DOM > Produkty > Sprzęt do produkcji płytek półprzewodnikowych > Sprzęt do trawienia półprzewodników >

Używany PVA TePla / Technics 660 Edge Isolation Plasma Etcher

Używany system plazmowy mikrofalowy PVA TePla / Technics 660 z 2008 r. skonfigurowany do trawienia izolacji krawędzi ogniw słonecznych, ze stołem o średnicy 350 mm i suchą pompą EBARA.

Used PVA TePla / Technics 660 Edge Isolation Plasma Etcher OBRAZ SPRZĘTU
Przegląd konfiguracji Model i opcje instalacji
Nowe / używane dostawy W zależności od dostępności projektu
Globalna dostawa Ocena oparta na miejscu docelowym
Zapytanie ofertowe techniczne Dopasowywanie pakietów i procesów

PVA TePla / Technics 660 to niskociśnieniowy system mikrofalowej plazmy, przeznaczony do trawienia krawędziowego w produkcji ogniw słonecznych. Proces ten usuwa przewodzącą warstwę domieszkową wokół krawędzi ogniwa, aby odizolować elektrycznie powierzchnię przednią i tylną oraz zredukować niepożądany upływ prądu.

Ta dostępna maszyna została wyprodukowana w 2008 roku i ma przepracowane zaledwie 16 godzin. Jej konfiguracja obejmuje stół o średnicy 350 mm, trzy wejścia gazów procesowych sterowane przez MFC, wejście gazów odpowietrzających oraz bezolejową suchą pompę próżniową EBARA. Aktualny stan techniczny i kompletność urządzenia należy potwierdzić przed zakupem.

PVA TePla Technics 660 edge isolation plasma etcher

PVA TePla Technics 660 Główne specyfikacje

ProducentPVA TePla / Technics
Model660
Typ sprzętuSystem trawienia plazmowego mikrofalowego niskiego ciśnienia
Skonfigurowany procesWytrawianie izolacji krawędzi ogniw słonecznych
Rok produkcji sprzętu2008 r., zgodnie z dostępnym wykazem sprzętu
Zarejestrowane godziny pracy16 godzin, zgodnie z dostępnym wyposażeniem
Częstotliwość plazmy2,45 GHz
Moc mikrofal0–1,000 W
Materiał komory procesowejAluminium
Objętość komory64 l
Wymiary wewnętrzne komory400 × 400 × 400 mm
Zainstalowane wejścia gazu procesowegoTrzy wejścia gazu sterowane przez MFC, zgodnie z listą urządzeń
ScenaOpcja sceny o średnicy 350 mm, zgodnie z listą wyposażenia
Podłączenie próżnioweDN 63 ISO K
Ciśnienie bazoweOkoło 2 × 10-2mbar
Ciśnienie procesoweOkoło 0,2–2 mbar
Czas ewakuacjiOkoło 1 minuty
W zestawie pompa próżniowaPompa sucha bezolejowa EBARA, zgodnie z listą wyposażenia
Zasilanie elektryczne230 V, jednofazowy, 16 A, 50/60 Hz
Przybliżone wymiary1050 × 1720 × 770 mm
Przybliżona waga180 kg, bez pompy próżniowej
StanUżywany sprzęt półprzewodnikowy
DostępnośćW zależności od aktualnego stanu magazynowego, inspekcji i potwierdzenia konfiguracji

Kluczowe cechy wyposażenia

  • Generowanie plazmy mikrofalowej niskiego ciśnienia 2,45 GHz

  • Regulowana moc mikrofal do 1000 W

  • Komora procesowa aluminiowa o pojemności 64 l bez wewnętrznych elektrod RF

  • Skonfigurowany do trawienia izolacji krawędzi ogniw słonecznych

  • Opcja stolika pod podłoże o średnicy 350 mm

  • Trzy wejścia gazu procesowego sterowane przez MFC

  • W podanej konfiguracji uwzględniono bezolejową suchą pompę próżniową EBARA

  • Przetwarzanie ręczne i automatyczne z wykorzystaniem zapisanych receptur

Wytrawianie izolacji krawędzi ogniw słonecznych

Podczas produkcji ogniw słonecznych warstwa domieszkowana może rozciągać się wokół krawędzi płytki i tworzyć połączenie elektryczne między powierzchnią przednią a tylną. Izolacja krawędzi plazmą usuwa ten przewodzący obszar krawędzi, dzięki czemu złącze p-n pozostaje oddzielone elektrycznie.

W typowym procesie plazmowym opartym na stosie, trawione są tylko odsłonięte krawędzie ogniw, podczas gdy sąsiednie płytki chronią główne powierzchnie przednie i tylne. Rzeczywisty skład chemiczny gazu, układ załadunku, wynik trawienia i obsługiwane wymiary podłoża zależą od zainstalowanego stolika, systemu gazowego i zatwierdzonej receptury procesu.

PVA TePla 660 microwave plasma chamber and 350 mm stage

Dodatkowa możliwość przetwarzania plazmy

Platforma 660 została również opracowana do niskociśnieniowego czyszczenia plazmowego i aktywacji powierzchniowej obudów półprzewodnikowych przed montażem matryc, łączeniem przewodów i hermetyzacją. Jednakże ta konkretna maszyna jest specjalnie oznaczona jako wyposażona w konfigurację z izolacją krawędzi.

Zastosowanie do czyszczenia opakowań, obróbki fotorezystu lub innych zastosowań plazmowych należy rozważyć dopiero po potwierdzeniu kompatybilności komory, materiałów gazowych, uszczelnień, konfiguracji pompowania, uchwytu podłoża i wymagań dotyczących rozwoju procesu.

Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu

Opublikowane specyfikacje platformy i zainstalowana konfiguracja konkretnego systemu niekoniecznie są identyczne. Maszyna ta ma być wyposażona w trzy wejścia gazu MFC, przyłącze gazu odpowietrzającego, stopień 350 mm i suchą pompę EBARA, ale każdy komponent należy zweryfikować na podstawie aktualnych zdjęć i inspekcji.

Przed złożeniem oferty klienci powinni potwierdzić numer seryjny, zarejestrowane godziny pracy, generator mikrofal, stan komory, modele MFC, kompatybilność gazową, ruch platformy, model pompy próżniowej, system sterowania, blokady bezpieczeństwa, dostępne receptury i aktualny stan zasilania.

PVA TePla Technics 660 installed process configuration

Poproś o informacje dotyczące PVA TePla 660

Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego PVA TePla / Technics 660. Podaj rodzaj podłoża, wymiary płytki lub ogniwa, docelowy proces izolacji krawędzi, wymagane gazy, kraj docelowy i przewidywany harmonogram instalacji.

Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia sprzętu, numer seryjny, rejestr godzin pracy, zainstalowaną konfigurację, status kontroli i wycenę.

Często zadawane pytania

Do czego służy PVA TePla Technics 660?

Ta konkretna maszyna jest skonfigurowana do trawienia krawędzi plazmą mikrofalową w produkcji ogniw słonecznych. Platforma 660 może również obsługiwać czyszczenie plazmowe i aktywację powierzchni po odpowiednim wyposażeniu i zatwierdzeniu do tych procesów.

Co usuwa trawienie krawędziowe?

Metoda ta polega na usunięciu przewodzącej warstwy domieszkowanej wokół krawędzi ogniwa słonecznego, co powoduje, że przednia i tylna powierzchnia nie pozostają połączone elektrycznie wokół obwodu płytki.

Czy ta maszyna jest wyposażona w pompę próżniową?

W wykazie dostępnego sprzętu podano, że w zestawie znajduje się bezolejowa pompa sucha EBARA. Dokładny model pompy, stan roboczy i elementy przyłączeniowe należy potwierdzić podczas inspekcji.

Ile wlotów gazów procesowych jest zainstalowanych?

Wymieniona maszyna posiada trzy wejścia gazu procesowego sterowane przez MFC oraz oddzielne wejście gazu odpowietrzającego. Zakresy MFC i kompatybilne gazy należy zweryfikować na podstawie zainstalowanych komponentów.

Czy PVA TePla 660 był intensywnie użytkowany?

W wykazie sprzętu podano jedynie 16 godzin pracy. Wartość tę należy sprawdzić w sterowniku maszyny, w dokumentacji konserwacyjnej lub w innych dostępnych dowodach dotyczących godzin pracy, zanim zostanie uznana za potwierdzoną.