Esposizione precedente
Il percorso prepara una pellicola di resist stabile e le condizioni del wafer richieste dal processo di esposizione.
Prime / HMDSRivestimento resistenteRimozione del bordoCottura morbidaFreddo
Apparecchiature per la fabbricazione di wafer front-end
Sistemi di binari per la deposizione e lo sviluppo di semiconduttori
Esplora i sistemi di rivestimento/sviluppo per semiconduttori usati, adatti per il rivestimento con fotoresist, la cottura e il raffreddamento, la gestione dell'interfaccia tra strumento ed esposizione, lo sviluppo, il risciacquo e l'asciugatura. Per iniziare la ricerca, sono sufficienti un modello, un riferimento di linea attuale, una foto del modulo, le dimensioni del wafer o l'obiettivo di approvvigionamento.
Rivestire e sviluppareCuocere in forno e raffreddareInterfaccia di esposizioneModuli e pezzi di ricambio
L'elaborazione delle tracce continua prima e dopo l'esposizione
Un sistema di rivestimento/sviluppo prepara la pellicola di fotoresist prima dell'esposizione, scambia i wafer con lo strumento di esposizione e completa le fasi di cottura e sviluppo post-esposizione che rivelano il motivo del fotoresist.
Interfaccia di esposizione
Stepper, scanner o allineatore
Il passaggio dei wafer, la direzione della linea e le condizioni di interfaccia collegano la pista con lo strumento di esposizione.
Dopo l'esposizione
Il processo di tracciamento continua in modo che l'immagine latente diventi un modello di fotoresist utilizzabile.
Cottura post-esposizioneSviluppareRisciacquoAsciuttoConsegna dell'ispezione
La traccia si estende su entrambi i lati dell'esposizione. Il suo ruolo reale è definito dal percorso del wafer, dai moduli installati e dall'interfaccia con la linea di litografia, non da una singola funzione di spin-coating.
Sistemi di binari per semiconduttori usati disponibili
Esplora piattaforme di rivestimento/sviluppo usate, apparecchiature di rivestimento o sviluppo autonome e moduli correlati, ove disponibili. Dimensioni del wafer, stazioni installate, interfaccia con lo strumento di esposizione, condizioni note e accessori inclusi sono confermati per la specifica macchina.
Non visualizzi la configurazione della pista desiderata?
Annunci attuali sono già mostrati sopra, sistemi in entrata o in fase di revisione potrebbe essere ancora in fase di ispezione o di preparazione del preventivo e piattaforme di approvvigionamento su richiesta Vengono controllati dopo l'invio del modello, dello strumento di esposizione, delle dimensioni del wafer, dell'elenco dei moduli o delle foto disponibili.
Questo sistema di binari usato è compatibile con la vostra linea di litografia esistente?
Un sistema Track usato può sembrare idoneo in base al modello, ma possono insorgere problemi all'interfaccia tra l'apparecchiatura di esposizione e quella di stampa, alle utenze di fabbrica, ai moduli per il processo di resist o alla produttività. Prima di una valutazione dettagliata della macchina, vi aiutiamo a esaminare quattro rischi pratici che potrebbero ritardare l'installazione, richiedere modifiche impreviste o limitare la linea di litografia esistente.
| Cosa ti aiutiamo a verificare | Cosa recensiamo | Quale problema aiuta a evitare? |
|---|---|---|
| Interfaccia strumento di esposizione Può connettersi al tuo strumento di gestione dell'esposizione? | Analizziamo lo stepper, lo scanner o l'allineatore attualmente in uso, la configurazione in linea o offline, il metodo di trasferimento dei wafer, la direzione di rotazione della macchina e l'interfaccia meccanica o di comunicazione. | Evitate di ricevere un sistema di trasporto che non sia in grado di trasferire correttamente i wafer da e verso lo strumento di esposizione senza modifiche sostanziali all'interfaccia o alla manipolazione. |
| Impianti e installazione Fab Le vostre infrastrutture di produzione sono in grado di supportarlo? | Analizziamo l'ingombro della macchina, il carico elettrico, lo scarico, l'alimentazione e il ritorno dei prodotti chimici, il raffreddamento, il controllo della temperatura e l'ubicazione degli allacciamenti alle utenze. | Evitate di scoprire dopo la consegna che la macchina necessita di importanti modifiche strutturali o che gli allacciamenti alle utenze esistenti non possono essere utilizzati. |
| Processo di rivestimento/sviluppo dei wafer Supporta il tuo processo di lavorazione dei wafer e di applicazione del resist? | Analizziamo le dimensioni del wafer, le condizioni del substrato e i moduli installati per le fasi di primer, rivestimento, cottura, raffreddamento, cottura post-esposizione, sviluppo, risciacquo e asciugatura. | Evitate di acquistare un sistema privo dei moduli necessari o incapace di riprodurre la sequenza di rivestimento, cottura e sviluppo utilizzata per i vostri prodotti. |
| Velocità di trasmissione e WPH Riuscirà a tenere il passo con la linea attuale? | Analizziamo la produttività dichiarata o prevista, il numero di moduli, il tempo di processo, il flusso dei wafer e i requisiti di output dello strumento di esposizione esistente. | Evitate di creare un collo di bottiglia che costringa l'utensile di esposizione ad attendere e riduca la produttività effettiva dell'intera linea di litografia. |
Prima di acquistare una macchina, verificate la compatibilità del tubo.
Richiedi una revisione della vestibilità di una linea esistente
Inviaci il modello attuale di Track, lo strumento di esposizione, le dimensioni del wafer, i moduli installati, la direzione della macchina o delle foto disponibili. Ti aiuteremo a identificare i principali rischi di integrazione e i dettagli che necessitano ancora di verifica.
Mantieni un flusso di litografia collaudato in produzione
Le attrezzature per binari usate sono spesso preziose perché il processo esistente, il rapporto di esposizione e la sequenza dei moduli sono già noti. L'obiettivo è solitamente quello di preservare una linea produttiva riducendo al minimo le modifiche non necessarie, non semplicemente di acquistare la macchina più economica.
Sostituire un binario fuori produzione
Continuare a utilizzare una famiglia di piattaforme consolidate anche quando la fornitura di nuove apparecchiature è terminata, ma il flusso di litografia validato rimane in produzione.
Espandere una linea di litografia consolidata
Aumenta la capacità con una piattaforma che può essere verificata rispetto allo strumento di esposizione corrente, al percorso del wafer e alla configurazione del modulo.
Recupera moduli e componenti critici
Fornire supporto ai sistemi meno recenti attraverso l'identificazione dei moduli, la compatibilità dei pezzi di ricambio e la pianificazione del ripristino, quando la sostituzione completa della macchina non è l'unica opzione.
Dalla preparazione della spedizione all'assistenza post-arrivo
La preparazione della consegna, l'ispezione al ricevimento e l'assistenza post-vendita sono fasi correlate, ma con scopi diversi. Innanzitutto, si verifica la merce in consegna, poi si ispeziona l'apparecchiatura all'arrivo e, in caso di anomalie, problemi ai moduli o difficoltà di avvio che richiedano ulteriori verifiche, si contatta il team di assistenza.
Confermare l'ambito del percorso e del modulo.
- Piattaforma e moduli inclusi
Confermare il modello completo, la direzione dell'apparecchiatura, le condizioni note e i moduli di rivestimento, cottura, raffreddamento, sviluppo o correlati inclusi nell'ordine.
- Disinstallazione, imballaggio e spedizione
Definire chiaramente chi si occupa dello smontaggio, dell'imballaggio per l'esportazione, del carico, del trasporto e della consegna alla destinazione concordata.
- Ambito di supporto specifico per l'ordine
Confermare il periodo di garanzia, la documentazione, l'assistenza remota e qualsiasi altro servizio concordato per la specifica macchina.
Ispezionare prima dell'alimentazione elettrica o dei prodotti chimici
- Controllo dell'imballaggio e della consegna
Registrare le condizioni di scarico e verificare la piattaforma, i moduli, i dettagli seriali e gli articoli di supporto concordati rispetto alla lista di consegna.
- Condizioni del percorso del wafer e del modulo
Prima dell'avvio, verificare i blocchi di trasporto, le aree di movimentazione dei robot o dei wafer, le stazioni installate e i punti di interfaccia.
- Servizi e condizioni di avviamento
Prima di collegare la macchina, verificare la presenza di prodotti chimici, il sistema di aspirazione, il controllo della temperatura, l'alimentazione elettrica e le altre condizioni dell'impianto.
Non collegare l'alimentazione elettrica, i prodotti chimici o le utenze prima che i controlli di ricezione siano completati.
Discuti le domande relative alla consegna
Le apparecchiature di tracciamento combinano la movimentazione dei wafer, i processi chimici, i moduli termici e le interfacce della linea di esposizione, pertanto è necessario registrare eventuali danni visibili, moduli mancanti o condizioni anomale prima dell'avvio.
Quando un sistema di binari esistente necessita di assistenza tecnica
Quest'area di supporto non è destinata alla scelta di una nuova macchina. È pensata per sistemi di binari esistenti o già consegnati che presentano allarmi, guasti ai moduli, problemi di installazione, problemi di avviamento o necessità di pezzi di ricambio.
Invia la schermata di allarme, la descrizione del guasto, le condizioni operative, foto o video. Il team potrà aiutarti a organizzare le prove e ad analizzare la probabile area del guasto prima della successiva ispezione o riparazione.
Per problemi relativi a moduli di rivestimento, sviluppo, cottura, raffreddamento, robot o erogazione di prodotti chimici, possiamo discutere le modalità di ispezione, riparazione o recupero in base al modulo interessato e alle prove disponibili.
Fornisci il modello della macchina, il nome del modulo, il codice del componente, l'etichetta o una foto del componente in modo da poter verificare la compatibilità con la piattaforma e le possibili opzioni di ricambi.
Prima dell'inizio del normale funzionamento, è possibile esaminare eventuali quesiti relativi a blocchi di trasporto, utenze, collegamenti chimici, scarico, comunicazione tra moduli o avvio iniziale.
Le specifiche relative a riparazione, restauro, assistenza in loco, messa in servizio e garanzia vengono confermate per ogni singola macchina e per ogni preventivo.
Richiesta di supporto per il sistema di tracciamentoDomande frequenti sul percorso di sviluppo e rivestimento dei semiconduttori
Domande frequenti sulle funzioni Track, l'integrazione con le linee di esposizione, le piattaforme utilizzate, i moduli e i pezzi di ricambio.
Che cosa fa un sistema a binario per la deposizione e lo sviluppo di semiconduttori?
Gestisce le fasi di elaborazione del fotoresist relative all'esposizione, che possono includere le funzioni di primer, rivestimento, rimozione del bordo, cottura, raffreddamento, consegna dello strumento di esposizione, cottura post-esposizione, sviluppo, risciacquo e asciugatura.
È possibile collegare un Track usato al nostro stepper o scanner esistente?
Forse, ma il solo nome del modello non basta. Occorre esaminare la direzione dell'apparecchiatura, il percorso del wafer, la generazione del software, il metodo di trasferimento, i moduli installati e le condizioni dell'interfaccia di linea.
Qual è la differenza tra un sistema Track completo e un sistema di rivestimento a centrifuga autonomo?
Un sistema completo Track integra molteplici funzioni di elaborazione del resist, termiche, di movimentazione dei wafer e di interfaccia, mentre un sistema di rivestimento autonomo gestisce in genere una fase di processo più specifica.
Riuscite a reperire versioni precedenti di ACT, LITHIUS, SVG, SUSS o altre piattaforme Track?
La disponibilità specifica varia regolarmente. Inviateci il produttore, la piattaforma, il modello completo e le informazioni sulla linea in modo che possiamo esaminare gli elenchi aggiornati, i sistemi in arrivo e le opzioni di approvvigionamento in base alle vostre richieste.
È possibile fornire moduli di binari e pezzi di ricambio anziché una macchina completa?
Sì, le richieste di moduli e pezzi di ricambio possono essere verificate per modello, nome del modulo, codice articolo, etichetta o foto. La disponibilità dipende dalla piattaforma specifica e dalle scorte attuali.
Quali informazioni sono più utili per una richiesta di sostituzione di una traccia?
Le informazioni di partenza più utili sono il modello di tracciamento attuale, lo strumento di esposizione, le dimensioni del wafer, la sequenza dei moduli, la direzione dell'apparecchiatura, il ruolo nel processo e foto chiare della targhetta o dell'apparecchiatura.
Invia i requisiti del tuo sistema di tracciamento
Partiamo dal percorso attuale, dallo strumento di esposizione, dalle dimensioni del wafer, dall'elenco dei moduli, dalla targhetta, dalla foto dell'apparecchiatura o dall'obiettivo di approvvigionamento. Possiamo aiutarvi a organizzare la richiesta e a valutare la prossima direzione pratica per apparecchiature, moduli o pezzi di ricambio.