Sebelum Pendedahan
Trek tersebut menyediakan filem rintangan yang stabil dan keadaan wafer yang diperlukan oleh proses pendedahan.
Perdana / HMDSKot TahanPenyingkiran Manik TepiBakar LembutSantai
Peralatan Fabrik Wafer Bahagian Hadapan
Sistem Trek Penyalut/Pembangun Semikonduktor
Layari sistem penyalut/landasan pembangun semikonduktor terpakai untuk salutan fotoresis, pemprosesan bakar dan sejuk, pengendalian antara muka alat pendedahan, pembangunan, pembilasan dan pengeringan. Model, rujukan garisan semasa, foto modul, saiz wafer atau sasaran penyumberan sudah cukup untuk memulakan semakan.
Lapisi dan KembangkanBakar dan SejukkanAntara Muka PendedahanModul dan Alat Ganti
Pemprosesan Jejak Berterusan Sebelum dan Selepas Pendedahan
Trek penyalut/pembangun menyediakan filem rintangan sebelum pendedahan, menukar wafer dengan alat pendedahan dan melengkapkan langkah pembakaran dan pembangunan pasca pendedahan yang mendedahkan corak fotorintangan.
Antara Muka Pendedahan
Stepper, Pengimbas atau Penjajar
Serahan wafer, arah garisan dan keadaan antara muka menghubungkan Trek dengan alat pendedahan.
Selepas terdedah
Trek akan terus diproses supaya imej pendam menjadi corak fotoresis yang boleh digunakan.
Bakar Pasca PendedahanMembangunkanBilasKeringSerah Terima Pemeriksaan
Trek ini merangkumi kedua-dua belah pendedahan. Peranan sebenarnya ditakrifkan oleh laluan wafer, modul yang dipasang dan antara muka dengan garisan litografi—bukannya oleh fungsi salutan putaran tunggal.
Sistem Trek Semikonduktor Terpakai yang Tersedia
Layari platform trek penyalut/pembangun terpakai, peralatan salutan atau pembangunan yang berdiri sendiri dan modul berkaitan apabila tersedia. Saiz wafer, stesen yang dipasang, antara muka alat pendedahan, keadaan yang diketahui dan aksesori yang disertakan disahkan untuk mesin tertentu.
Tidak nampak konfigurasi Trek yang diperlukan?
Penyenaraian semasa telah ditunjukkan di atas, sistem masuk atau yang kurang dikaji semula mungkin masih memasuki pemeriksaan atau penyediaan sebut harga, dan platform yang diperoleh mengikut permintaan akan ditanda selepas anda menghantar model, alat pendedahan, saiz wafer, senarai modul atau foto yang tersedia.
Adakah Sistem Landasan Terpakai Ini Sesuai Dengan Garisan Litografi Sedia Ada Anda?
Sistem Trek terpakai mungkin kelihatan sesuai mengikut model, tetapi masalah boleh muncul pada antara muka alat pendedahan, utiliti fabrikasi, modul proses rintangan atau daya pemprosesan pengeluaran. Sebelum penilaian mesin terperinci, kami membantu menyemak empat risiko praktikal yang mungkin melambatkan pemasangan, memerlukan pengubahsuaian yang tidak dijangka atau mengehadkan talian litografi sedia ada.
| Apa yang Kami Bantu Semak | Apa yang Kami Semak | Masalah Apa Yang Dibantu Ini Elakkan |
|---|---|---|
| Antara Muka Alat Pendedahan Bolehkah ia disambungkan ke alat pendedahan anda? | Kami menyemak stepper, pengimbas atau penjajar semasa, susunan sebaris atau luar talian, kaedah penyerahan wafer, arah mesin dan antara muka mekanikal atau komunikasi. | Elakkan daripada menerima Trek yang tidak boleh menghantar wafer dengan betul ke dan dari alat pendedahan tanpa pengendalian utama atau pengubahsuaian antara muka. |
| Utiliti dan Pemasangan Fab Bolehkah utiliti fab anda menyokongnya? | Kami menyemak jejak mesin, beban elektrik, ekzos, bekalan dan pemulangan bahan kimia, penyejukan, kawalan suhu dan lokasi sambungan utiliti. | Elakkan daripada mendapati selepas penghantaran bahawa mesin memerlukan perubahan kemudahan utama atau sambungan utiliti sedia ada tidak boleh digunakan. |
| Proses Wafer dan Penyalut/Pembangun Adakah ia menyokong proses wafer dan resist anda? | Kami menyemak saiz wafer, keadaan substrat dan modul yang telah dipasang: pengedapan, penyalutan, pembakaran, penyejukan, pembakaran pasca pendedahan, pembangunan, bilas dan pengeringan. | Elakkan membeli sistem yang kekurangan modul yang diperlukan atau tidak dapat menghasilkan semula urutan salutan, pembakaran dan pembangunan yang digunakan oleh produk anda. |
| Daya pemprosesan dan WPH Bolehkah ia bersaing dengan barisan sedia ada? | Kami menyemak daya pemprosesan yang dilaporkan atau dijangkakan, kiraan modul, masa proses, aliran wafer dan keperluan output alat pendedahan sedia ada. | Elakkan mewujudkan kesesakan yang menyebabkan alat pendedahan menunggu dan mengurangkan output praktikal bagi keseluruhan garisan litografi. |
Periksa kesesuaian tali sebelum menyambungkannya ke mesin.
Minta Semakan Line Fit Sedia Ada
Hantarkan model Trek semasa, alat pendedahan, saiz wafer, modul yang dipasang, arah mesin atau foto yang tersedia. Kami akan membantu mengenal pasti risiko penyepaduan utama dan butiran yang masih memerlukan pengesahan.
Kekalkan Aliran Litografi yang Terbukti dalam Pengeluaran
Peralatan Trek terpakai selalunya berharga kerana proses sedia ada, hubungan pendedahan dan jujukan modul telah difahami. Objektifnya biasanya adalah untuk memelihara barisan yang produktif dengan lebih sedikit perubahan yang tidak perlu—bukan sekadar untuk membeli mesin kos terendah.
Gantikan Trek yang Dihentikan
Teruskan menggunakan keluarga platform yang biasa apabila bekalan peralatan baharu telah tamat tetapi aliran litografi yang disahkan masih dalam pengeluaran.
Kembangkan Garisan Litografi Matang
Tambahkan kapasiti dengan platform yang boleh disemak terhadap alat pendedahan semasa, laluan wafer dan konfigurasi modul.
Pulihkan Modul dan Bahagian Kritikal
Sokong sistem lama melalui pengenalpastian modul, pemadanan alat ganti dan perancangan pemulihan apabila penggantian mesin lengkap bukanlah satu-satunya pilihan.
Daripada Persediaan Penghantaran hingga Sokongan Selepas Ketibaan
Persediaan penghantaran, pemeriksaan penerimaan dan sokongan selepas jualan adalah berkaitan, tetapi ia mempunyai tujuan yang berbeza. Mula-mula sahkan apa yang sedang dihantar, kemudian periksa peralatan selepas ketibaan dan hubungi pasukan sokongan apabila keadaan luar biasa, isu modul atau masalah permulaan memerlukan semakan lanjut.
Sahkan Skop Trek dan Modul
- Platform dan Modul yang disertakan
Sahkan model lengkap, arahan peralatan, keadaan yang diketahui dan modul salutan, bakar, sejukkan, bangunkan atau berkaitan yang disertakan dalam pesanan.
- Penyahpasangan, Pembungkusan dan Penghantaran
Jelaskan siapa yang mengendalikan penyahpasangan, pembungkusan eksport, pemuatan, pengangkutan dan penghantaran ke destinasi yang dipersetujui.
- Skop Sokongan Khusus Pesanan
Sahkan tempoh jaminan, dokumentasi, sokongan jarak jauh dan sebarang item servis lain yang dipersetujui untuk mesin tertentu.
Periksa Sebelum Kuasa atau Bahan Kimia
- Pemeriksaan Pembungkusan dan Penghantaran
Rekodkan keadaan pemunggahan dan sahkan platform, modul, butiran siri dan item sokongan yang dipersetujui terhadap senarai penghantaran.
- Laluan Wafer dan Keadaan Modul
Periksa kunci pengangkutan, kawasan pengendalian robot atau wafer, stesen yang dipasang dan titik antara muka sebelum dimulakan.
- Utiliti dan Syarat Permulaan
Sahkan bahan kimia, ekzos, kawalan suhu, kuasa dan keadaan kemudahan lain sebelum menyambungkan mesin.
Jangan sambungkan kuasa, bahan kimia atau utiliti sebelum pemeriksaan penerima selesai.
Bincangkan Soalan Penghantaran
Peralatan trek menggabungkan pengendalian wafer, pemprosesan kimia, modul terma dan antara muka talian pendedahan, jadi kerosakan yang kelihatan, modul yang hilang atau keadaan tidak normal harus direkodkan sebelum permulaan.
Apabila Sistem Landasan Sedia Ada Memerlukan Bantuan Teknikal
Kawasan sokongan ini bukan untuk memilih mesin baharu. Ia adalah untuk sistem Trek sedia ada atau yang dihantar yang mempunyai penggera, kerosakan modul, isu pemasangan, masalah permulaan atau keperluan alat ganti.
Hantar skrin penggera, penerangan kerosakan, keadaan operasi, foto atau video. Pasukan ini boleh membantu menyusun bukti dan menyemak kawasan kerosakan yang mungkin berlaku sebelum langkah pemeriksaan atau pembaikan seterusnya.
Bagi masalah modul penyalut, pembangun, pembakar, penyejukan, robot atau penghantaran bahan kimia, kita boleh membincangkan arahan pemeriksaan, pembaikan atau pemulihan berdasarkan modul yang terjejas dan bukti yang ada.
Berikan model mesin, nama modul, nombor bahagian, label atau foto komponen supaya hubungan platform yang berkaitan dan pilihan alat ganti yang mungkin dapat disemak.
Soalan yang melibatkan kunci pengangkutan, utiliti, sambungan kimia, ekzos, komunikasi modul atau permulaan awal boleh disemak sebelum operasi biasa bermula.
Pembaikan, pemulihan, perkhidmatan di tapak, pentauliahan dan skop jaminan khusus disahkan untuk mesin individu dan sebut harga.
Minta Sokongan Sistem TrekSoalan Lazim Trek Penyalut/Pembangun Semikonduktor
Soalan lazim tentang fungsi Trek, integrasi talian pendedahan, platform terpakai, modul dan alat ganti.
Apakah fungsi sistem Trek penyalut/pembangun semikonduktor?
Ia mengendalikan pemprosesan berkaitan fotoresis sekitar pendedahan, yang mungkin termasuk fungsi priming, coat, penyingkiran tepi-manik, bakar, sejuk, serah terima alat pendedahan, bakar pasca pendedahan, kembangkan, bilas dan keringkan.
Bolehkah Trek terpakai bersambung ke stepper atau pengimbas sedia ada kita?
Mungkin, tetapi nama model sahaja tidak mencukupi. Arah peralatan, laluan wafer, penjanaan perisian, kaedah penyerahan, modul yang dipasang dan keadaan antara muka talian harus dikaji semula.
Apakah perbezaan antara penyalut putar Trek lengkap dan penyalut putar kendiri?
Trek yang lengkap mengintegrasikan pelbagai fungsi pemprosesan rintangan, terma, pengendalian wafer dan antara muka, manakala penyalut kendiri biasanya mengendalikan langkah pemprosesan yang lebih sempit.
Bolehkah anda mendapatkan sumber daripada platform ACT, LITHIUS, SVG, SUSS atau Track yang lebih lama?
Ketersediaan khusus berubah secara berkala. Hantar maklumat pengilang, platform, model lengkap dan rangkaian supaya penyenaraian semasa, sistem masuk dan pilihan penyumberan berasaskan permintaan dapat disemak.
Bolehkah anda membekalkan modul dan alat ganti Trek dan bukannya mesin yang lengkap?
Ya, permintaan modul dan alat ganti boleh disemak mengikut model, nama modul, nombor alat ganti, label atau foto. Ketersediaan bergantung pada platform tertentu dan bekalan semasa.
Maklumat apakah yang paling berguna untuk pertanyaan Trek penggantian?
Model Trek semasa, alat pendedahan, saiz wafer, jujukan modul, arah peralatan, peranan proses dan plat nama atau foto peralatan yang jelas merupakan butiran permulaan yang paling berguna.
Hantar Keperluan Sistem Jejak Anda
Mulakan dengan Trek semasa, alat pendedahan, saiz wafer, senarai modul, papan nama, foto peralatan atau objektif penyumberan. Kami boleh membantu mengatur permintaan dan menyemak hala tuju peralatan praktikal, modul atau alat ganti seterusnya.