Das PVA TePla / Technics 660 ist ein Niederdruck-Mikrowellenplasma-System, das für das Ätzen von Zellrändern zur elektrischen Isolation in der Solarzellenproduktion konfiguriert ist. Das Verfahren entfernt die leitfähige, dotierte Schicht an den Zellrändern, um die Vorder- und Rückseite elektrisch zu isolieren und unerwünschte Leckströme zu reduzieren.
Diese Maschine wurde 2008 gefertigt und hat laut Beschreibung nur 16 Betriebsstunden. Ihre Ausstattung umfasst einen 350-mm-Tisch, drei MFC-gesteuerte Prozessgaseingänge, einen Entlüftungsgaseingang und eine ölfreie EBARA-Trockenvakuumpumpe. Der aktuelle Betriebszustand und die Vollständigkeit sollten vor dem Kauf jedoch noch überprüft werden.
PVA TePla Technics 660 Hauptspezifikationen
| Hersteller | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Modell | 660 |
| Gerätetyp | Niederdruck-Mikrowellen-Plasma-Ätzsystem |
| Konfigurierter Prozess | Ätzen der Solarzellen-Randisolation |
| Ausrüstungsjahr | 2008, laut der verfügbaren Ausrüstungsliste |
| Aufgezeichnete Öffnungszeiten | 16 Stunden, laut der Liste der verfügbaren Ausrüstung. |
| Plasmafrequenz | 2,45 GHz |
| Mikrowellenleistung | 0–1.000 W |
| Prozesskammermaterial | Aluminium |
| Kammervolumen | 64 L |
| Innenabmessungen der Kammer | 400 × 400 × 400 mm |
| Installierte Prozessgaseingänge | Laut Geräteliste verfügt das Gerät über drei MFC-gesteuerte Gaseingänge. |
| Bühne | Option mit 350 mm Durchmesser, gemäß der Ausrüstungsliste |
| Vakuumanschluss | DN 63 ISO K |
| Basisdruck | ungefähr 2 × 10-2mbar |
| Prozessdruck | ungefähr 0,2–2 mbar |
| Evakuierungszeit | Ungefähr 1 Minute |
| Inklusive Vakuumpumpe | EBARA ölfreie Trockenpumpe, laut Ausrüstungsliste |
| Elektrische Versorgung | 230 V, einphasig, 16 A, 50/60 Hz |
| Ungefähre Abmessungen | 1.050 × 1.720 × 770 mm |
| Ungefähres Gewicht | 180 kg, ohne Vakuumpumpe |
| Zustand | Gebraucht Halbleiteranlagen |
| Verfügbarkeit | Vorbehaltlich des aktuellen Lagerbestands, der Prüfung und der Konfigurationsbestätigung |
Wichtigste Ausstattungsmerkmale
2,45 GHz Niederdruck-Mikrowellenplasmaerzeugung
Einstellbare Mikrowellenleistung bis zu 1000 W
64-Liter-Aluminium-Prozesskammer ohne interne HF-Elektroden
Konfiguriert für die Ätzung der Solarzellen-Randisolation
Option für einen Substrattisch mit 350 mm Durchmesser
Drei MFC-gesteuerte Prozessgaseingänge
Die aufgeführte Konfiguration beinhaltet eine ölfreie Trockenvakuumpumpe von EBARA.
Manuelle und automatische Verarbeitung mit gespeicherten Rezepten
Ätzen der Solarzellen-Randisolation
Bei der Solarzellenherstellung kann sich die dotierte Schicht über die Waferränder ausdehnen und eine elektrische Verbindung zwischen Vorder- und Rückseite herstellen. Durch Plasma-Randisolierung wird dieser leitfähige Randbereich entfernt, sodass der PN-Übergang elektrisch getrennt bleibt.
Bei einem typischen stapelbasierten Plasmaverfahren werden nur die freiliegenden Zellkanten geätzt, während benachbarte Wafer die Vorder- und Rückseite schützen. Die tatsächliche Gaszusammensetzung, die Anordnung der Beladung, das Ätzergebnis und die Abmessungen des verwendeten Substrats hängen von der installierten Anlage, dem Gassystem und dem validierten Prozessrezept ab.
Zusätzliche Plasmaverarbeitungskapazität
Die Plattform 660 wurde auch für die Niederdruck-Plasmareinigung und Oberflächenaktivierung von Halbleitergehäusen vor dem Chip-Attach, Drahtbonden und Verkapseln entwickelt. Diese spezielle Maschine ist jedoch mit einer Konfiguration für das Ätzen mit Kantenisolierung ausgestattet.
Der Einsatz zur Gehäusereinigung, Fotolackverarbeitung oder für andere Plasmaanwendungen sollte erst nach Bestätigung der Kammerkompatibilität, der Gasmaterialien, der Dichtungen, der Pumpenkonfiguration, des Substrathalters und der Anforderungen an die Prozessentwicklung in Betracht gezogen werden.
Konfiguration und Inspektion gebrauchter Geräte
Die veröffentlichten Plattformspezifikationen und die installierte Konfiguration eines einzelnen Systems sind nicht zwangsläufig identisch. Diese Maschine soll über drei MFC-Gaseingänge, einen Abgasanschluss, einen 350-mm-Tisch und eine EBARA-Trockenpumpe verfügen; die Funktionsfähigkeit jeder Komponente sollte jedoch anhand aktueller Fotos und durch eine Inspektion überprüft werden.
Vor der Angebotserstellung sollten Kunden die Seriennummer, die aufgezeichneten Betriebsstunden, den Mikrowellengenerator, den Zustand der Kammer, die MFC-Modelle, die Gaskompatibilität, die Tischbewegung, das Vakuumpumpenmodell, das Steuerungssystem, die Sicherheitsverriegelungen, die verfügbaren Rezepte und den aktuellen Ein-/Ausschaltzustand bestätigen.
PVA TePla 660 Informationen anfordern
Kontaktieren Sie unser Team, um die aktuelle Verfügbarkeit von gebrauchtem PVA TePla / Technics 660 zu prüfen. Bitte geben Sie dabei Ihren Substrattyp, die Wafer- oder Zellabmessungen, den angestrebten Randisolationsprozess, die benötigten Gase, das Zielland und den voraussichtlichen Installationstermin an.
Kontaktieren Sie uns für aktuelle Fotos der Geräte, Seriennummer, Betriebsstundennachweis, installierte Konfiguration, Inspektionsstatus und ein Angebot.
Häufig gestellte Fragen
Wofür wird das PVA TePla Technics 660 verwendet?
Diese spezielle Maschine ist für das Ätzen mit Mikrowellenplasma zur Randisolierung in der Solarzellenproduktion konfiguriert. Die Plattform 660 kann, sofern sie entsprechend ausgestattet und validiert ist, auch Plasmareinigung und Oberflächenaktivierung unterstützen.
Was wird durch Ätzen der Kantenisolierung entfernt?
Dabei wird die leitfähige dotierte Schicht an den Rändern einer Solarzelle entfernt, sodass die Vorder- und Rückseite entlang des Waferumfangs nicht mehr elektrisch verbunden bleiben.
Ist in dieser Maschine eine Vakuumpumpe enthalten?
Die Liste der verfügbaren Ausrüstung gibt an, dass eine ölfreie EBARA-Trockenpumpe enthalten ist. Das genaue Pumpenmodell, die Betriebsbedingungen und die Anschlusskomponenten sollten bei der Inspektion überprüft werden.
Wie viele Prozessgaseingänge sind installiert?
Die aufgeführte Maschine verfügt über drei MFC-gesteuerte Prozessgaseingänge und einen separaten Abluftgaseingang. Die MFC-Bereiche und die kompatiblen Gase müssen anhand der installierten Komponenten überprüft werden.
Wurde dieses PVA TePla 660 stark beansprucht?
Die Geräteliste weist lediglich 16 Betriebsstunden aus. Dieser Wert sollte anhand der Maschinensteuerung, der Wartungsunterlagen oder anderer verfügbarer Betriebsstundennachweise überprüft werden, bevor er als bestätigt gilt.
