Avant l'exposition
Cette piste permet de préparer un film de résine stable et la plaquette dans les conditions requises par le processus d'exposition.
Prime / HMDSRevêtement résistantRetrait des bourreletsCuisson moelleuseFroideur
Équipement de fabrication de plaquettes de silicium en amont
Systèmes de pistes pour enduction/développement de semi-conducteurs
Parcourez les systèmes de développement/enduction de semi-conducteurs d'occasion : enduction de résine photosensible, cuisson et refroidissement, interface avec l'outil d'exposition, développement, rinçage et séchage. Un modèle, une référence de gamme, une photo du module, la taille de la plaquette ou la cible d'approvisionnement suffisent pour commencer votre recherche.
Revêtement et développementCuire et refroidirInterface d'expositionModules et pièces détachées
Le traitement des pistes se poursuit avant et après l'exposition.
Une chaîne de revêtement/développage prépare le film de résine avant l'exposition, échange les plaquettes avec l'outil d'exposition et effectue les étapes de cuisson et de développement post-exposition qui révèlent le motif de la résine photosensible.
Interface d'exposition
Stepper, scanner ou aligneur
Le transfert de la plaquette, la direction de la ligne et les conditions d'interface relient la piste à l'outil d'exposition.
Après l'exposition
Le processus se poursuit afin que l'image latente devienne un motif de photorésine utilisable.
Cuisson après expositionDévelopperRincerSecTransfert d'inspection
La piste s'étend des deux côtés de l'exposition. Son véritable rôle est défini par le parcours de la plaquette, les modules installés et l'interface avec la ligne de lithographie, et non par une simple fonction de revêtement par centrifugation.
Systèmes de pistes pour semi-conducteurs d'occasion disponibles
Consultez notre sélection de plateformes de revêtement/développement d'occasion, d'équipements de revêtement ou de développement autonomes et de modules associés, le cas échéant. La taille des plaquettes, les stations installées, l'interface avec l'outil d'exposition, l'état connu et les accessoires inclus sont précisés pour chaque machine.
Vous ne voyez pas la configuration de piste requise ?
Annonces actuelles sont déjà indiqués ci-dessus, systèmes entrants ou en cours d'examen peut encore être en phase d'inspection ou de préparation de devis, et plateformes à la demande sont vérifiées après l'envoi du modèle, de l'outil d'exposition, de la taille de la plaquette, de la liste des modules ou des photos disponibles.
Ce système de rails d'occasion est-il compatible avec votre ligne de lithographie existante ?
Un système Track d'occasion peut sembler convenir de par son modèle, mais des problèmes peuvent survenir au niveau de l'interface outil d'exposition, des utilitaires de fabrication, des modules de traitement de résine ou du débit de production. Avant une évaluation détaillée de la machine, nous vous aidons à identifier quatre risques pratiques susceptibles de retarder l'installation, d'exiger des modifications imprévues ou de limiter la ligne de lithographie existante.
| Ce que nous aidons à vérifier | Ce que nous évaluons | Quel problème cela permet d'éviter |
|---|---|---|
| Interface de l'outil d'exposition Peut-il se connecter à votre outil d'exposition ? | Nous passons en revue le système de déplacement, le scanner ou l'aligneur actuel, la configuration en ligne ou hors ligne, la méthode de transfert de la plaquette, le sens de la machine et l'interface mécanique ou de communication. | Évitez de recevoir une piste qui ne peut pas faire passer correctement les plaquettes vers et depuis l'outil d'exposition sans manipulation importante ou modification de l'interface. |
| Fab Utilities et installation Vos utilitaires de fabrication peuvent-ils le prendre en charge ? | Nous examinons l'encombrement de la machine, la charge électrique, l'échappement, l'alimentation et le retour des produits chimiques, le refroidissement, le contrôle de la température et l'emplacement des raccordements aux services publics. | Évitez de découvrir après la livraison que la machine nécessite d'importantes modifications des installations ou que les raccordements aux services publics existants ne peuvent pas être utilisés. |
| Procédé de plaquette et de revêtement/développement Est-ce compatible avec votre procédé de fabrication de plaquettes et de résine photosensible ? | Nous examinons la taille de la plaquette, les conditions du substrat et les modules installés d'amorçage, de revêtement, de cuisson, de refroidissement, de cuisson post-exposition, de développement, de rinçage et de séchage. | Évitez d'acheter un système qui ne possède pas les modules requis ou qui ne peut pas reproduire la séquence de revêtement, de cuisson et de développement utilisée par vos produits. |
| Débit et WPH Pourra-t-elle suivre le rythme de la ligne existante ? | Nous examinons le débit déclaré ou prévu, le nombre de modules, le temps de traitement, le flux de plaquettes et les exigences de sortie de l'outil d'exposition existant. | Évitez de créer un goulot d'étranglement qui immobilise l'outil d'exposition et réduit le rendement pratique de la ligne de lithographie complète. |
Vérifiez la compatibilité du câble avant de choisir une machine.
Demander une évaluation de l'ajustement d'une ligne existante
Veuillez nous communiquer le modèle de piste actuel, l'outil d'exposition, la taille de la plaquette, les modules installés, le sens d'usinage ou les photos disponibles. Nous vous aiderons à identifier les principaux risques d'intégration et les points à vérifier.
Maintenir un flux de lithographie éprouvé en production
Les équipements de production d'occasion sont souvent précieux car le processus existant, les relations d'exposition et la séquence des modules sont déjà connus. L'objectif est généralement de préserver une ligne productive en limitant les modifications inutiles, et non pas simplement d'acheter la machine la moins chère.
Remplacer une piste abandonnée
Continuez à utiliser une famille de plateformes familière lorsque l'approvisionnement en nouveaux équipements est terminé mais que le flux de lithographie validé reste en production.
Développer une gamme de lithographies matures
Augmentez la capacité grâce à une plateforme qui peut être comparée à l'outil d'exposition actuel, au chemin de la plaquette et à la configuration du module.
Récupérer les modules et les pièces critiques
Assurer le support des systèmes plus anciens grâce à l'identification des modules, la correspondance des pièces de rechange et la planification de la remise en service lorsque le remplacement complet de la machine n'est pas la seule option.
De la préparation de l'expédition à l'assistance après l'arrivée
La préparation de la livraison, le contrôle à réception et l'assistance après-vente sont liés, mais ont des objectifs différents. Il convient tout d'abord de vérifier le contenu de la livraison, puis d'inspecter le matériel à son arrivée et de contacter l'équipe d'assistance en cas d'anomalie, de problème de module ou de difficulté de démarrage nécessitant un examen plus approfondi.
Confirmer la portée de la piste et du module
- Plateforme et modules inclus
Veuillez confirmer le modèle complet, le sens d'utilisation de l'équipement, son état connu et les modules d'enrobage, de cuisson, de refroidissement, de développement ou autres modules connexes inclus dans la commande.
- Désinstallation, emballage et expédition
Précisez qui se charge du démontage, de l'emballage pour l'exportation, du chargement, du transport et de la livraison à la destination convenue.
- Étendue du support spécifique à la commande
Veuillez confirmer la période de garantie, la documentation, l'assistance à distance et tout autre élément de service convenu pour la machine concernée.
Inspection avant mise sous tension ou utilisation de produits chimiques
- Vérification de l'emballage et de la livraison
Consignez les conditions de déchargement et vérifiez la plateforme, les modules, les détails de série et les éléments de support convenus par rapport à la liste de livraison.
- État du chemin de la plaquette et du module
Vérifiez les dispositifs de verrouillage pour le transport, les zones de manipulation des robots ou des plaquettes, les stations installées et les points d'interface avant la mise en service.
- Services publics et conditions de démarrage
Vérifiez les conditions des installations, notamment les produits chimiques, les gaz d'échappement, le contrôle de la température, l'alimentation électrique et les autres éléments, avant de brancher la machine.
Ne branchez pas l'alimentation électrique, les produits chimiques ou les services publics avant que les vérifications de réception ne soient terminées.
Discuter des questions relatives à la livraison
Les équipements de production combinent la manipulation des plaquettes, le traitement chimique, les modules thermiques et les interfaces de la ligne d'exposition ; par conséquent, tout dommage visible, module manquant ou condition anormale doit être consigné avant la mise en service.
Lorsqu'un système de voie ferrée existant a besoin d'assistance technique
Cette section d'assistance ne concerne pas le choix d'une nouvelle machine. Elle est destinée aux systèmes Track existants ou livrés présentant une alarme, un défaut de module, un problème d'installation, un problème de démarrage ou un besoin en pièces détachées.
Veuillez nous envoyer l'écran d'alarme, la description du défaut, les conditions de fonctionnement, ainsi que des photos ou une vidéo. Notre équipe pourra vous aider à organiser les éléments de preuve et à identifier la zone suspecte avant la prochaine inspection ou réparation.
Pour les problèmes liés aux modules d'enduction, de développement, de cuisson, de refroidissement, de robot ou de distribution de produits chimiques, nous pouvons discuter des options d'inspection, de réparation ou de récupération en fonction du module concerné et des preuves disponibles.
Veuillez indiquer le modèle de la machine, le nom du module, la référence de la pièce, l'étiquette ou une photo du composant afin que nous puissions vérifier la compatibilité avec la plateforme et les options de pièces de rechange disponibles.
Les questions relatives aux sas de transport, aux utilités, aux raccordements chimiques, à l'échappement, à la communication entre les modules ou au démarrage initial peuvent être examinées avant le début du fonctionnement normal.
Les modalités spécifiques de réparation, de restauration, d'intervention sur site, de mise en service et de garantie sont confirmées pour chaque machine et font l'objet d'un devis.
Demande d'assistance pour le système de suiviFAQ sur la filière revêtement/développement de semi-conducteurs
Questions fréquentes concernant les fonctions de suivi, l'intégration de la ligne d'exposition, les plateformes d'occasion, les modules et les pièces de rechange.
Que fait un système de piste pour revêtement/développement de semi-conducteurs ?
Il gère le traitement lié à la photorésine autour de l'exposition, qui peut inclure les fonctions d'apprêt, de revêtement, d'élimination des bourrelets, de cuisson, de refroidissement, de transfert de l'outil d'exposition, de cuisson post-exposition, de développement, de rinçage et de séchage.
Un Track d'occasion peut-il se connecter à notre système de déplacement pas à pas ou à notre scanner existant ?
C’est possible, mais le nom du modèle seul ne suffit pas. Il convient d’examiner la direction de l’équipement, le chemin de la plaquette, la génération du logiciel, la méthode de transfert, les modules installés et les conditions d’interface de ligne.
Quelle est la différence entre un système de revêtement complet et une centrifugeuse autonome ?
Une chaîne de production complète intègre de multiples fonctions de traitement de résine, thermiques, de manipulation de plaquettes et d'interface, tandis qu'une machine de revêtement autonome gère généralement une étape de traitement plus restreinte.
Pouvez-vous vous procurer d'anciennes plateformes ACT, LITHIUS, SVG, SUSS ou autres plateformes Track ?
La disponibilité des produits change régulièrement. Veuillez nous communiquer le fabricant, la plateforme, le modèle complet et la gamme afin que nous puissions examiner les listes actuelles, les systèmes en cours de livraison et les options d'approvisionnement sur demande.
Pouvez-vous fournir des modules de chenilles et des pièces détachées au lieu d'une machine complète ?
Oui, les demandes de modules et de pièces détachées peuvent être consultées par modèle, nom du module, référence, étiquette ou photo. La disponibilité dépend de la plateforme et des stocks disponibles.
Quelles informations sont les plus utiles pour une demande de remplacement de piste ?
Le modèle de piste actuel, l'outil d'exposition, la taille de la plaquette, la séquence des modules, le sens de fonctionnement de l'équipement, le rôle du processus et une plaque signalétique claire ou des photos de l'équipement sont les détails de départ les plus utiles.
Envoyez-nous vos exigences concernant le système de suivi.
Commencez par nous indiquer la piste d'approvisionnement actuelle, l'outil d'exposition, la taille de la plaquette, la liste des modules, la plaque signalétique, la photo de l'équipement ou l'objectif d'approvisionnement. Nous pouvons vous aider à structurer votre demande et à définir ensemble les prochaines étapes pratiques concernant l'équipement, le module ou la pièce détachée.