PVA TePla / Technics 600 Autoload — это полуавтоматический ВЧ-плазменный очиститель, используемый для удаления фоторезиста, очистки поверхности пластин и некоторых процессов сухого плазменного травления. Система использует ВЧ-генератор с частотой 13,56 МГц и поддерживает полупроводниковые пластины диаметром до 200 мм, в зависимости от установленной конфигурации загрузки и держателя подложки.
Указанное количество бывших в употреблении устройств – 1731 моточас, в комплекте вакуумный насос Leybold TRIVAC серии D65. Перед покупкой необходимо уточнить точный механизм загрузки, состояние ВЧ-генератора, конфигурацию газа, суффикс модели насоса и текущее рабочее состояние.
Основные технические характеристики автоматической загрузки PVA TePla 600
| Производитель | ПВА TePla / Technics |
|---|---|
| Модель | 600 Автозаряд / 600-AL |
| Тип оборудования | Полуавтоматическая система плазменной обработки и травления с использованием радиочастотного излучения |
| Максимальный размер пластины | До 200 мм, в зависимости от конфигурации соответствующего оборудования. |
| РЧ-частота | 13,56 МГц |
| ВЧ-генератор | Генератор радиочастот ENI |
| ВЧ-мощность | 0-600 Вт |
| Материал технологической камеры | Керамика |
| Диаметр камеры | 245 мм |
| Глубина камеры | 380 мм |
| Каналы для технологических газов | Четыре газовых канала, управляемых МТФ, в соответствии с конфигурацией соответствующего оборудования. |
| Вакуумный насос | Вакуумный насос Leybold TRIVAC серии D65; точный суффикс модели будет уточнен. |
| Зарегистрированные часы работы | 1731 час, согласно имеющейся информации об оборудовании. |
| Электроснабжение | 230 В, 50/60 Гц; номинальные параметры тока и мощности следует уточнить по паспортной табличке оборудования. |
| Приблизительные габариты системы | 740 × 624 × 701 мм, без учета внешних соединений и вакуумного оборудования. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, проверки и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Плазма, генерируемая радиочастотным излучением с частотой 13,56 МГц
Регулируемая мощность радиочастотного сигнала до 600 Вт.
Керамическая технологическая камера диаметром 245 мм.
Возможность обработки пластин диаметром до 200 мм.
Четыре канала подачи технологического газа, управляемые MFC, в согласованной конфигурации.
Полуавтоматическая загрузка подложек и плазменная обработка
Вакуумный насос Leybold TRIVAC серии D65
Подходит для удаления резиста, очистки и некоторых процессов травления материалов.
Типичные области применения
Аппарат Tepla 600 Autoload в основном используется для плазменного удаления фоторезиста и очистки поверхности в процессе обработки полупроводниковых пластин. Он позволяет удалять остатки резиста после литографии или травления, а также очищать поверхности пластин от органических загрязнений перед последующими этапами изготовления.
Среди других опубликованных применений платформы — удаление органических пассивирующих слоев и масок, удаление полиимидов и выборочная плазменная обработка кремния, диоксида кремния, нитрида кремния, стекла и керамики. Фактическая скорость травления, селективность материала и однородность процесса зависят от конфигурации установленных электродов, химического состава газа, контроля давления, условий ВЧ-обработки и утвержденной технологической схемы.
Конфигурация процесса плазменной обработки ВЧ-излучением
В отличие от микроволновых плазменных систем серий PVA TePla 660 и GIGA, в данной конфигурации Tepla 600 используется ВЧ-генератор ENI с частотой 13,56 МГц. ВЧ-плазма может обеспечивать как химически активные частицы, так и ионно-стимулированное взаимодействие с поверхностью, в зависимости от технологического газа, давления, мощности и положения подложки.
Систему не следует автоматически рассматривать как высокоселективный инструмент для реактивного ионного травления в производственных условиях. Заказчики, планирующие травление кремния, оксидов или нитридов, должны сначала подтвердить расположение электродов, согласующую сеть, контроль давления, доступные газы и имеющиеся технологические записи.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Приведенные выше технические характеристики основаны на имеющейся информации и данных о совместимости системы Tepla 600-AL с тем же заявленным количеством часов работы. Фактически установленные компоненты следует сверить с актуальными фотографиями оборудования, идентификационными этикетками и протоколом осмотра.
Перед предоставлением коммерческого предложения заказчику следует подтвердить серийный номер машины, данные контроллера за 1731 час работы, состояние керамической камеры, ВЧ-генератор, согласующую сеть, четыре модели и серии МТФ, держатель подложки, механизм загрузки, манометры, вакуумные клапаны, модель насоса Leybold, систему управления, блокировки безопасности и текущее состояние питания.
Номинальный электрический ток указывается по-разному в различных доступных каталогах. Поэтому требования к электропитанию объекта следует брать из паспортной таблички оборудования, а не предполагать на основе информации о дополнительном оборудовании.
Запросить информацию об автозагрузке PVA TePla 600
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении устройств PVA TePla / Technics 600 Autoload. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, материал подложки, процесс удаления или травления мишени, необходимые газы, страну назначения и предполагаемый график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить актуальные фотографии оборудования, серийный номер, информацию об установленной конфигурации, данные о наработке часов, информацию о состоянии после проверки и коммерческое предложение.
Часто задаваемые вопросы
Для чего используется устройство PVA TePla 600 Autoload?
В основном она используется для удаления плазменного фоторезиста, органических остатков и очистки поверхности пластин. При правильной настройке и сертификации платформа также может поддерживать выборочное травление кремния, кремниевых соединений, стекла, керамики и полиимида.
Система Tepla 600 — это микроволновая или радиочастотная плазменная система?
Данная конфигурация 600 Autoload представляет собой радиочастотную плазменную систему, использующую генератор ENI, работающий на частоте 13,56 МГц с выходной мощностью до 600 Вт.
Какой размер пластин может обрабатывать система?
Конфигурация соответствующего оборудования указана для пластин диаметром до 200 мм. Перед подтверждением совместимости с конкретным размером пластины необходимо проверить установленный держатель подложки и механизм загрузки.
Означает ли функция «Автозагрузка», что машина полностью автоматизирована?
Не обязательно. Хотя оборудование продается под названиями 600 Autoload или 600-AL, в технических характеристиках оно описывается как полуавтоматическая система ВЧ-плазмы. Последовательность загрузки и необходимые действия оператора должны быть продемонстрированы во время осмотра.
В комплект аппарата входит вакуумный насос?
В представленном объявлении указан вакуумный насос Leybold TRIVAC серии D65. Точный суффикс названия насоса, состояние масла, производительность и входящие в комплект соединительные компоненты следует уточнить на имеющемся оборудовании.
