System AG Associates Heatpulse 8108 RTP
AG Associates Heatpulse 8108 to system do szybkiego przetwarzania termicznego pojedynczych płytek, stosowany w krótkich, kontrolowanych procesach obróbki półprzewodników w wysokiej temperaturze. Dostępna oferta obejmuje system do płytek o średnicy 150 mm i 200 mm.
Platforma Heatpulse szybko nagrzewa płytkę za pomocą układów lamp wolframowych i kontroluje temperaturę procesu za pomocą zamkniętej pętli opartej na termoparze lub pirometrze. Szybkie chłodzenie ogranicza całkowity bilans cieplny w porównaniu z dłuższymi cyklami pieca konwencjonalnego.
Główne dane techniczne AG Heatpulse 8108
| Producent | AG Associates |
|---|---|
| Rodzina produktów | Impuls ciepła |
| Model | 8108 |
| Typ sprzętu | System szybkiego przetwarzania termicznego pojedynczych płytek |
| Obsługiwane rozmiary płytek | Do 200 mm; dostępne są płytki o średnicy 150 mm i 200 mm |
| Metoda ogrzewania | Górne i dolne zespoły lamp wolframowych |
| Pomiar temperatury | Termopara lub pirometr, w zależności od zainstalowanej konfiguracji |
| Kontrola temperatury | Kontrola temperatury procesu w pętli zamkniętej |
| Metoda chłodzenia | Chłodzenie wymiennika ciepła z zimną ścianką w opublikowanej platformie |
| Opublikowane aplikacje procesowe | Wyżarzanie, kontrolowana dyfuzja, utlenianie, aktywacja i tworzenie krzemionki |
| Atmosfera procesowa | Zależne od zainstalowanego panelu gazowego, komory i opcji |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego, inspekcji i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Szybka obróbka cieplna pojedynczych płytek
Opublikowane wsparcie dla podłoży do 200 mm
Szybkie nagrzewanie płytki lampy wolframowej
Sterowanie temperaturą za pomocą termopary lub pirometru w pętli zamkniętej
Konstrukcja z zimną ścianką do szybkiego chłodzenia po procesie
Nadaje się do badań, produkcji pilotażowej i kompatybilnych procesów produkcyjnych
Typowe zastosowania
Urządzenie Heatpulse 8108 można stosować do wyżarzania po implantacji, aktywacji domieszek, kontrolowanej dyfuzji, szybkiego utleniania termicznego, tworzenia krzemków lub salicydów, lutowania rozpływowego i innych krótkotrwałych procesów termicznych.
Zgodność procesu zależy od materiału wafla, kwarcu komory, czujnika temperatury, stanu lampy, dostarczania gazu, monitorowania tlenu oraz dostępnego zestawu receptur. Wymagany proces należy porównać z konfiguracją zainstalowanej maszyny.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Systemy Heatpulse 8108 mogą różnić się czujnikiem temperatury, panelem gazowym, opcją monitorowania tlenu, uchwytem na wafle, oprogramowaniem sterującym i wymaganiami dotyczącymi instalacji. Elementy te należy zidentyfikować na dostępnej maszynie przed wyceną.
Do ważnych punktów kontroli zalicza się lampy wolframowe, reflektory, komorę kwarcową, termoparę lub pirometr, elementy podnoszące i obracające płytkę, układ chłodzenia, zawory gazowe, blokady bezpieczeństwa, sterownik, receptury i aktualny stan zasilania.
Poproś o informacje dotyczące AG Heatpulse 8108
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego urządzenia AG Associates Heatpulse 8108. Podaj rozmiar wafla, materiał podłoża, docelowy proces wyżarzania lub utleniania, wymaganą atmosferę, kraj docelowy i harmonogram instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia, konfigurację kontroli temperatury, stan komory, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakiej wielkości wafle może przetwarzać Heatpulse 8108?
Platforma Heatpulse 8108 obsługuje podłoża o średnicy do 200 mm. Zainstalowany uchwyt na wafle musi mieć wymaganą średnicę.
Jaka jest różnica pomiędzy piecem RTP a piecem wsadowym?
W piecu RTP szybko nagrzewa się jeden wafel w krótkim cyklu obróbki, natomiast w tradycyjnym piecu dyfuzyjnym nagrzewa się partię wafli w dłuższym cyklu termicznym.
Jakie procesy może realizować Heatpulse 8108?
Opublikowane zastosowania obejmują wyżarzanie, aktywację domieszek, utlenianie, kontrolowaną dyfuzję, lutowanie rozpływowe i tworzenie krzemionki.
Czy każdy 8108 korzysta z tego samego czujnika temperatury?
Nie. Dostępne systemy mogą wykorzystywać termoparę, pirometr lub konfigurację czujników zależną od procesu. Przed wyborem sprzętu należy potwierdzić zainstalowany czujnik.
