AG Associates Heatpulse 8108 RTP 시스템

AG Associates Heatpulse 8108은 단일 웨이퍼용 고속 열처리 시스템으로, 짧고 제어된 고온 반도체 공정에 사용됩니다. 제공되는 제품 목록에는 150mm 및 200mm 웨이퍼용 시스템이 명시되어 있습니다.

히트펄스 플랫폼은 텅스텐 램프 어레이를 사용하여 웨이퍼를 빠르게 가열하고 열전대 또는 고온계 기반의 폐쇄 루프를 통해 공정 온도를 제어합니다. 급속 냉각은 기존의 장시간 가열로 공정에 비해 전체 열 예산을 줄여줍니다.

AG 히트펄스 8108 주요 사양

주요 장비 특징

• 단일 웨이퍼 고속 열처리

• 최대 200mm 기판에 대한 지원이 발표되었습니다.

• 텅스텐 램프를 이용한 고속 웨이퍼 가열

• 폐쇄 루프 열전대 또는 고온계 온도 제어

• 급속 후처리 냉각을 위한 콜드월 설계

• 연구, 시범 생산 및 호환 가능한 제조 공정에 적합합니다.

일반적인 적용 사례

Heatpulse 8108은 이식 후 어닐링, 도펀트 활성화, 제어 확산, 급속 열 산화, 실리사이드 또는 살리사이드 형성, 리플로우 및 기타 단시간 열 공정에 사용할 수 있습니다.

공정 호환성은 웨이퍼 재질, 챔버 석영 부품, 온도 센서, 램프 상태, 가스 공급, 산소 모니터링 및 사용 가능한 레시피 세트에 따라 달라집니다. 필요한 공정은 설치된 장비 구성과 비교하여 검토해야 합니다.

중고 장비 구성 및 검사

Heatpulse 8108 시스템은 온도 센서, 가스 패널, 산소 모니터링 옵션, 웨이퍼 홀더, 제어 소프트웨어 및 설비 요구 사항이 다를 수 있습니다. 견적을 요청하기 전에 사용 가능한 장비에서 이러한 구성 요소를 확인해야 합니다.

주요 점검 항목에는 텅스텐 램프, 반사판, 석영 챔버, 열전대 또는 고온계, 웨이퍼 리프트 및 회전 부품, 냉각 시스템, 가스 밸브, 안전 인터록, 컨트롤러, 레시피 및 현재 전원 켜짐 상태가 포함됩니다.

AG Heatpulse 8108 정보 요청

AG Associates Heatpulse 8108 중고 제품의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 웨이퍼 크기, 기판 재질, 목표 어닐링 또는 산화 공정, 필요한 분위기, 배송 국가 및 설치 일정을 알려주시면 더욱 정확한 정보를 제공해 드릴 수 있습니다.

최신 사진, 온도 제어 구성, 챔버 상태, 검사 현황 및 견적을 원하시면 저희에게 연락하십시오.

자주 묻는 질문

Heatpulse 8108은 어떤 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있습니까?

Heatpulse 8108 플랫폼은 최대 200mm의 기판을 지원합니다. 설치된 웨이퍼 홀더는 필요한 직경과 일치해야 합니다.

RTP와 배치형 전기로의 차이점은 무엇입니까?

RTP는 짧은 공정 주기 동안 웨이퍼 하나를 빠르게 가열하는 반면, 기존의 확산로는 일반적으로 더 긴 열 주기 동안 웨이퍼 배치를 가열합니다.

Heatpulse 8108은 어떤 프로세스를 수행할 수 있습니까?

발표된 응용 분야에는 어닐링, 도펀트 활성화, 산화, 제어 확산, 리플로우 및 실리사이드 형성 등이 있습니다.

모든 8108 모델이 동일한 온도 센서를 사용하나요?

아니요. 사용 가능한 시스템은 열전대, 고온계 또는 공정별 감지 구성 방식을 사용할 수 있습니다. 장비를 선택하기 전에 설치된 센서를 확인해야 합니다.