Het PVA TePla / Technics 660 is een lagedruk-microgolfplasmasysteem dat is geconfigureerd voor randisolatie-etsen bij de productie van zonnecellen. Dit proces verwijdert de geleidende, gedoteerde laag rond de celranden om de voor- en achterzijde elektrisch te isoleren en ongewenste stroomlekkage te verminderen.
Deze beschikbare machine is gefabriceerd in 2008 en heeft slechts 16 bedrijfsuren. De gerapporteerde configuratie omvat een platform met een diameter van 350 mm, drie MFC-gestuurde procesgasinvoeren, een ontluchtingsgasinvoer en een olievrije EBARA droge vacuümpomp. De huidige bedrijfstoestand en volledigheid dienen vóór aankoop te worden bevestigd.
Belangrijkste specificaties van de PVA TePla Technics 660
| Fabrikant | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Model | 660 |
| Apparaattype | Lagedruk microgolfplasma-etssysteem |
| Geconfigureerd proces | Randisolatie-etsen van zonnecellen |
| Apparatuur Jaar | 2008, volgens de lijst met beschikbare apparatuur. |
| Geregistreerde openingstijden | 16 uur, volgens de lijst met beschikbare apparatuur. |
| Plasmafrequentie | 2,45 GHz |
| Magnetronvermogen | 0–1.000 W |
| Proceskamermateriaal | Aluminium |
| Kamerinhoud | 64 L |
| Binnenafmetingen van de kamer | 400 × 400 × 400 mm |
| Geïnstalleerde procesgasinvoer | Volgens de apparatuurlijst zijn er drie door MFC geregelde gasinvoeren. |
| Fase | Optie voor een podium met een diameter van 350 mm, volgens de apparatuurlijst. |
| Vacuümverbinding | DN 63 ISO K |
| Basisdruk | Ongeveer 2 × 10-2mbar |
| Procesdruk | Ongeveer 0,2–2 mbar |
| Evacuatietijd | Ongeveer 1 minuut |
| Inclusief vacuümpomp | Volgens de apparatuurlijst is dit een olievrije droge pomp van EBARA. |
| Elektrische voeding | 230 V, eenfasig, 16 A, 50/60 Hz |
| Bij benadering afmetingen | 1.050 × 1.720 × 770 mm |
| Geschat gewicht | 180 kg, exclusief de vacuümpomp. |
| Voorwaarde | Gebruikt halfgeleiderapparatuur |
| Beschikbaarheid | Onder voorbehoud van actuele voorraad, inspectie en configuratiebevestiging. |
Belangrijkste kenmerken van de apparatuur
2,45 GHz lagedruk microgolfplasma-generatie
Instelbaar magnetronvermogen tot 1000 W
64 liter aluminium proceskamer zonder interne RF-elektroden
Geconfigureerd voor etsen van de randisolatie van zonnecellen
Substraatplatformoptie met een diameter van 350 mm
Drie MFC-gestuurde procesgasinvoeren
De vermelde configuratie bevat een olievrije droge vacuümpomp van EBARA.
Handmatige en automatische verwerking met opgeslagen recepten
Randisolatie-etsen van zonnecellen
Tijdens de productie van zonnecellen kan de gedoteerde laag zich uitstrekken tot aan de randen van de wafer en een elektrische verbinding creëren tussen de voor- en achterkant. Plasma-randisolatie verwijdert dit geleidende randgebied, waardoor de PN-overgang elektrisch gescheiden blijft.
Bij een typisch stapelgebaseerd plasmaproces worden alleen de blootgestelde celranden geëtst, terwijl aangrenzende wafers de belangrijkste voor- en achterzijden beschermen. De feitelijke gassamenstelling, de laadopstelling, het etsresultaat en de afmetingen van het ondersteunde substraat zijn afhankelijk van de geïnstalleerde trap, het gassysteem en het gevalideerde procesrecept.
Extra plasmaverwerkingscapaciteit
Het 660-platform is ook ontwikkeld voor lagedrukplasmareiniging en oppervlakteactivering van halfgeleidercomponenten vóór chipbevestiging, draadverbindingen en inkapseling. Deze specifieke machine wordt echter vermeld met een configuratie voor randisolatie-etsen.
Gebruik voor het reinigen van verpakkingen, het verwerken van fotolakken of andere plasma-toepassingen mag alleen worden overwogen na bevestiging van de compatibiliteit van de kamer, de gasmaterialen, afdichtingen, pompconfiguratie, substraathouder en procesontwikkelingsvereisten.
Configuratie en inspectie van gebruikte apparatuur
De gepubliceerde platformspecificaties en de geïnstalleerde configuratie van een individueel gebruikt systeem zijn niet noodzakelijkerwijs identiek. Deze machine zou drie MFC-gasinlaten, een ontluchtingsgasaansluiting, een 350 mm-platform en een EBARA-droogpomp bevatten, maar elk onderdeel moet worden geverifieerd aan de hand van actuele foto's en een inspectie.
Voordat een offerte wordt uitgebracht, dienen klanten het serienummer, de geregistreerde bedrijfsuren, de magnetrongenerator, de staat van de kamer, de MFC-modellen, de gascompatibiliteit, de beweging van de trap, het model van de vacuümpomp, het besturingssysteem, de veiligheidsvergrendelingen, de beschikbare recepten en de huidige inschakelstatus te bevestigen.
Informatie aanvragen over PVA TePla 660
Neem contact op met ons team om de actuele beschikbaarheid van de gebruikte PVA TePla / Technics 660 te controleren. Vermeld hierbij uw substraattype, wafer- of celafmetingen, het gewenste randisolatieproces, de benodigde gassen, het land van bestemming en de verwachte installatieplanning.
Neem contact met ons op voor actuele foto's van de apparatuur, het serienummer, de urenregistratie, de geïnstalleerde configuratie, de inspectiestatus en een offerte.
Veelgestelde vragen
Waarvoor wordt de PVA TePla Technics 660 gebruikt?
Deze specifieke machine is geconfigureerd voor microgolfplasma-randisolatie-etsen bij de productie van zonnecellen. Het 660-platform kan, indien uitgerust en gevalideerd voor deze processen, ook plasmareiniging en oppervlakteactivering ondersteunen.
Wat wordt er verwijderd door randisolatie-etsen?
Het verwijdert de geleidende, gedoteerde laag rond de randen van een zonnecel, zodat de voor- en achterkant niet langer elektrisch met elkaar verbonden zijn rond de omtrek van de wafer.
Bevat deze machine een vacuümpomp?
Volgens de lijst met beschikbare apparatuur is een olievrije droge pomp van EBARA inbegrepen. Het exacte pompmodel, de bedrijfsomstandigheden en de aansluitcomponenten dienen tijdens de inspectie te worden gecontroleerd.
Hoeveel procesgasinlaten zijn er geïnstalleerd?
De vermelde machine heeft drie MFC-gestuurde procesgasingangen en een aparte ontluchtingsgasingang. De MFC-bereiken en compatibele gassen moeten worden geverifieerd aan de hand van de geïnstalleerde componenten.
Is deze PVA TePla 660 intensief gebruikt?
De machinegegevens vermelden slechts 16 bedrijfsuren. Deze waarde moet worden gecontroleerd aan de hand van de machinecontroller, onderhoudsgegevens of ander beschikbaar bewijsmateriaal met betrekking tot de bedrijfsuren voordat deze als bevestigd wordt beschouwd.
