przetwarzać ten system?
Konfiguracja sprzętu dopasowana jest do płytek o średnicy do 200 mm. Przed potwierdzeniem zgodności z konkretnym rozmiarem płytki należy sprawdzić zainstalowany uchwyt podłoża i mechanizm ładowania.
Czy Autoload oznacza, że maszyna jest w pełni automatyczna?
Niekoniecznie. Chociaż urządzenie jest sprzedawane jako 600 Autoload lub 600-AL, zgodnie ze specyfikacjami jest ono opisane jako półautomatyczny system plazmowy RF. Zainstalowana sekwencja ładowania i wymagane czynności operatora powinny zostać zademonstrowane podczas inspekcji.
Czy maszyna jest wyposażona w pompę próżniową?
Dostępna oferta dotyczy pompy próżniowej Leybold TRIVAC serii D65. Dokładny sufiks pompy, stan oleju, wydajność pompowania i dołączone elementy przyłączeniowe należy sprawdzić w dostępnej maszynie.
