Vóór blootstelling
Het traject bereidt een stabiele resistfilm voor en zorgt voor de waferconditie die nodig is voor het belichtingsproces.
Prime / HMDSWeerstandslaagRandafwerkingZachte BakeRustig aan
Front-End Wafer Fab-apparatuur
Tracksystemen voor halfgeleidercoating/ontwikkeling
Bekijk gebruikte halfgeleidercoating-/ontwikkelsystemen voor fotolakcoating, bak- en koelprocessen, interfacebehandeling van belichtingsapparatuur, ontwikkelen, spoelen en drogen. Een model, een referentie naar de huidige productielijn, een foto van de module, de wafergrootte of de gewenste specificatie is voldoende om de zoekopdracht te starten.
Coaten en ontwikkelenBakken en laten afkoelenBelichtingsinterfaceModules en reserveonderdelen
De verwerking van het spoor gaat door vóór en na de belichting.
Een coating-/ontwikkelafdeling bereidt de resistfilm voor op de belichting, wisselt wafers met het belichtingsapparaat en voert de nabewerking en ontwikkeling uit die het fotoresistpatroon zichtbaar maken.
Belichtingsinterface
Stepper, scanner of uitlijner
De overdracht van de wafer, de lijnrichting en de interfacecondities verbinden de Track met het belichtingsapparaat.
Na blootstelling
Het proces wordt voortgezet, waardoor het latente beeld een bruikbaar fotogevoelig patroon wordt.
Nabakken na belichtingOntwikkelenAfspoelenDroogInspectieoverdracht
Het spoor strekt zich uit over beide zijden van de blootstelling. De werkelijke functie ervan wordt bepaald door het waferpad, de geïnstalleerde modules en de interface met de lithografielijn – niet door een enkele spincoatfunctie.
Beschikbare gebruikte halfgeleiderrailsystemen
Bekijk gebruikte coating-/ontwikkelplatformen, losstaande coating- of ontwikkelapparatuur en bijbehorende modules, indien beschikbaar. Wafergrootte, geïnstalleerde stations, interface met belichtingsapparatuur, bekende staat en meegeleverde accessoires worden voor de specifieke machine bevestigd.
Ziet u de vereiste trackconfiguratie niet?
Actuele aanbiedingen zijn hierboven al weergegeven, binnenkomende of in behandeling zijnde systemen Het is mogelijk dat de inspectie- of offertefase nog niet is ingegaan, en platforms die op aanvraag worden aangeboden Deze worden gecontroleerd nadat u het model, het belichtingsapparaat, de wafergrootte, de modulelijst of beschikbare foto's hebt opgestuurd.
Past dit gebruikte railsysteem op uw bestaande lithografielijn?
Een gebruikt Track-systeem lijkt misschien geschikt op basis van het model, maar er kunnen problemen ontstaan bij de interface tussen de belichtingsapparatuur, de fabrieksvoorzieningen, de resist-procesmodules of de productiedoorvoer. Voordat we de machine in detail evalueren, helpen we u vier praktische risico's te beoordelen die de installatie kunnen vertragen, onverwachte aanpassingen noodzakelijk kunnen maken of de bestaande lithografielijn kunnen beperken.
| Wat we helpen controleren | Wat we beoordelen | Welk probleem wordt hiermee voorkomen? |
|---|---|---|
| Interface voor belichtingstool Kan het verbinding maken met uw belichtingsinstrument? | We bespreken de huidige stepper, scanner of aligner, de inline of offline opstelling, de wafer-overdrachtsmethode, de machinerichting en de mechanische of communicatie-interface. | Vermijd het ontvangen van een Track die de wafers niet correct van en naar het belichtingsapparaat kan transporteren zonder ingrijpende aanpassingen aan de interface. |
| Fab Utilities en Installatie Zijn de faciliteiten van uw fabriek hierop toegerust? | We beoordelen de afmetingen van de machine, het elektrische vermogen, de uitlaatgassen, de toevoer en afvoer van chemicaliën, de koeling, de temperatuurregeling en de locatie van de nutsaansluitingen. | Voorkom dat u na levering ontdekt dat de machine ingrijpende aanpassingen aan de installaties vereist of dat de bestaande nutsaansluitingen niet gebruikt kunnen worden. |
| Wafer- en coating-/ontwikkelaarproces Ondersteunt het uw wafer- en resistproces? | We bekijken de wafergrootte, de substraatcondities en de geïnstalleerde modules voor primen, coaten, bakken, koelen, nabakken, ontwikkelen, spoelen en drogen. | Koop geen systeem dat de benodigde modules mist of de coating-, bak- en ontwikkelprocedure van uw producten niet kan reproduceren. |
| Doorvoer en WPH Kan het de bestaande productielijn bijhouden? | We beoordelen de gerapporteerde of verwachte doorvoer, het aantal modules, de procestijd, de waferdoorvoer en de outputvereisten van de bestaande belichtingsapparatuur. | Voorkom dat er een knelpunt ontstaat waardoor het belichtingsapparaat moet wachten en de daadwerkelijke output van de complete lithografielijn afneemt. |
Controleer de passing van de leidingen voordat u een machine aanschaft.
Vraag een bestaande pasvormcontrole aan
Stuur ons het huidige Track-model, de belichtingsapparatuur, de wafergrootte, de geïnstalleerde modules, de machinerichting of beschikbare foto's. Wij helpen u de belangrijkste integratierisico's en de details die nog geverifieerd moeten worden in kaart te brengen.
Behoud een beproefde lithografieworkflow in de productie.
Gebruikte railsystemen zijn vaak waardevol omdat het bestaande proces, de blootstellingsrelatie en de modulevolgorde al bekend zijn. Het doel is doorgaans om een productieve lijn te behouden met zo min mogelijk onnodige aanpassingen – niet simpelweg om de goedkoopste machine te kopen.
Vervang een stopgezet nummer
Blijf een vertrouwd platform gebruiken, ook wanneer de levering van nieuwe apparatuur is gestopt, maar de gevalideerde lithografieworkflow nog steeds in productie is.
Breid een volwaardige lithografielijn uit
Vergroot de capaciteit met een platform dat kan worden geëvalueerd ten opzichte van de huidige belichtingsapparatuur, waferpaden en moduleconfiguratie.
Herstel modules en kritieke onderdelen
Ondersteun oudere systemen door middel van module-identificatie, het vinden van de juiste reserveonderdelen en het plannen van herstelwerkzaamheden wanneer vervanging van de complete machine niet de enige optie is.
Van verzendvoorbereiding tot ondersteuning na aankomst
Leveringsvoorbereiding, ontvangstinspectie en aftersalesondersteuning zijn aan elkaar gerelateerd, maar dienen verschillende doelen. Controleer eerst wat er wordt geleverd, inspecteer vervolgens de apparatuur na aankomst en neem contact op met het supportteam wanneer een afwijking, een moduleprobleem of een opstartprobleem nader onderzoek vereist.
Bevestig de reikwijdte van het traject en de module.
- Platform en meegeleverde modules
Bevestig het complete model, de apparatuurrichting, de bekende staat en de coating-, bak-, koel-, ontwikkel- of aanverwante modules die in de bestelling zijn inbegrepen.
- Demontage, verpakking en verzending
Verduidelijk wie verantwoordelijk is voor de demontage, exportverpakking, laden, transport en levering naar de overeengekomen bestemming.
- Orderspecifieke ondersteuningsomvang
Bevestig de garantieperiode, de documentatie, de ondersteuning op afstand en alle andere overeengekomen servicepunten voor de betreffende machine.
Inspecteer vóór gebruik van stroom of chemicaliën.
- Verpakking en leveringscontrole
Leg de loscondities vast en controleer het platform, de modules, de serienummers en de overeengekomen ondersteunende artikelen aan de hand van de leveringslijst.
- Waferpad en moduleconditie
Controleer vóór de opstart de transportvergrendelingen, robot- of waferverwerkingsgebieden, geïnstalleerde stations en interfacepunten.
- Nutsvoorzieningen en opstartvoorwaarden
Controleer de chemicaliën, uitlaatgassen, temperatuurregeling, stroomvoorziening en andere installatieomstandigheden voordat u de machine aansluit.
Sluit geen stroom, chemicaliën of andere nutsvoorzieningen aan voordat de ontvangstcontroles zijn voltooid.
Bespreking van leveringsvragen
Track-apparatuur combineert waferverwerking, chemische verwerking, thermische modules en interfaces voor de belichtingslijn. Zichtbare schade, ontbrekende modules of abnormale omstandigheden moeten daarom vóór de opstart worden geregistreerd.
Wanneer een bestaand railsysteem technische hulp nodig heeft
Dit ondersteuningsgebied is niet bedoeld voor het kiezen van een nieuwe machine. Het is bedoeld voor een bestaand of geleverd railsysteem met een alarm, modulefout, installatieprobleem, opstartprobleem of behoefte aan reserveonderdelen.
Stuur het alarmscherm, de foutbeschrijving, de bedrijfsomstandigheden, foto's of een video. Ons team kan helpen bij het ordenen van het bewijsmateriaal en het vaststellen van de mogelijke oorzaak van de storing voordat de volgende inspectie of reparatie plaatsvindt.
Bij problemen met de coating-, ontwikkel-, bak-, koel-, robot- of chemicaliëntoevoermodule kunnen we inspectie-, reparatie- of herstelprocedures bespreken op basis van de betreffende module en de beschikbare gegevens.
Geef het machinemodel, de modulenaam, het onderdeelnummer, het label of een foto van het onderdeel op, zodat de relevante platformrelatie en mogelijke reserveonderdelen kunnen worden gecontroleerd.
Vragen met betrekking tot transportsluizen, nutsvoorzieningen, chemische aansluitingen, uitlaatgassen, modulecommunicatie of de eerste opstart kunnen worden besproken voordat de normale bedrijfsvoering begint.
De specifieke reparatie-, restauratie-, service-, inbedrijfstellings- en garantieomvang worden voor de betreffende machine en offerte bevestigd.
Ondersteuning aanvragen voor het Track-systeemVeelgestelde vragen over het traject voor halfgeleidercoaters/ontwikkelaars
Veelgestelde vragen over Track-functies, integratie van belichtingslijnen, gebruikte platforms, modules en reserveonderdelen.
Wat doet een Track-systeem voor halfgeleidercoating/ontwikkeling?
Het verzorgt de nabewerking van fotolak rondom de belichting, waaronder primer, coating, verwijdering van randafwerking, bakken, koelen, overdracht van belichtingsapparatuur, nabakken, ontwikkelen, spoelen en drogen.
Kan een gebruikte Track worden aangesloten op onze bestaande stappenmotor of scanner?
Mogelijk, maar de modelnaam alleen is niet voldoende. De apparatuurrichting, het waferpad, de softwaregeneratie, de overdrachtsmethode, de geïnstalleerde modules en de lijninterfacecondities moeten worden gecontroleerd.
Wat is het verschil tussen een complete Track-installatie en een losse spincoater?
Een compleet Track-systeem integreert meerdere functies voor resistverwerking, thermische behandeling, waferhandling en interface, terwijl een standalone coater doorgaans een beperkter verwerkingsproces uitvoert.
Kunt u oudere versies van ACT, LITHIUS, SVG, SUSS of andere Track-platformen vinden?
De beschikbaarheid van specifieke onderdelen verandert regelmatig. Stuur ons de fabrikant, het platform, het volledige model en de productlijn zodat we de actuele lijsten, binnenkomende systemen en op aanvraag beschikbare opties kunnen bekijken.
Kunt u in plaats van een complete machine ook losse railmodules en reserveonderdelen leveren?
Ja, aanvragen voor modules en reserveonderdelen kunnen worden beoordeeld op model, modulenaam, onderdeelnummer, label of foto. De beschikbaarheid is afhankelijk van het specifieke platform en de actuele voorraad.
Welke informatie is het meest nuttig voor een aanvraag voor een vervangend Track-nummer?
Het huidige Track-model, de belichtingsapparatuur, de wafergrootte, de modulevolgorde, de apparatuurrichting, de procesrol en duidelijke naamplaatjes of foto's van de apparatuur zijn de meest bruikbare uitgangspunten.
Stuur uw systeemvereisten voor het spoor
Begin met het huidige traject, de belichtingsapparatuur, de wafergrootte, de modulelijst, het typeplaatje, de foto van de apparatuur of het inkoopdoel. Wij kunnen helpen bij het structureren van de aanvraag en het beoordelen van de volgende praktische stappen voor apparatuur, modules of reserveonderdelen.