Система AG Associates Heatpulse 8108 RTP
Система AG Associates Heatpulse 8108 — это система быстрой термической обработки отдельных пластин, используемая для коротких, контролируемых высокотемпературных процессов обработки полупроводниковых материалов. В представленном каталоге система предназначена для пластин диаметром 150 мм и 200 мм.
Платформа Heatpulse быстро нагревает пластину с помощью массивов вольфрамовых ламп и контролирует температуру процесса с помощью замкнутого контура на основе термопар или пирометров. Быстрое охлаждение ограничивает общий тепловой бюджет по сравнению с более длительными циклами традиционных печей.
Основные технические характеристики AG Heatpulse 8108
| Производитель | AG Associates |
|---|---|
| Семейство продуктов | Тепловой импульс |
| Модель | 8108 |
| Тип оборудования | Система быстрой термической обработки отдельных пластин |
| Поддерживаемые размеры кремниевых пластин | До 200 мм; в списке доступных вариантов указаны пластины диаметром 150 мм и 200 мм. |
| Способ нагрева | Верхний и нижний массивы вольфрамовых ламп |
| Измерение температуры | Термопара или пирометр, в зависимости от конфигурации установки. |
| Регулировка температуры | Управление температурой технологического процесса с обратной связью |
| Метод охлаждения | Охлаждение теплообменника с холодной стенкой в опубликованной платформе |
| Опубликованные технологические приложения | Отжиг, контролируемая диффузия, окисление, активация и образование силицидов. |
| Технологическая атмосфера | Зависит от установленной газовой панели, камеры и дополнительных опций. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, проверки и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Быстрая термическая обработка отдельных пластин
Опубликована поддержка подложек толщиной до 200 мм.
Быстрый нагрев пластины с помощью вольфрамовой лампы
Регулирование температуры с помощью термопары или пирометра с замкнутым контуром.
Конструкция с холодными стенками для быстрого охлаждения после обработки.
Подходит для исследовательских целей, опытного производства и совместимых производственных процессов.
Типичные области применения
Термостат Heatpulse 8108 может использоваться для отжига после имплантации, активации легирующих примесей, контролируемой диффузии, быстрого термического окисления, образования силицидов или салицидов, оплавления и других кратковременных термических процессов.
Совместимость процесса зависит от материала пластины, кварцевой посуды камеры, датчика температуры, состояния ламп, подачи газа, контроля уровня кислорода и имеющегося набора рецептур. Требуемый процесс следует проверить на соответствие установленной конфигурации оборудования.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Системы Heatpulse 8108 могут отличаться датчиком температуры, газовой панелью, опцией контроля кислорода, держателем пластин, программным обеспечением управления и требованиями к оборудованию. Эти компоненты следует уточнить у имеющегося оборудования перед составлением коммерческого предложения.
Важные точки контроля включают вольфрамовые лампы, отражатели, кварцевую камеру, термопару или пирометр, компоненты механизма подъема и вращения пластин, систему охлаждения, газовые клапаны, блокировки безопасности, контроллер, рецепты и текущее состояние включения питания.
Запросить информацию о AG Heatpulse 8108
Свяжитесь с нашей командой, чтобы узнать о наличии бывших в употреблении терморезисторов AG Associates Heatpulse 8108. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, материал подложки, процесс термической обработки (отжига или окисления), требуемую атмосферу, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить актуальные фотографии, информацию о конфигурации системы контроля температуры, состоянии камеры, статусе проверки и коммерческое предложение.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин может обрабатывать Heatpulse 8108?
Платформа Heatpulse 8108 поддерживает подложки диаметром до 200 мм. Установленный держатель пластины должен соответствовать требуемому диаметру.
В чём разница между печью быстрого приготовления (RTP) и печью периодического действия?
В печи RTP одна пластина нагревается быстро в течение короткого технологического цикла, тогда как в обычной диффузионной печи партия пластин нагревается в течение более длительного термического цикла.
Какие процессы может выполнять Heatpulse 8108?
В числе опубликованных применений — отжиг, активация легирующих примесей, окисление, контролируемая диффузия, оплавление и образование силицидов.
Во всех ли моделях 8108 используется один и тот же датчик температуры?
Нет. В доступных системах могут использоваться термопары, пирометры или датчики, специфичные для конкретного процесса. Перед выбором оборудования следует убедиться в наличии установленного датчика.
