Система PVA TePla / Technics 660 представляет собой низкотемпературную микроволновую плазменную систему, предназначенную для травления краев при производстве солнечных элементов. В ходе этого процесса удаляется проводящий легированный слой по краям элемента, что позволяет электрически изолировать переднюю и заднюю поверхности и уменьшить нежелательную утечку тока.
Представленная машина была изготовлена в 2008 году и, согласно данным, имеет всего 16 часов наработки. В заявленную конфигурацию входят платформа диаметром 350 мм, три управляемых MFC входа для технологического газа, вход для отвода отработанного газа и безмасляный сухой вакуумный насос EBARA. Перед покупкой следует уточнить текущее рабочее состояние и комплектность оборудования.
Основные характеристики PVA TePla Technics 660
| Производитель | ПВА TePla / Technics |
|---|---|
| Модель | 660 |
| Тип оборудования | Система низкотемпературного микроволнового плазменного травления |
| Настроенный процесс | Травление краевой изоляции солнечных элементов |
| Год выпуска оборудования | 2008 год, согласно списку имеющегося оборудования. |
| Зарегистрированные часы работы | 16 часов, согласно списку доступного оборудования. |
| Плазменная частота | 2,45 ГГц |
| Мощность микроволнового излучения | 0–1000 Вт |
| Материал технологической камеры | Алюминий |
| Объем камеры | 64 л |
| Внутренние размеры камеры | 400 × 400 × 400 мм |
| Установлены входы для технологического газа | Согласно спецификации оборудования, имеется три управляемых MFC газовых входа. |
| Этап | Согласно прайс-листу, предусмотрена опция сцены диаметром 350 мм. |
| Вакуумное соединение | DN 63 ISO K |
| Базовое давление | Примерно 2 × 10-2 мбар |
| Технологическое давление | Приблизительно 0,2–2 мбар |
| Время эвакуации | Примерно 1 минута |
| В комплект входит вакуумный насос. | Безмасляный сухой насос EBARA, согласно каталогу оборудования. |
| Электроснабжение | 230 В, однофазный, 16 А, 50/60 Гц |
| Приблизительные размеры | 1050 × 1720 × 770 мм |
| Приблизительный вес | 180 кг, без учета вакуумного насоса. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, проверки и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Генерация низкотемпературной микроволновой плазмы на частоте 2,45 ГГц
Регулируемая мощность микроволновой печи до 1000 Вт.
Технологическая камера из алюминия объемом 64 л без внутренних ВЧ-электродов
Предназначен для травления краевой изоляции солнечных элементов.
Вариант подложки диаметром 350 мм
Три управляемых MFC входа для технологического газа
В указанную комплектацию входит безмасляный сухой вакуумный насос EBARA.
Ручная и автоматическая обработка с использованием сохраненных рецептов.
Травление краевой изоляции солнечных элементов
В процессе производства солнечных элементов легированный слой может распространяться по краям пластины, создавая электрическое соединение между передней и задней поверхностями. Плазменная краевая изоляция удаляет эту проводящую краевую область, так что PN-переход остается электрически разделенным.
В типичном плазменном процессе с использованием многослойной структуры травятся только открытые края ячеек, в то время как соседние пластины защищают основные переднюю и заднюю поверхности. Фактический химический состав газа, схема загрузки, результат травления и размеры поддерживаемой подложки зависят от установленного оборудования, газовой системы и проверенной технологической схемы.
Дополнительные возможности плазменной обработки
Платформа 660 также была разработана для низкотемпературной плазменной очистки и активации поверхности полупроводниковых корпусов перед установкой кристалла, проволочным соединением и инкапсуляцией. Однако данная конкретная установка указана в каталоге с конфигурацией для травления краевой изоляции.
Использование для очистки упаковки, обработки фоторезиста или других плазменных применений следует рассматривать только после подтверждения совместимости камеры, используемых газов, уплотнений, конфигурации насоса, держателя подложки и требований к разработке технологического процесса.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Опубликованные технические характеристики платформы и установленная конфигурация конкретной используемой системы не обязательно идентичны. Сообщается, что данная машина включает в себя три входа для газа MFC, соединение для отвода отработанного газа, ступеньку диаметром 350 мм и сухой насос EBARA, но каждый компонент следует проверить по актуальным фотографиям и осмотру.
Перед предоставлением коммерческого предложения клиентам следует подтвердить серийный номер, зарегистрированное время работы, тип микроволнового генератора, состояние камеры, модель МТЭ, совместимость с газом, перемещение платформы, модель вакуумного насоса, систему управления, блокировки безопасности, доступные рецепты и текущее состояние включения питания.
Запросить информацию о PVA TePla 660
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении пластин PVA TePla / Technics 660. Пожалуйста, укажите тип подложки, размеры пластины или ячейки, целевой процесс изоляции краев, необходимые газы, страну назначения и предполагаемый график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить фотографии текущего оборудования, серийный номер, данные о наработке часов, конфигурацию установки, информацию о состоянии после проверки и коммерческое предложение.
Часто задаваемые вопросы
Для чего используется PVA TePla Technics 660?
Данная установка предназначена для травления краев солнечных элементов с использованием микроволновой плазмы. Платформа 660 также может поддерживать плазменную очистку и активацию поверхности при наличии соответствующего оборудования и прохождении соответствующей проверки.
Что удаляется при травлении для изоляции краев?
Этот метод удаляет проводящий легированный слой по краям солнечной батареи, благодаря чему передняя и задняя поверхности не остаются электрически соединенными по периметру пластины.
В комплект этого аппарата входит вакуумный насос?
В списке доступного оборудования указано, что в комплект входит безмасляный сухой насос EBARA. Точную модель насоса, условия эксплуатации и компоненты подключения следует уточнить при осмотре.
Сколько входов для технологических газов установлено?
Указанное оборудование имеет три управляемых MFC входа для технологических газов и отдельный вход для отвода отработанного газа. Диапазоны работы MFC и совместимые газы необходимо проверить на установленных компонентах.
Этот PVA TePla 660 интенсивно использовался?
В техническом описании оборудования указано всего 16 часов работы. Прежде чем считать это значение подтвержденным, его следует сверить с данными контроллера машины, записями о техническом обслуживании или другими имеющимися данными о наработке часов.
