ก่อนการสัมผัส
กระบวนการนี้จะเตรียมฟิล์มต้านทานที่มีความเสถียรและสภาวะของเวเฟอร์ที่จำเป็นสำหรับกระบวนการฉายแสง
ค้นหาระบบเคลือบ/พัฒนาฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์มือสองสำหรับการเคลือบโฟโตเรซิสต์ กระบวนการอบและทำให้เย็น การจัดการส่วนต่อประสานระหว่างอุปกรณ์ฉายแสง การพัฒนา การล้าง และการอบแห้ง เพียงแค่ระบุรุ่น ข้อมูลอ้างอิงรุ่นปัจจุบัน รูปภาพโมดูล ขนาดเวเฟอร์ หรือเป้าหมายการผลิต ก็สามารถเริ่มต้นการตรวจสอบได้แล้ว
กระบวนการเคลือบ/พัฒนาฟิล์มจะเตรียมฟิล์มต้านทานแสงก่อนการฉายแสง เปลี่ยนแผ่นเวเฟอร์กับเครื่องฉายแสง และดำเนินการขั้นตอนการอบและการพัฒนาหลังการฉายแสงเพื่อเผยให้เห็นลวดลายของฟิล์มต้านทานแสง
กระบวนการนี้จะเตรียมฟิล์มต้านทานที่มีความเสถียรและสภาวะของเวเฟอร์ที่จำเป็นสำหรับกระบวนการฉายแสง
การส่งต่อเวเฟอร์ ทิศทางของเส้น และเงื่อนไขของอินเทอร์เฟซจะเชื่อมต่อแทร็กกับเครื่องมือฉายแสง
กระบวนการนี้จะดำเนินต่อไปจนกระทั่งภาพแฝงกลายเป็นลวดลายโฟโตเรซิสต์ที่สามารถใช้งานได้
เส้นทางนี้ครอบคลุมทั้งสองด้านของการเปิดเผยข้อมูล บทบาทที่แท้จริงของมันถูกกำหนดโดยเส้นทางของเวเฟอร์ โมดูลที่ติดตั้ง และการเชื่อมต่อกับสายการผลิตลิโทกราฟี ไม่ใช่โดยฟังก์ชันการเคลือบแบบหมุนเพียงอย่างเดียว
เลือกดูแพลตฟอร์มเคลือบ/ล้างฟิล์มแบบตั้งโต๊ะ อุปกรณ์เคลือบหรือล้างฟิล์มแบบแยกส่วน และโมดูลที่เกี่ยวข้อง (ถ้ามี) ขนาดของเวเฟอร์ สถานีที่ติดตั้ง อินเทอร์เฟซเครื่องมือฉายแสง สภาพการใช้งาน และอุปกรณ์เสริมที่รวมอยู่ จะได้รับการตรวจสอบสำหรับเครื่องนั้นๆ โดยเฉพาะ
รายการปัจจุบัน ได้แสดงไว้ข้างต้นแล้ว ระบบขาเข้าหรืออยู่ระหว่างการตรวจสอบ อาจยังอยู่ในขั้นตอนการตรวจสอบหรือการจัดทำใบเสนอราคา และ แพลตฟอร์มที่จัดหาตามคำขอ ระบบจะตรวจสอบข้อมูลหลังจากที่คุณส่งแบบจำลอง เครื่องมือวัดแสง ขนาดเวเฟอร์ รายการโมดูล หรือรูปภาพที่มีอยู่แล้ว
ระบบ Track มือสองอาจดูเหมาะสมตามรุ่น แต่ปัญหาอาจเกิดขึ้นได้ที่ส่วนเชื่อมต่อระหว่างอุปกรณ์ฉายแสงกับชิ้นงาน ระบบสาธารณูปโภคในโรงงาน โมดูลกระบวนการสร้างสารต้านทาน หรือปริมาณงานผลิต ก่อนการประเมินเครื่องจักรอย่างละเอียด เราจะช่วยตรวจสอบความเสี่ยงเชิงปฏิบัติสี่ประการที่อาจทำให้การติดตั้งล่าช้า ต้องมีการดัดแปลงที่ไม่คาดคิด หรือจำกัดสายการผลิตลิโทกราฟีที่มีอยู่
| สิ่งที่เราช่วยตรวจสอบ | สิ่งที่เราตรวจสอบ | วิธีนี้ช่วยหลีกเลี่ยงปัญหาอะไรได้บ้าง |
|---|---|---|
| อินเทอร์เฟซเครื่องมือการเปิดรับแสง สามารถเชื่อมต่อกับเครื่องมือวัดแสงของคุณได้หรือไม่? | เราจะตรวจสอบระบบสเต็ปเปอร์ สแกนเนอร์ หรือตัวจัดตำแหน่งในปัจจุบัน ไม่ว่าจะเป็นการจัดเรียงแบบอินไลน์หรือออฟไลน์ วิธีการส่งต่อเวเฟอร์ ทิศทางการทำงานของเครื่องจักร และอินเทอร์เฟซเชิงกลหรือการสื่อสาร | หลีกเลี่ยงการรับแทร็กที่ไม่สามารถส่งผ่านเวเฟอร์ไปยังและจากเครื่องฉายแสงได้อย่างถูกต้องโดยไม่ต้องมีการจัดการหรือดัดแปลงอินเทอร์เฟซอย่างมาก |
| แฟบ ยูทิลิตี้ แอนด์ อินสตรักชั่น ระบบสาธารณูปโภคในโรงงานของคุณรองรับได้หรือไม่? | เราตรวจสอบขนาดเครื่องจักร ปริมาณการใช้ไฟฟ้า ระบบไอเสีย ระบบจ่ายและส่งคืนสารเคมี ระบบระบายความร้อน การควบคุมอุณหภูมิ และตำแหน่งการเชื่อมต่อระบบสาธารณูปโภค | หลีกเลี่ยงการพบหลังจากส่งมอบเครื่องจักรแล้วว่าเครื่องจักรนั้นต้องการการปรับปรุงครั้งใหญ่ หรือไม่สามารถใช้ระบบสาธารณูปโภคที่มีอยู่ได้ |
| กระบวนการเวเฟอร์และเครื่องเคลือบ/เครื่องพัฒนาภาพ มันรองรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์และสารเคลือบของคุณหรือไม่? | เราตรวจสอบขนาดเวเฟอร์ สภาพของพื้นผิว และโมดูลที่ติดตั้งสำหรับการเตรียมพื้นผิว การเคลือบ การอบ การทำให้เย็น การอบหลังการฉายแสง การล้าง และการอบแห้ง | ควรหลีกเลี่ยงการซื้อระบบที่ขาดโมดูลที่จำเป็น หรือไม่สามารถจำลองลำดับการเคลือบ การอบ และการล้างฟิล์มที่ใช้กับผลิตภัณฑ์ของคุณได้ |
| อัตราการผลิตและ WPH มันจะสามารถตามทันสายการผลิตที่มีอยู่ได้หรือไม่? | เราตรวจสอบอัตราการผลิตที่รายงานหรือคาดการณ์ไว้ จำนวนโมดูล เวลาในการดำเนินการ อัตราการไหลของเวเฟอร์ และข้อกำหนดด้านผลลัพธ์ของเครื่องมือฉายแสงที่มีอยู่ | หลีกเลี่ยงการสร้างปัญหาคอขวดที่ทำให้เครื่องมือฉายแสงต้องรอ และลดผลผลิตโดยรวมของสายการผลิตลิโทกราฟีทั้งหมด |
โปรดส่งข้อมูลโมเดลแทร็กปัจจุบัน เครื่องมือการฉายแสง ขนาดเวเฟอร์ โมดูลที่ติดตั้ง ทิศทางการทำงานของเครื่องจักร หรือรูปภาพที่มีอยู่ เราจะช่วยระบุความเสี่ยงหลักในการประกอบและรายละเอียดที่ยังต้องตรวจสอบเพิ่มเติม
อุปกรณ์เครื่องจักรแบบรางเลื่อนมือสองมักมีมูลค่าสูง เนื่องจากกระบวนการทำงาน ความสัมพันธ์ระหว่างการเปิดรับแสง และลำดับของโมดูลที่มีอยู่แล้วนั้นเป็นที่เข้าใจกันดี โดยปกติแล้วเป้าหมายคือการรักษาสายการผลิตให้มีประสิทธิภาพโดยมีการเปลี่ยนแปลงที่ไม่จำเป็นให้น้อยที่สุด ไม่ใช่แค่การซื้อเครื่องจักรที่ราคาถูกที่สุด
ควรใช้แพลตฟอร์มตระกูลเดิมที่คุ้นเคยต่อไปเมื่อการจัดหาอุปกรณ์ใหม่สิ้นสุดลง แต่กระบวนการพิมพ์หินที่ได้รับการตรวจสอบแล้วยังคงใช้งานอยู่
เพิ่มขีดความสามารถด้วยแพลตฟอร์มที่สามารถตรวจสอบเทียบกับเครื่องมือการฉายแสง เส้นทางเวเฟอร์ และการกำหนดค่าโมดูลในปัจจุบันได้
ให้การสนับสนุนระบบรุ่นเก่าผ่านการระบุโมดูล การจับคู่ชิ้นส่วนอะไหล่ และการวางแผนการซ่อมแซม เมื่อการเปลี่ยนเครื่องทั้งเครื่องไม่ใช่ทางเลือกเดียว
การเตรียมการจัดส่ง การตรวจสอบการรับสินค้า และการสนับสนุนหลังการขายมีความเกี่ยวข้องกัน แต่มีวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกัน ขั้นแรกคือการตรวจสอบสิ่งที่จะจัดส่ง จากนั้นตรวจสอบอุปกรณ์เมื่อมาถึง และติดต่อทีมสนับสนุนเมื่อพบความผิดปกติ ปัญหาของโมดูล หรือปัญหาในการเริ่มต้นใช้งานที่ต้องการการตรวจสอบเพิ่มเติม
ยืนยันรุ่นที่สมบูรณ์ ทิศทางของอุปกรณ์ สภาพที่ทราบ และโมดูลการเคลือบ การอบ การแช่เย็น การล้างฟิล์ม หรือโมดูลที่เกี่ยวข้องอื่นๆ ที่รวมอยู่ในคำสั่งซื้อ
ระบุให้ชัดเจนว่าใครเป็นผู้รับผิดชอบการถอดถอน การบรรจุเพื่อส่งออก การขนถ่าย การขนส่ง และการจัดส่งไปยังปลายทางที่ตกลงกันไว้
ตรวจสอบระยะเวลาการรับประกัน เอกสารประกอบ การสนับสนุนระยะไกล และรายการบริการอื่นๆ ที่ตกลงกันไว้สำหรับเครื่องนั้นๆ
บันทึกสภาพการขนถ่ายและตรวจสอบแท่นวาง โมดูล รายละเอียดหมายเลขซีเรียล และรายการสนับสนุนที่ตกลงกันไว้เทียบกับรายการส่งมอบ
ตรวจสอบระบบล็อคการขนส่ง พื้นที่สำหรับหุ่นยนต์หรือการจัดการแผ่นเวเฟอร์ สถานีที่ติดตั้ง และจุดเชื่อมต่อต่างๆ ก่อนเริ่มการทำงาน
ตรวจสอบสารเคมี ระบบไอเสีย การควบคุมอุณหภูมิ กระแสไฟฟ้า และสภาพอื่นๆ ของสถานที่ก่อนเชื่อมต่อเครื่องจักร
อุปกรณ์ในสายการผลิตประกอบด้วยการจัดการเวเฟอร์ การประมวลผลทางเคมี โมดูลความร้อน และส่วนเชื่อมต่อสายการฉายแสง ดังนั้นความเสียหายที่มองเห็นได้ โมดูลที่หายไป หรือสภาวะผิดปกติใด ๆ ควรได้รับการบันทึกไว้ก่อนเริ่มการทำงาน
พื้นที่ให้ความช่วยเหลือนี้ไม่ได้มีไว้สำหรับเลือกซื้อเครื่องจักรใหม่ แต่มีไว้สำหรับระบบรางที่มีอยู่แล้วหรือที่จัดส่งไปแล้ว ซึ่งมีปัญหาเกี่ยวกับสัญญาณเตือน ความผิดพลาดของโมดูล ปัญหาการติดตั้ง ปัญหาการเริ่มต้นใช้งาน หรือความต้องการอะไหล่
โปรดส่งภาพหน้าจอสัญญาณเตือน คำอธิบายข้อผิดพลาด สภาพการใช้งาน รูปภาพ หรือวิดีโอ ทีมงานจะช่วยจัดระเบียบหลักฐานและตรวจสอบพื้นที่ที่น่าจะเป็นจุดบกพร่องก่อนขั้นตอนการตรวจสอบหรือซ่อมแซมครั้งต่อไป
สำหรับปัญหาเกี่ยวกับโมดูลเคลือบผิว โมดูลพัฒนาภาพ โมดูลอบ โมดูลทำความเย็น หุ่นยนต์ หรือโมดูลส่งสารเคมี เราสามารถหารือเกี่ยวกับแนวทางการตรวจสอบ ซ่อมแซม หรือแก้ไขปัญหา โดยพิจารณาจากโมดูลที่ได้รับผลกระทบและหลักฐานที่มีอยู่
โปรดระบุรุ่นเครื่อง ชื่อโมดูล หมายเลขชิ้นส่วน ฉลาก หรือรูปภาพของชิ้นส่วน เพื่อให้สามารถตรวจสอบความสัมพันธ์กับแพลตฟอร์มที่เกี่ยวข้องและตัวเลือกอะไหล่ที่เป็นไปได้
คำถามต่างๆ ที่เกี่ยวข้องกับระบบล็อกการขนส่ง ระบบสาธารณูปโภค การเชื่อมต่อสารเคมี ไอเสีย การสื่อสารระหว่างโมดูล หรือการเริ่มต้นใช้งานครั้งแรก สามารถตรวจสอบได้ก่อนเริ่มการใช้งานตามปกติ
ขอบเขตการซ่อมแซม การบูรณะ การบริการนอกสถานที่ การทดสอบระบบ และการรับประกันเฉพาะ จะได้รับการยืนยันสำหรับเครื่องจักรแต่ละเครื่องและในใบเสนอราคา
ขอรับการสนับสนุนระบบติดตามคำขอคำถามทั่วไปเกี่ยวกับการทำงานของระบบติดตาม การบูรณาการสายการผลิต แพลตฟอร์มที่ใช้แล้ว โมดูล และชิ้นส่วนอะไหล่
เครื่องนี้ทำหน้าที่จัดการกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับสารไวแสงในระหว่างการฉายแสง ซึ่งอาจรวมถึงขั้นตอนต่างๆ เช่น การเตรียมพื้นผิว การเคลือบ การกำจัดขอบ การอบ การทำให้เย็น การส่งต่ออุปกรณ์ฉายแสง การอบหลังการฉายแสง การล้าง การล้างน้ำ และการทำให้แห้ง
อาจเป็นไปได้ แต่ชื่อรุ่นอย่างเดียวไม่เพียงพอ ต้องตรวจสอบทิศทางของอุปกรณ์ เส้นทางของเวเฟอร์ การสร้างซอฟต์แวร์ วิธีการส่งต่อ โมดูลที่ติดตั้ง และสภาพของอินเทอร์เฟซสายการผลิตด้วย
เครื่องเคลือบแบบครบวงจรจะรวมฟังก์ชันการประมวลผลสารต้านทานความร้อน การจัดการความร้อน การจัดการเวเฟอร์ และการเชื่อมต่อต่างๆ เข้าไว้ด้วยกัน ในขณะที่เครื่องเคลือบแบบแยกส่วนมักจะจัดการขั้นตอนการประมวลผลที่แคบกว่า
ความพร้อมจำหน่ายสินค้าอาจมีการเปลี่ยนแปลงอยู่เสมอ โปรดส่งข้อมูลผู้ผลิต แพลตฟอร์ม รุ่น และสายผลิตภัณฑ์ทั้งหมด เพื่อให้สามารถตรวจสอบรายการสินค้าปัจจุบัน ระบบที่กำลังจะเข้ามา และตัวเลือกการจัดหาสินค้าตามคำขอได้
ใช่ค่ะ สามารถตรวจสอบคำขอโมดูลและอะไหล่ได้โดยใช้รุ่น ชื่อโมดูล หมายเลขชิ้นส่วน ฉลาก หรือรูปภาพ ความพร้อมใช้งานขึ้นอยู่กับแพลตฟอร์มเฉพาะและปริมาณสินค้าที่มีอยู่ในปัจจุบัน
รายละเอียดเบื้องต้นที่มีประโยชน์ที่สุด ได้แก่ รุ่นของแทร็กปัจจุบัน เครื่องมือในการฉายแสง ขนาดเวเฟอร์ ลำดับของโมดูล ทิศทางของอุปกรณ์ บทบาทของกระบวนการ และป้ายชื่อที่ชัดเจนหรือภาพถ่ายของอุปกรณ์
เริ่มต้นด้วยข้อมูลปัจจุบัน เช่น เส้นทางการผลิต เครื่องมือการฉายแสง ขนาดเวเฟอร์ รายการโมดูล ป้ายชื่อ ภาพถ่ายอุปกรณ์ หรือวัตถุประสงค์ในการจัดหา เราสามารถช่วยจัดระเบียบคำขอและตรวจสอบทิศทางของอุปกรณ์ โมดูล หรือชิ้นส่วนอะไหล่ที่เหมาะสมต่อไปได้