Плазменный микроволновый пескоструйный аппарат PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M предназначен для пакетной обработки фоторезистов, очистки пластин и обработки поверхности в полупроводниковой промышленности. Он использует микроволновую плазму частотой 2,45 ГГц в вакуумной камере и может обрабатывать несколько пластин за один цикл.
Типичные области применения включают озоление фоторезиста, удаление резиста перед влажной химической очисткой, обработку для удаления накипи и удаление органических остатков. Представленная машина указана как система 2013 года, но перед покупкой следует уточнить ее рабочее состояние, установленные опции и входящие в комплект аксессуары.
Основные характеристики PVA TePla GIGAbatch 360M
| Производитель | ПВА TePla / Technics |
|---|---|
| Модель | GIGAbatch 360M |
| Тип оборудования | Система микроволновой плазменной обработки и пакетной очистки пластин |
| Плазменная частота | 2,45 ГГц |
| Мощность микроволнового излучения | 0–1000 Вт |
| Материал вакуумной камеры | Кварц |
| Диаметр камеры | 245 мм |
| Глубина камеры | 395 мм |
| Объем камеры | 18 л |
| Емкость пластин | В зависимости от установленного держателя пластин, можно разместить до 50 пластин диаметром 150 мм. |
| Контроль технологических газов | Две газопроводные линии, управляемые MFC, в базовой конфигурации платформы. |
| Мониторинг процессов | Мониторинг температуры пластины и обнаружение конечных точек в базовой конфигурации платформы. |
| Электрическое соединение | 230 В, 15 А, 50/60 Гц |
| Приблизительные размеры | 795 × 1540 × 710 мм |
| Приблизительный вес | 190 кг |
| Год выпуска оборудования | 2013 год, согласно списку доступного оборудования. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, проверки и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Генерация микроволновой плазмы на частоте 2,45 ГГц
Регулируемая мощность микроволновой печи до 1000 Вт.
Технологическая камера из кварца диаметром 245 мм
Пакетная обработка пластин диаметром до 150 мм.
Вместимость до 50 пластин с соответствующим держателем.
Моторизованная дверца камеры для загрузки пластин.
Подача технологического газа, управляемая МТЭ
Предназначен для контролируемой пакетной плазменной обработки.
Типичные области применения
Установка GIGAbatch 360M в основном используется для плазменного озоления и удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин. Ее также можно использовать перед влажной химической очисткой для удаления остатков резиста и органических загрязнений с поверхности пластин.
Другие области применения могут включать обработку загрязнений, сухую плазменную очистку и активацию поверхности перед последующими этапами нанесения покрытия, склеивания или изготовления. Фактическая совместимость процесса зависит от установленных газопроводов, держателя пластин, материалов камеры, уплотнений и доступных технологических рецептур.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Приведенные выше технические характеристики описывают опубликованную платформу GIGAbatch 360M. Фактическая конфигурация этой бывшей в употреблении машины может отличаться, поскольку газопроводы, держатели пластин, устройства мониторинга процесса, вакуумные насосы и дополнительные принадлежности могут различаться в зависимости от конкретной системы.
Перед предоставлением коммерческого предложения клиентам следует подтвердить серийный номер, состояние камеры, микроволновый генератор, вакуумную систему, конфигурацию МТЦ, детектор конечной точки, систему контроля температуры, систему управления, держатель пластин, имеющуюся документацию и текущее состояние питания.
В качестве дополнительных опций платформа может включать активное регулирование давления в процессе, клетку Фарадея, дополнительные газопроводы, альтернативные устройства загрузки подложки, керамическую технологическую камеру и специальные уплотнения для фторсодержащих технологических газов. Эти опции не следует предполагать, если они не проверены на имеющемся оборудовании.
Запросить информацию о GIGAbatch 360M
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении установок PVA TePla / Technics GIGAbatch 360M. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, целевой технологический процесс, необходимые технологические газы, ожидаемую производительность партии, страну назначения и график установки, чтобы мы могли рассмотреть доступные конфигурации.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, серийного номера, информации о конфигурации после установки, статуса проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
GIGAbatch 360M — это плазменный травильный аппарат или плазмоочиститель?
Система GIGAbatch 360M в первую очередь предназначена для микроволновой плазменной обработки и очистки пластин. Она обычно используется для удаления фоторезиста, обработки загрязнений и очистки поверхности, а не для прецизионного травления с переносом рисунка.
Какие размеры кремниевых пластин может обрабатывать GIGAbatch 360M?
Представленная платформа 360M способна обрабатывать пластины диаметром до 150 мм. При использовании соответствующего держателя пластин она может вмещать до 50 пластин.
В чём основное назначение GIGAbatch 360M?
Основное применение этого метода — пакетное плазменное удаление фоторезиста с полупроводниковых пластин. Он также может использоваться для удаления органических остатков, плазменной очистки и активации поверхности.
Может ли система использовать технологические газы, содержащие фтор?
Для процессов, содержащих фтор, требуются совместимые материалы камеры и специальные уплотнения. Возможность их использования должна быть подтверждена конфигурацией конкретного оборудования.
В настоящее время эксплуатируется ли данная модель GIGAbatch 360M 2013 года выпуска?
В описании указано, что оборудование выпущено в 2013 году, однако один только год не подтверждает его текущее рабочее состояние. Перед предоставлением коммерческого предложения необходимо проверить состояние питания, комплектность, состояние камеры и наличие записей о проведенных проверках.
