Le système PVA TePla / Technics 660 est un système plasma micro-ondes basse pression conçu pour la gravure d'isolation des bords lors de la production de cellules solaires. Ce procédé élimine la couche conductrice dopée présente sur les bords de la cellule afin d'isoler électriquement les faces avant et arrière et de réduire les fuites de courant indésirables.
Cette machine, fabriquée en 2008, affiche seulement 16 heures de fonctionnement. Sa configuration comprend une platine de 350 mm de diamètre, trois entrées de gaz de process contrôlées par MFC, une entrée de gaz de purge et une pompe à vide sèche sans huile EBARA. Son état de fonctionnement et sa complétude doivent être vérifiés avant l'achat.
Spécifications principales du PVA TePla Technics 660
| Fabricant | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Modèle | 660 |
| Type d'équipement | Système de gravure plasma micro-ondes basse pression |
| Processus configuré | Gravure d'isolation des bords des cellules solaires |
| Année d'équipement | 2008, selon la liste des équipements disponibles |
| Heures de fonctionnement enregistrées | 16 heures, selon la liste du matériel disponible |
| Fréquence plasma | 2,45 GHz |
| Puissance des micro-ondes | 0–1 000 W |
| Matériau de la chambre de traitement | Aluminium |
| Volume de la chambre | 64 L |
| Dimensions intérieures de la chambre | 400 × 400 × 400 mm |
| Entrées de gaz de procédé installées | Trois entrées de gaz contrôlées par MFC, selon la liste des équipements |
| Scène | Option de platine de 350 mm de diamètre, selon la liste des équipements. |
| Raccordement sous vide | DN 63 ISO K |
| Pression de base | Environ 2 × 10-2mbar |
| Pression du procédé | Environ 0,2 à 2 mbar |
| Temps d'évacuation | Environ 1 minute |
| Pompe à vide incluse | Pompe sèche sans huile EBARA, selon la liste des équipements |
| Alimentation électrique | 230 V, monophasé, 16 A, 50/60 Hz |
| Dimensions approximatives | 1 050 × 1 720 × 770 mm |
| Poids approximatif | 180 kg, pompe à vide non comprise |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks, d'inspection et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
Génération de plasma par micro-ondes à basse pression à 2,45 GHz
Puissance micro-ondes réglable jusqu'à 1 000 W
Chambre de traitement en aluminium de 64 L sans électrodes RF internes
Configuré pour la gravure d'isolation des bords des cellules solaires
option de platine porte-substrat de 350 mm de diamètre
Trois entrées de gaz de procédé contrôlées par MFC
Pompe à vide sèche sans huile EBARA incluse dans la configuration indiquée
Traitement manuel et automatique avec recettes enregistrées
Gravure d'isolation des bords des cellules solaires
Lors de la production de cellules solaires, la couche dopée peut s'étendre sur les bords de la plaquette et créer une connexion électrique entre les faces avant et arrière. L'isolation des bords par plasma élimine cette zone conductrice, préservant ainsi l'isolation électrique de la jonction PN.
Dans un procédé plasma classique à cellules empilées, seuls les bords exposés des cellules sont gravés, les plaquettes adjacentes protégeant les surfaces avant et arrière principales. La composition du gaz, la configuration de chargement, le résultat de la gravure et les dimensions du substrat supporté dépendent de la platine de gravure, du système de gaz et du protocole validé.
Capacité de traitement du plasma supplémentaire
La plateforme 660 a également été développée pour le nettoyage plasma basse pression et l'activation de surface des boîtiers semi-conducteurs avant la fixation des puces, le câblage et l'encapsulation. Cependant, cette machine est spécifiquement conçue pour la gravure d'isolation des bords.
L'utilisation pour le nettoyage d'emballages, le traitement de photorésine ou toute autre application plasma ne doit être envisagée qu'après confirmation de la compatibilité de la chambre, des matériaux gazeux, des joints, de la configuration de pompage, du porte-substrat et des exigences de développement du processus.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
Les spécifications publiées de la plateforme et la configuration installée d'un système d'occasion ne sont pas nécessairement identiques. Cette machine comprendrait trois entrées de gaz MFC, un raccord d'évacuation des gaz, un étage de 350 mm et une pompe sèche EBARA ; toutefois, chaque composant doit être vérifié à partir de photographies récentes et par une inspection.
Avant d'établir un devis, les clients doivent confirmer le numéro de série, les heures de fonctionnement enregistrées, le générateur de micro-ondes, l'état de la chambre, les modèles MFC, la compatibilité des gaz, le mouvement de l'étage, le modèle de pompe à vide, le système de contrôle, les dispositifs de sécurité, les recettes disponibles et l'état actuel de mise sous tension.
Demande d'informations sur le PVA TePla 660
Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du PVA TePla / Technics 660 d'occasion. Veuillez indiquer le type de substrat, les dimensions de la plaquette ou de la cellule, le procédé d'isolation des bords souhaité, les gaz requis, le pays de destination et le calendrier d'installation prévu.
Contactez-nous pour obtenir des photos de l'équipement actuel, le numéro de série, l'historique des heures de fonctionnement, la configuration installée, l'état d'inspection et un devis.
Foire aux questions
À quoi sert le PVA TePla Technics 660 ?
Cette machine est spécifiquement configurée pour la gravure d'isolation des bords par plasma micro-ondes dans la production de cellules solaires. La plateforme 660 peut également prendre en charge le nettoyage plasma et l'activation de surface une fois équipée et validée pour ces procédés.
Qu'est-ce que la gravure d'isolation des bords élimine ?
Elle supprime la couche conductrice dopée autour des bords d'une cellule solaire afin que les surfaces avant et arrière ne restent pas électriquement connectées sur le périmètre de la plaquette.
Cette machine comprend-elle une pompe à vide ?
La liste des équipements disponibles indique qu'une pompe sèche sans huile EBARA est incluse. Le modèle exact de la pompe, son état de fonctionnement et ses composants de raccordement doivent être vérifiés lors de l'inspection.
Combien d'entrées de gaz de procédé sont installées ?
La machine décrite possède trois entrées de gaz de process contrôlées par MFC et une entrée de gaz de purge séparée. Il convient de vérifier les plages de fonctionnement des MFC et la compatibilité des gaz avec les composants installés.
Ce PVA TePla 660 a-t-il été beaucoup utilisé ?
La liste des équipements ne fait état que de 16 heures de fonctionnement. Cette valeur doit être vérifiée auprès du contrôleur de la machine, des registres de maintenance ou de tout autre justificatif d'heures de fonctionnement disponible avant d'être considérée comme confirmée.
