露出前
この工程では、安定したレジスト膜と露光工程に必要なウェーハの状態を準備します。
プライム / HMDSレジストコートエッジビード除去ソフトベイクチル
フロントエンドウェハ製造装置
半導体コーティング／現像装置用トラックシステム
フォトレジスト塗布、ベーク＆チル処理、露光装置インターフェースハンドリング、現像、リンス、乾燥など、半導体製造装置の中古コーター／現像トラックシステムを検索できます。モデル名、現行製品ライン番号、モジュール写真、ウェハサイズ、または調達先情報があれば、検索を開始できます。
コーティングと現像焼いて冷やす露出インターフェースモジュールおよびスペアパーツ
トラック処理は露光前と露光後も継続されます
コーティング／現像工程では、露光前にレジスト膜を準備し、露光装置とウェハを交換し、露光後のベークおよび現像工程を完了させてフォトレジストパターンを浮かび上がらせる。
曝露後
トラックは処理を継続し、潜在画像を使用可能なフォトレジストパターンに変換する。
露光後焼成開発するリンスドライ検査結果の引き渡し
このトラックは露出面の両側にまたがっている。 その真の役割は、単一のスピンコート機能ではなく、ウェハパス、設置されたモジュール、およびリソグラフィラインとのインターフェースによって定義される。
入手可能な中古半導体配線システム
中古のコーティング装置／現像装置を閲覧する。プラットフォーム、スタンドアロンのコーティング装置または現像装置、および関連モジュール（入手可能な場合）を追跡できます。ウェハサイズ、設置ステーション、露光装置インターフェース、既知の状態、および付属アクセサリーは、特定の装置について確認済みです。
必要なトラック構成が表示されませんか？
現在の掲載状況 既に上記に示されていますが、 受信中または審査中のシステム 検査や見積もり準備の段階に入っている可能性があり、 リクエストに応じて調達するプラットフォーム モデル、露光装置、ウェハサイズ、モジュールリスト、または利用可能な写真を送信した後、チェックが行われます。
この中古トラックシステムは、貴社の既存のリソグラフィーラインに適合しますか？
中古のトラックシステムは、モデル上は適切に見えるかもしれませんが、露光装置とのインターフェース、製造設備、レジスト処理モジュール、または生産スループットに問題が発生する可能性があります。詳細な装置評価を行う前に、設置の遅延、予期せぬ変更の必要性、または既存のリソグラフィラインの制限につながる可能性のある4つの実際的なリスクについて検討するお手伝いをいたします。
| 私たちがチェックする内容 | 私たちがレビューするもの | これはどのような問題を回避するのに役立ちますか？ |
|---|---|---|
| 露出ツールインターフェース 露出測定ツールに接続できますか？ | 本稿では、現在のステッパー、スキャナまたはアライナー、インラインまたはオフラインの配置、ウェハの受け渡し方法、機械の方向、および機械的または通信インターフェースについて検討する。 | 大幅な取り扱い変更やインターフェースの変更なしに、露光装置との間でウェハーを正しく受け渡せないトラックを受け取ることは避けてください。 |
| ファブユーティリティとインストール 貴社の製造設備はそれに対応できますか？ | 機械の設置面積、電気負荷、排気、薬品の供給と回収、冷却、温度制御、およびユーティリティ接続の位置を検証します。 | 納品後に、機械に大規模な設備変更が必要だったり、既存のユーティリティ接続が使用できないことが判明したりする事態を避ける。 |
| ウェーハおよびコーティング/現像プロセス お使いのウェハーおよびレジストプロセスに対応していますか？ | ウェハサイズ、基板の状態、および設置されているプライミング、コーティング、ベーク、冷却、露光後ベーク、現像、リンス、乾燥モジュールを確認します。 | 必要なモジュールが欠けているシステムや、製品で使用されているコーティング、焼成、現像の工程を再現できないシステムは購入しないようにしてください。 |
| スループットとWPH 既存の生産ラインに追いつけるだろうか？ | 既存の露光装置の報告されている、または予想されるスループット、モジュール数、処理時間、ウェーハフロー、および出力要件をレビューします。 | 露光装置を待機させ、リソグラフィライン全体の実際の生産量を低下させるようなボトルネックの発生を避ける。 |
機械を導入する前に、配管の適合性を確認してください。
既存ライン適合性レビューを依頼する
現在お使いのトラックモデル、露光装置、ウェハサイズ、搭載モジュール、装置の方向、または入手可能な写真をお送りください。主要な統合リスクと、まだ検証が必要な詳細事項を特定するお手伝いをいたします。
実績のあるリソグラフィ工程を生産に維持する
中古のトラック設備は、既存のプロセス、露出関係、モジュール順序が既に把握されているため、多くの場合価値があります。その目的は、単に最も安価な機械を購入することではなく、不必要な変更を最小限に抑え、生産ラインを維持することにあるのが一般的です。
廃止されたトラックを交換する
新規装置の供給が終了した場合でも、検証済みのリソグラフィ工程が引き続き稼働している場合は、使い慣れたプラットフォームファミリーを引き続き使用してください。
成熟したリソグラフィーラインを拡張する
現在の露光装置、ウェハパス、モジュール構成と照合して検証可能なプラットフォームによって、処理能力を拡張します。
モジュールと重要部品を復旧する
モジュール識別、スペアパーツのマッチング、および復旧計画を通じて、旧型システムをサポートします。これは、機械全体の交換が唯一の選択肢ではない場合に有効です。
出荷準備から到着後のサポートまで
納品準備、受領検査、アフターサービスは関連していますが、それぞれ異なる目的を持っています。まず納品物を確認し、到着後に機器を検査します。異常な状態、モジュールの問題、起動時の問題などが発生した場合は、サポートチームに連絡して詳細な調査を依頼してください。
トラックとモジュールの範囲を確認する
- プラットフォームおよび含まれるモジュール
注文に含まれる完全なモデル、機器の向き、既知の状態、およびコーティング、ベーキング、冷却、現像、または関連モジュールを確認してください。
- 取り外し、梱包、発送
取り外し、輸出梱包、積み込み、輸送、および合意された目的地への配送を誰が担当するのかを明確にしてください。
- 注文固有のサポート範囲
対象機種の保証期間、取扱説明書、リモートサポート、その他合意済みのサービス項目を確認してください。
電源や薬品を使用する前に点検してください。
- 梱包および配送状況の確認
荷降ろし状況を記録し、プラットフォーム、モジュール、シリアル番号の詳細、および合意済みのサポート品目を納品リストと照合して確認する。
- ウェハパスとモジュールの状態
起動前に、搬送ロック、ロボットまたはウェハー搬送エリア、設置済みのステーション、およびインターフェースポイントを確認してください。
- ユーティリティと起動条件
機械を接続する前に、薬品、排気、温度制御、電源、その他の設備状況を確認してください。
受領確認が完了するまで、電源、薬品、その他の公共設備を接続しないでください。
配送に関するご質問について話し合う
トラック装置は、ウェハハンドリング、化学処理、熱処理モジュール、露光ラインインターフェースを統合しているため、起動前に目に見える損傷、モジュールの欠落、または異常な状態を記録しておく必要があります。
既存の軌道システムに技術的な支援が必要な場合
このサポートエリアは、新しい機械の選定に関するものではありません。アラーム、モジュールの不具合、設置上の問題、起動時の問題、またはスペアパーツの必要性など、既存または納入済みのトラックシステムに関するサポートです。
アラーム画面、故障内容、動作状況、写真または動画をお送りください。担当チームが証拠の整理をお手伝いし、次の点検または修理の前に故障箇所を特定いたします。
コーティング装置、現像装置、焼成装置、冷却装置、ロボット、または薬品供給モジュールに問題が発生した場合、影響を受けたモジュールと入手可能な証拠に基づいて、検査、修理、または復旧の方向性についてご相談いただけます。
関連するプラットフォームとの関連性や、入手可能なスペアパーツの選択肢を確認するため、機械のモデル、モジュール名、部品番号、ラベル、または部品の写真をご提供ください。
輸送用ロック、ユーティリティ、化学接続、排気、モジュール間通信、または初期起動に関する問題は、通常の運転開始前に確認することができます。
個々の機械および見積もりごとに、具体的な修理、修復、オンサイトサービス、試運転、および保証範囲が確認されます。
リクエストトラックシステムサポート半導体コーティング/現像トラックに関するよくある質問
トラック機能、露光ライン統合、使用プラットフォーム、モジュール、スペアパーツに関するよくある質問。
半導体コーティング／現像トラックシステムはどのような働きをしますか？
露光前後のフォトレジスト関連の処理を担い、プライミング、コーティング、エッジビード除去、ベーク、冷却、露光装置への受け渡し、露光後ベーク、現像、リンス、乾燥などの機能が含まれる場合があります。
中古のトラックを既存のステッピングモーターやスキャナーに接続することはできますか？
可能性はありますが、モデル名だけでは不十分です。装置の方向、ウェハパス、ソフトウェア生成、ハンドオフ方法、搭載モジュール、およびラインインターフェースの状態を確認する必要があります。
完全なトラック型スピンコーターとスタンドアロン型スピンコーターの違いは何ですか？
完全なトラックは、レジスト処理、熱処理、ウェハハンドリング、インターフェースなど、複数の機能を統合しているのに対し、スタンドアロンのコーターは通常、より狭い範囲の処理工程を処理する。
ACT、LITHIUS、SVG、SUSS、またはその他のトラックプラットフォームの旧バージョンを入手することは可能ですか？
具体的な在庫状況は定期的に変更されます。メーカー、プラットフォーム、モデル、製品ラインの詳細情報をお送りいただければ、最新の在庫状況、入荷予定システム、およびご要望に応じた調達オプションを確認いたします。
完成品ではなく、トラックモジュールとスペアパーツのみを供給することは可能ですか？
はい、モジュールおよびスペアパーツのリクエストは、モデル、モジュール名、部品番号、ラベル、または写真で確認できます。在庫状況は、特定のプラットフォームと現在の供給状況によって異なります。
交換部品の追跡に関する問い合わせで最も役立つ情報は何ですか？
現在のトラックモデル、露光装置、ウェハサイズ、モジュールシーケンス、装置の方向、プロセスにおける役割、そして明確な銘板または装置の写真が、最も有用な出発点となる詳細情報です。
トラックシステムの要件を送信してください
現在のトラック、露光装置、ウェハサイズ、モジュールリスト、銘板、装置の写真、または調達目標から始めましょう。ご要望を整理し、次に必要な装置、モジュール、またはスペアパーツの方向性を検討するお手伝いをいたします。