До воздействия
Данная технология обеспечивает подготовку стабильной резистивной пленки и необходимых для процесса экспонирования условий подложки.
Prime / HMDSЗащитное покрытиеУдаление краевой кромкиМягкое печеньеХолод
Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе
Системы направляющих для нанесения покрытия/проявки полупроводниковых материалов
Просмотрите бывшие в употреблении системы для нанесения фоторезиста на полупроводниковые пластины, включая системы термообработки и охлаждения, взаимодействие с экспонирующим устройством, проявление, промывку и сушку. Для начала поиска достаточно указать модель, номер текущей производственной линии, фотографию модуля, размер пластины или целевую компанию-поставщика.
Покрытие и проявлениеВыпечка и охлаждениеИнтерфейс экспозицииМодули и запасные части
Обработка данных продолжается до и после экспозиции.
На участке, где происходит нанесение покрытия и проявление, подготавливается резистивная пленка перед экспозицией, производится замена пластин с экспонирующим устройством, а также выполняются этапы постэкспонирования (запекание и проявление), в результате которых проявляется рисунок фоторезиста.
Интерфейс экспозиции
Шаговый двигатель, сканер или выравниватель
Передача пластины, направление линии и условия интерфейса обеспечивают связь дорожки с инструментом экспонирования.
После контакта
Процесс обработки продолжается, в результате чего скрытое изображение превращается в пригодный для использования фоторезистивный рисунок.
Выпечка после воздействияРазвиватьСмыватьСухойПередача результатов инспекции
Трасса охватывает обе стороны зоны воздействия. Его реальная роль определяется трактом нанесения покрытия на пластину, установленными модулями и взаимодействием с литографической линией, а не какой-либо одной функцией центрифужного нанесения покрытия.
Доступные бывшие в употреблении полупроводниковые трековые системы
Просмотрите информацию о бывших в употреблении платформах для нанесения покрытий/проявки покрытий, автономном оборудовании для нанесения покрытий или проявки, а также о соответствующих модулях (при наличии). Размер пластины, установленные станции, интерфейс экспонирующего устройства, известное состояние и входящие в комплект аксессуары уточняются для конкретного оборудования.
Не видите необходимую конфигурацию трека?
Актуальные объявления уже показаны выше, входящие или находящиеся на рассмотрении системы Возможно, еще продолжается проверка или подготовка коммерческого предложения, и платформы, предоставляемые по запросу Проверка производится после того, как вы отправите модель, инструмент экспозиции, размер пластины, список модулей или имеющиеся фотографии.
Подойдет ли эта бывшая в употреблении рельсовая система к вашей существующей литографической линии?
Использованная система Track может выглядеть подходящей по модели, но проблемы могут возникнуть на стыке экспонирования и оборудования, в производственных коммуникациях, модулях обработки резиста или в производительности производства. Перед детальной оценкой оборудования мы помогаем проанализировать четыре практических риска, которые могут задержать установку, потребовать неожиданных модификаций или ограничить возможности существующей линии литографии.
| Что мы помогаем проверить | Что мы рассматриваем | Какую проблему это помогает избежать |
|---|---|---|
| Интерфейс инструмента экспозиции Может ли оно подключиться к вашему инструменту управления экспозицией? | Мы анализируем текущий шаговый двигатель, сканер или выравниватель, поточную или автономную компоновку, метод передачи пластин, направление движения станка, а также механический или коммуникационный интерфейс. | Избегайте получения дорожки, которая не может корректно передавать пластины к экспонирующему устройству и от него без существенной доработки или модификации интерфейса. |
| Монтаж и обслуживание оборудования. Поддержат ли это ваши производственные мощности? | Мы анализируем габариты оборудования, электрическую нагрузку, выхлопные системы, подачу и возврат химических реагентов, охлаждение, контроль температуры, а также расположение инженерных коммуникаций. | Избегайте обнаружения после доставки того факта, что машина требует серьезных изменений в инфраструктуре или что существующие подключения к инженерным сетям не могут быть использованы. |
| Процесс нанесения покрытия на пластину и процесса проявки/нанесения покрытия Поддерживает ли он ваш процесс обработки пластин и резистов? | Мы анализируем размер пластины, состояние подложки, а также установленные модули для подготовки, нанесения покрытия, запекания, охлаждения, последующего запекания после экспозиции, проявления, промывки и сушки. | Избегайте приобретения системы, в которой отсутствуют необходимые модули или которая не может воспроизвести последовательность нанесения покрытия, спекания и проявления, используемую для вашей продукции. |
| Пропускная способность и WPH Сможет ли она конкурировать с существующей линейкой продукции? | Мы анализируем заявленную или ожидаемую производительность, количество модулей, время обработки, поток пластин и требования к выходным параметрам существующего оборудования для экспонирования. | Избегайте создания узкого места, из-за которого инструмент экспонирования будет простаивать, что снизит практическую производительность всей литографической линии. |
Перед покупкой станка проверьте его соответствие стандартам качества.
Запросить проверку соответствия существующей модели обуви
Отправьте текущую модель трека, инструмент экспонирования, размер пластины, установленные модули, направление движения станка или имеющиеся фотографии. Мы поможем выявить основные риски интеграции и детали, которые еще нуждаются в проверке.
Поддерживайте отлаженный процесс литографии в производстве.
Бывшее в употреблении оборудование для гусеничной транспортировки часто ценится, потому что существующий процесс, взаимосвязь воздействия и последовательность модулей уже известны. Цель обычно состоит в том, чтобы сохранить производительную линию с минимальным количеством ненужных изменений, а не просто купить самую дешевую машину.
Заменить снятый с эксплуатации участок пути
Продолжайте использовать уже существующее семейство платформ, когда поставки нового оборудования прекратятся, но проверенный технологический процесс литографии все еще будет использоваться в производстве.
Расширить зрелую линейку литографических услуг
Расширьте производственные мощности с помощью платформы, которую можно сравнивать с текущим инструментом экспозиции, трактом обработки пластин и конфигурацией модулей.
Восстановление модулей и критически важных компонентов.
Оказывайте поддержку устаревшим системам, осуществляя идентификацию модулей, подбор запасных частей и планирование восстановления в тех случаях, когда полная замена оборудования не является единственным вариантом.
От подготовки груза до поддержки после прибытия
Подготовка к отгрузке, приемочный контроль и послепродажная поддержка взаимосвязаны, но служат разным целям. Сначала необходимо подтвердить, что именно поставляется, затем осмотреть оборудование после прибытия и связаться со службой поддержки, если возникнут неисправности, проблемы с модулем или проблемы с запуском, требующие дальнейшего изучения.
Подтвердите область применения трека и модуля.
- Платформа и входящие в неё модули
Подтвердите полную модель, направление установки оборудования, известное состояние, а также модули нанесения покрытия, обжига, охлаждения, проявления или другие связанные с ними функции, включенные в заказ.
- Демонтаж, упаковка и отправка
Уточните, кто занимается демонтажем, экспортной упаковкой, погрузкой, фрахтом и доставкой в согласованное место назначения.
- Область поддержки, специфичная для конкретного заказа
Уточните гарантийный срок, документацию, удаленную поддержку и любые другие согласованные виды обслуживания для конкретного оборудования.
Перед использованием электроэнергии или химических веществ проведите осмотр.
- Проверка упаковки и доставки
Зафиксируйте состояние разгрузки и проверьте соответствие платформы, модулей, серийных номеров и согласованных вспомогательных элементов накладной.
- Состояние пластины и модуля.
Перед запуском проверьте транспортировочные замки, зоны работы роботов или обработки пластин, установленные станции и точки сопряжения.
- Коммунальные услуги и условия запуска
Перед подключением оборудования убедитесь в исправности химических веществ, системы вытяжки, системы контроля температуры, электропитания и других параметров объекта.
Не подключайте электроэнергию, химические вещества или коммунальные услуги до завершения приемочных проверок.
Обсудите вопросы доставки.
Оборудование для отслеживания состояния пластин включает в себя механизмы обработки, химической обработки, термомодули и интерфейсы линий экспонирования, поэтому видимые повреждения, отсутствующие модули или ненормальные условия должны быть зафиксированы до начала работы.
Когда существующей железнодорожной системе требуется техническая помощь
Данная область поддержки не предназначена для выбора новой машины. Она предназначена для существующих или поставленных гусеничных систем, у которых возникла ошибка сигнализации, неисправность модуля, проблема с установкой, проблема с запуском или требуется запасная часть.
Отправьте изображение с экрана с сигналом тревоги, описание неисправности, информацию о рабочем состоянии, фотографии или видео. Команда поможет систематизировать доказательства и оценить вероятную область неисправности перед следующим этапом осмотра или ремонта.
В случае проблем с модулями нанесения покрытий, проявки, запекания, охлаждения, робототехники или подачи химикатов мы можем обсудить направления осмотра, ремонта или восстановления в зависимости от поврежденного модуля и имеющихся доказательств.
Укажите модель машины, название модуля, номер детали, этикетку или фотографию компонента, чтобы можно было проверить соответствие соответствующей платформе и возможные варианты запасных частей.
Вопросы, касающиеся транспортных шлюзов, инженерных сетей, химических соединений, выхлопных газов, связи между модулями или первоначального запуска, можно обсудить до начала нормальной работы.
Конкретные виды ремонта, реставрации, выездного обслуживания, ввода в эксплуатацию и гарантийного обслуживания уточняются для каждой отдельной машины и в смете.
Запросить поддержку системы отслеживанияЧасто задаваемые вопросы по теме "Покрытие/проявка полупроводниковых материалов"
Часто задаваемые вопросы о функциях трека, интеграции экспозиционной линии, бывших в употреблении платформах, модулях и запасных частях.
Для чего предназначена система нанесения покрытия/проявки полупроводниковых материалов на направляющих?
Она обрабатывает фоторезист в процессе экспонирования, включая праймирование, нанесение покрытия, удаление краевых отпечатков, запекание, охлаждение, передачу экспонирующего оборудования, запекание после экспозиции, проявление, промывку и сушку.
Можно ли подключить подержанный трековый двигатель к нашему существующему шаговому двигателю или сканеру?
Возможно, но одного названия модели недостаточно. Необходимо проверить направление оборудования, траекторию движения пластины, генерацию программного обеспечения, метод передачи данных, установленные модули и условия линейного интерфейса.
В чём разница между комплектной гусеничной машиной и автономной центрифужной машиной для нанесения покрытий?
Полный комплект оборудования Track объединяет в себе множество функций обработки резиста, термической обработки, работы с пластинами и интерфейса, в то время как автономный аппарат для нанесения покрытий обычно выполняет более узкий этап обработки.
Можете ли вы найти более старые платформы ACT, LITHIUS, SVG, SUSS или другие платформы для трековых работ?
Информация о наличии товара регулярно меняется. Пожалуйста, укажите производителя, платформу, полную модель и линейку продукции, чтобы мы могли проанализировать текущие предложения, поступающие системы и варианты закупок по запросу.
Можете ли вы поставить модули гусениц и запасные части вместо целой машины?
Да, запросы на модули и запасные части можно просматривать по модели, названию модуля, номеру детали, этикетке или фотографии. Наличие зависит от конкретной платформы и текущих поставок.
Какая информация наиболее полезна для запроса на замену рельсов?
Наиболее полезными исходными данными являются текущая модель трека, инструмент экспонирования, размер пластины, последовательность модулей, направление оборудования, роль процесса, а также четкая табличка с наименованием или фотографии оборудования.
Отправьте ваши требования к системе отслеживания.
Начните с текущего отслеживания, инструмента экспозиции, размера пластины, списка модулей, паспортной таблички, фотографии оборудования или цели поиска поставщиков. Мы можем помочь организовать запрос и рассмотреть следующее перспективное направление по оборудованию, модулям или запасным частям.