Le PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M est un système de décapage plasma micro-ondes par lots conçu pour l'élimination de la résine photosensible, le nettoyage des plaquettes et le traitement de surface dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise un plasma micro-ondes de 2,45 GHz dans une chambre à vide et peut traiter plusieurs plaquettes simultanément.
Les utilisations typiques comprennent le décapage de la résine photosensible, son élimination avant le nettoyage chimique humide, le traitement des dépôts et l'élimination des résidus organiques. La machine disponible était présentée comme un système de 2013, mais son état de fonctionnement, les options installées et les accessoires inclus doivent être vérifiés avant l'achat.
Spécifications principales du lot PVA TePla GIGAbatch 360M
| Fabricant | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Modèle | GIGAbatch 360M |
| Type d'équipement | Système de décapage par plasma micro-ondes par lots et de nettoyage de plaquettes |
| Fréquence plasma | 2,45 GHz |
| Puissance des micro-ondes | 0–1 000 W |
| Matériau de la chambre à vide | Quartz |
| Diamètre de la chambre | 245 mm |
| Profondeur de la chambre | 395 mm |
| Volume de la chambre | 18 L |
| Capacité de la plaquette | Jusqu'à 50 plaquettes de 150 mm de diamètre, selon le porte-plaquettes installé. |
| Contrôle des gaz de procédé | Deux conduites de gaz contrôlées par MFC dans la configuration de la plateforme de base |
| Surveillance des processus | Surveillance de la température des plaquettes et détection des points de fin de course dans la configuration de la plateforme de base |
| Raccordement électrique | 230 V, 15 A, 50/60 Hz |
| Dimensions approximatives | 795 × 1 540 × 710 mm |
| Poids approximatif | 190 kg |
| Année d'équipement | 2013, selon la liste des équipements disponibles |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks, d'inspection et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
génération de plasma par micro-ondes à 2,45 GHz
Puissance micro-ondes réglable jusqu'à 1 000 W
Chambre de traitement en quartz de 245 mm de diamètre
Traitement par lots de plaquettes jusqu'à 150 mm
Capacité jusqu'à 50 plaquettes avec le support approprié
Porte motorisée de la chambre de chargement des plaquettes
Distribution de gaz de procédé contrôlée par MFC
Conçu pour le traitement plasma par lots contrôlés
Applications typiques
Le GIGAbatch 360M est principalement utilisé pour le décapage plasma et le décapage de la résine photosensible des plaquettes de semi-conducteurs. Il peut être utilisé avant le nettoyage chimique humide pour éliminer les résidus de résine et les contaminants organiques présents à la surface des plaquettes.
D'autres applications peuvent inclure le traitement des dépôts, le nettoyage au plasma sec et l'activation de surface avant les étapes ultérieures de revêtement, de collage ou de fabrication. La compatibilité réelle du procédé dépend des conduites de gaz installées, du porte-plaquette, des matériaux de la chambre, des joints et des recettes de traitement disponibles.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
Les spécifications ci-dessus décrivent la plateforme GIGAbatch 360M publiée. La configuration réelle de cette machine d'occasion peut varier, car les conduites de gaz, les porte-plaquettes, les dispositifs de surveillance des processus, les pompes à vide et les accessoires optionnels peuvent différer d'un système à l'autre.
Avant d'établir un devis, les clients doivent confirmer le numéro de série, l'état de la chambre, le générateur de micro-ondes, le système de vide, la configuration du MFC, le détecteur de point final, la surveillance de la température, le système de contrôle, le porte-plaquette, la documentation disponible et l'état actuel de mise sous tension.
Les configurations optionnelles de la plateforme peuvent inclure un contrôle actif de la pression de procédé, une cage de Faraday, des conduites de gaz supplémentaires, des dispositifs de chargement de substrat alternatifs, une chambre de traitement en céramique et des joints spéciaux pour les gaz de procédé fluorés. Ces options ne doivent pas être prises en compte sans avoir été vérifiées sur la machine disponible.
Demande d'informations sur GIGAbatch 360M
Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du système PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M d'occasion. Veuillez indiquer la taille de vos plaquettes, le procédé cible, les gaz de procédé requis, la capacité de production attendue, le pays de destination et le calendrier d'installation afin que nous puissions examiner la configuration disponible.
Contactez-nous pour obtenir des photos de l'équipement, le numéro de série, la configuration installée, l'état de l'inspection et un devis.
Foire aux questions
Le GIGAbatch 360M est-il un graveur plasma ou un décapeur plasma ?
Le GIGAbatch 360M est principalement un système de décapage plasma micro-ondes et de nettoyage de plaquettes. Il est couramment utilisé pour l'élimination de la photorésine, le traitement anti-salissure et le nettoyage de surface plutôt que pour la gravure de transfert de motifs de précision.
Quelle taille de plaquette le GIGAbatch 360M peut-il traiter ?
La plateforme 360M, telle que décrite dans la documentation, peut traiter des plaquettes jusqu'à 150 mm de diamètre. Elle peut contenir jusqu'à 50 plaquettes lorsqu'elle est équipée du porte-plaquettes approprié.
Quelle est la principale application du GIGAbatch 360M ?
Son application principale est l'élimination par plasma, par lots, de la résine photosensible sur les plaquettes de semi-conducteurs. Il peut également être utilisé pour l'élimination des résidus organiques, le nettoyage plasma et l'activation de surface.
Le système peut-il utiliser des gaz de procédé contenant du fluor ?
Les procédés impliquant du fluor nécessitent des matériaux de chambre compatibles et des joints spéciaux. Cette compatibilité doit être vérifiée à partir de la configuration installée de chaque machine.
Ce GIGAbatch 360M de 2013 est-il actuellement opérationnel ?
La fiche technique indique que l'équipement date de 2013, mais cette année ne permet pas de confirmer son état de fonctionnement actuel. Avant toute offre, il convient de vérifier la mise sous tension, l'intégralité du système, l'état de la chambre et les rapports d'inspection disponibles.
