Sprzęt do produkcji płytek półprzewodnikowych

Systemy torów powlekania/wywoływania półprzewodników

Przeglądaj używane systemy torów powlekania/wywoływania półprzewodników do powlekania fotorezystem, wypalania i schładzania, obsługi interfejsu naświetlarki, wywoływania, płukania i suszenia. Model, numer referencyjny aktualnej linii, zdjęcie modułu, rozmiar płytki lub źródło docelowe wystarczą, aby rozpocząć przegląd.

Powłoka i rozwójPiecz i schłódźInterfejs ekspozycjiModuły i części zamienne
Przepływ płytek zorientowany na ekspozycję

Przetwarzanie śladu trwa przed i po ekspozycji

Tor powlekania/wywoływania przygotowuje warstwę ochronną przed naświetlaniem, wymienia płytki za pomocą narzędzia do naświetlania oraz przeprowadza etapy wypalania i wywoływania po naświetlaniu, ujawniając wzór fotorezystu.

Przed ekspozycją

Tor przygotowuje stabilną warstwę ochronną i płytkę w stanie wymaganym w procesie naświetlania.

Prime / HMDSPowłoka odpornaUsuwanie krawędziMiękkie pieczenieChłod
Interfejs ekspozycji

Stepper, skaner lub aligner

Przekazywanie płytek, kierunek linii i warunki interfejsu łączą Track z narzędziem do ekspozycji.

Po narażeniu

Śledzenie kontynuuje przetwarzanie, dzięki czemu obraz utajony staje się użytecznym wzorem fotorezystu.

Pieczenie po ekspozycjiRozwijaćPłukanieSuchyPrzekazanie inspekcji

Ścieżka biegnie po obu stronach ekspozycji. Jej prawdziwa rola jest określona przez ścieżkę wafla, zainstalowane moduły i interfejs z linią litograficzną, a nie przez pojedynczą funkcję spin-coat.

Aktualny sprzęt

Dostępne używane systemy torów półprzewodnikowych

Przeglądaj używane platformy powlekarki/wywoływarki, samodzielne urządzenia do powlekania lub wywoływania oraz powiązane moduły, jeśli są dostępne. Rozmiar płytki, zainstalowane stacje, interfejs narzędzia do naświetlania, znany stan i dołączone akcesoria są potwierdzone dla konkretnej maszyny.

Nie widzisz wymaganej konfiguracji toru?

Aktualne oferty są już pokazane powyżej, systemy przychodzące lub będące w trakcie przeglądu może nadal wchodzić w fazę inspekcji lub przygotowywania wyceny, i platformy oparte na żądaniach są sprawdzane po wysłaniu modelu, narzędzia do naświetlania, rozmiaru płytki, listy modułów lub dostępnych zdjęć.

Wyślij prośbę o platformę torową
Przegląd istniejącego dopasowania linii

Czy ten używany system torów będzie pasował do Twojej istniejącej linii litograficznej?

Używany system Track może wydawać się odpowiedni w zależności od modelu, ale problemy mogą pojawić się na styku naświetlania i narzędzia, w narzędziach produkcyjnych, modułach rezystu i procesu lub w przepustowości produkcji. Przed szczegółową oceną maszyny pomagamy przeanalizować cztery praktyczne zagrożenia, które mogą opóźnić instalację, wymagać nieoczekiwanych modyfikacji lub ograniczyć istniejącą linię litograficzną.

Co pomagamy sprawdzić Co recenzujemy Jakiego problemu to pomaga uniknąć?
Interfejs narzędzia do ekspozycji Czy można połączyć go z narzędziem do naświetlania? Oceniamy obecny silnik krokowy, skaner lub wyrównywacz, układ liniowy lub offline, metodę przekazywania płytki, kierunek maszyny oraz interfejs mechaniczny lub komunikacyjny. Unikaj otrzymywania toru, który nie jest w stanie prawidłowo przekazywać płytek do i z narzędzia do naświetlania bez konieczności gruntownej obsługi lub modyfikacji interfejsu.
Fab Utilities i Instalacja Czy Twoje narzędzia fabryczne są w stanie to obsłużyć? Dokonujemy przeglądu powierzchni maszyny, obciążenia elektrycznego, układu wydechowego, dopływu i odpływu środków chemicznych, chłodzenia, kontroli temperatury oraz lokalizacji przyłączy użytkowych. Unikaj sytuacji, w której po dostarczeniu maszyny okaże się, że konieczne są duże zmiany w jej obiekcie lub że nie można korzystać z istniejących przyłączy użyteczności publicznej.
Proces wytwarzania wafli i powlekania/wywoływania Czy obsługuje proces produkcji płytek i rezystorów? Sprawdzamy rozmiar wafli, stan podłoża oraz zainstalowane moduły gruntowania, powlekania, wypalania, chłodzenia, wypalania po naświetlaniu, wywoływania, płukania i suszenia. Unikaj zakupu systemu, w którym brakuje wymaganych modułów lub który nie jest w stanie odtworzyć sekwencji powlekania, wypiekania i wywoływania stosowanej w przypadku Twoich produktów.
Przepustowość i WPH Czy będzie w stanie dotrzymać kroku istniejącej linii? Dokonujemy przeglądu zgłoszonej lub oczekiwanej przepustowości, liczby modułów, czasu procesu, przepływu płytek i wymagań wyjściowych istniejącego narzędzia do ekspozycji. Unikaj tworzenia wąskiego gardła, które powoduje, że narzędzie do naświetlania czeka w kolejce, co zmniejsza praktyczną wydajność całej linii litograficznej.
Przed przystąpieniem do pracy z maszyną należy sprawdzić dopasowanie linii.

Prześlij aktualny model Track, narzędzie do naświetlania, rozmiar płytki, zainstalowane moduły, kierunek pracy maszyny lub dostępne zdjęcia. Pomożemy zidentyfikować główne ryzyka integracji i szczegóły, które nadal wymagają weryfikacji.

Poproś o przegląd istniejącej linii dopasowania
Wartość używanego sprzętu torowego

Utrzymuj sprawdzony przepływ litografii w produkcji

Używany sprzęt torowy jest często cenny, ponieważ istniejący proces, relacje ekspozycji i sekwencja modułów są już znane. Celem jest zazwyczaj utrzymanie wydajności linii produkcyjnej z mniejszą liczbą zbędnych zmian, a nie po prostu zakup najtańszej maszyny.

Wymień wycofany utwór

Kontynuuj korzystanie ze znanej rodziny platform, gdy dostawy nowego sprzętu się zakończą, a sprawdzony proces litografii będzie nadal w produkcji.

Rozszerzenie dojrzałej linii litograficznej

Zwiększ pojemność dzięki platformie, którą można porównać z bieżącym narzędziem do narażania, ścieżką płytki i konfiguracją modułu.

Odzyskiwanie modułów i krytycznych części

Wspieraj starsze systemy poprzez identyfikację modułów, dopasowywanie części zamiennych i planowanie odzyskiwania, gdy wymiana całego urządzenia nie jest jedyną opcją.

Dostawa sprzętu i wsparcie posprzedażowe

Od przygotowania przesyłki do wsparcia po jej przybyciu

Przygotowanie dostawy, kontrola przy odbiorze i wsparcie posprzedażowe są ze sobą powiązane, ale służą różnym celom. Najpierw należy potwierdzić, co jest dostarczane, następnie sprawdzić sprzęt po jego otrzymaniu i skontaktować się z zespołem wsparcia, jeśli wystąpią nietypowe warunki, problem z modułem lub problem z uruchomieniem, który wymaga dalszej analizy.

Przed dostawą

Potwierdź zakres toru i modułu

  • Platforma i dołączone moduły

    Potwierdź kompletny model, kierunek działania sprzętu, znany stan oraz moduły powlekania, wypalania, chłodzenia, wywoływania lub powiązane z nimi elementy ujęte w zamówieniu.

  • Deinstalacja, pakowanie i wysyłka

    Wyjaśnij, kto zajmuje się deinstalacją, pakowaniem eksportowym, załadunkiem, transportem i dostawą do uzgodnionego miejsca przeznaczenia.

  • Zakres wsparcia specyficznego dla zamówienia

    Potwierdź okres gwarancji, dokumentację, pomoc zdalną i wszelkie inne uzgodnione elementy serwisu dla konkretnej maszyny.

Po przyjeździe

Sprawdź przed użyciem prądu lub chemikaliów

  • Kontrola opakowania i dostawy

    Rejestrowanie warunków rozładunku i weryfikacja platformy, modułów, danych seryjnych i uzgodnionych elementów uzupełniających na podstawie listy dostaw.

  • Ścieżka płytki i stan modułu

    Przed uruchomieniem należy sprawdzić śluzy transportowe, obszary obsługi robotów lub płytek drukowanych, zainstalowane stacje i punkty interfejsu.

  • Media i warunki uruchomienia

    Przed podłączeniem maszyny należy sprawdzić stan środków chemicznych, spalin, kontrolę temperatury, zasilanie i inne warunki w obiekcie.

Nie podłączaj zasilania, środków chemicznych ani mediów przed zakończeniem kontroli odbiorczej.

Sprzęt szynowy łączy w sobie obsługę płytek półprzewodnikowych, obróbkę chemiczną, moduły termiczne i interfejsy linii narażenia, dlatego przed uruchomieniem należy odnotować widoczne uszkodzenia, brakujące moduły lub nietypowe warunki.

Omów pytania dotyczące dostawy
Obsługa posprzedażowa i wsparcie istniejących systemów

Kiedy istniejący system torów potrzebuje pomocy technicznej

Ten obszar wsparcia nie służy do wyboru nowej maszyny. Dotyczy on istniejącego lub dostarczonego systemu Track, w którym występuje alarm, usterka modułu, problem z instalacją, uruchomieniem lub zapotrzebowanie na części zamienne.

Przegląd alarmów i usterek

Prześlij ekran alarmowy, opis usterki, stan działania, zdjęcia lub nagranie wideo. Zespół może pomóc w zebraniu dowodów i przeanalizowaniu prawdopodobnego obszaru usterki przed kolejną inspekcją lub naprawą.

Naprawa i odzyskiwanie modułów

W przypadku problemów z modułami powlekania, wywoływania, wypiekania, chłodzenia, robota lub dostarczania chemikaliów możemy omówić wskazówki dotyczące inspekcji, naprawy lub odzyskiwania w oparciu o problematyczny moduł i dostępne dowody.

Dopasowywanie części zamiennych

Podaj model maszyny, nazwę modułu, numer części, etykietę lub zdjęcie komponentu, aby można było sprawdzić powiązanie między platformami i możliwe opcje części zamiennych.

Pomoc w instalacji i uruchomieniu

Pytania dotyczące śluz transportowych, mediów, połączeń chemicznych, wydechu, komunikacji modułowej lub początkowego uruchomienia można omówić przed rozpoczęciem normalnej eksploatacji.

Szczegółowy zakres napraw, renowacji, serwisu na miejscu, uruchomienia i gwarancji jest potwierdzany dla każdej konkretnej maszyny i wyceny.

Poproś o wsparcie systemu Track
Często zadawane pytania

Często zadawane pytania dotyczące ścieżki rozwoju/powlekania półprzewodników

Często zadawane pytania dotyczące funkcji toru, integracji z linią produkcyjną, używanych platform, modułów i części zamiennych.

Do czego służy system Track w urządzeniu do powlekania/wywoływania półprzewodników?

Zajmuje się obróbką fotorezystu w trakcie naświetlania, która może obejmować gruntowanie, nakładanie powłoki, usuwanie krawędzi, wypalanie, schładzanie, przekazanie narzędzia do naświetlania, wypalanie po naświetlaniu, wywoływanie, płukanie i suszenie.

Czy używany Track można podłączyć do naszego obecnego steppera lub skanera?

Możliwe, ale sama nazwa modelu nie wystarczy. Należy przeanalizować kierunek urządzenia, ścieżkę płytki, generację oprogramowania, metodę przekazywania, zainstalowane moduły i stan interfejsu liniowego.

Jaka jest różnica pomiędzy kompletnym torem a samodzielną powlekarką obrotową?

Kompletny tor integruje wiele funkcji obróbki rezystu, obróbki termicznej, obsługi płytek i interfejsu, podczas gdy samodzielna powlekarka zwykle obsługuje węższy etap obróbki.

Czy możesz pozyskać starsze pliki ACT, LITHIUS, SVG, SUSS lub inne platformy Track?

Dostępność poszczególnych produktów ulega regularnym zmianom. Prześlij informacje o producencie, platformie, pełnym modelu i linii produkcyjnej, aby umożliwić przegląd aktualnych ofert, systemów przychodzących i opcji zaopatrzenia opartych na zapytaniach.

Czy zamiast kompletnej maszyny możecie dostarczyć moduły Track i części zamienne?

Tak, zapytania dotyczące modułów i części zamiennych można rozpatrywać według modelu, nazwy modułu, numeru części, etykiety lub zdjęcia. Dostępność zależy od konkretnej platformy i aktualnego stanu zapasów.

Jakie informacje są najbardziej przydatne w przypadku zapytania o wymianę Track?

Najbardziej użytecznymi informacjami wyjściowymi są aktualny model Track, narzędzie do naświetlania, rozmiar płytki, sekwencja modułów, kierunek działania sprzętu, rola procesu i wyraźne zdjęcia tabliczki znamionowej lub sprzętu.

Wyślij swoje wymagania dotyczące systemu śledzenia

Zacznij od aktualnego Tracka, narzędzia do naświetlania, rozmiaru płytki, listy modułów, tabliczki znamionowej, zdjęcia sprzętu lub celu zaopatrzenia. Możemy pomóc w organizacji zamówienia i omówieniu kolejnego praktycznego sprzętu, modułu lub kierunku części zamiennych.

Omów swoje wymagania dotyczące utworu