Trước khi tiếp xúc
Quá trình này chuẩn bị một lớp màng cản ổn định và điều kiện bề mặt wafer cần thiết cho quá trình phơi sáng.
Prime / HMDSLớp phủ chống ăn mònLoại bỏ gờ cạnhBánh nướng mềmSự ớn lạnh
Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối
Hệ thống đường ray phủ/phát triển chất bán dẫn
Tìm kiếm các hệ thống máy phủ/phát triển chất bán dẫn đã qua sử dụng dùng cho việc phủ chất cản quang, xử lý nung và làm nguội, xử lý giao diện thiết bị chiếu sáng, phát triển, rửa và sấy khô. Chỉ cần cung cấp model, mã số dòng sản phẩm hiện tại, ảnh module, kích thước wafer hoặc mục tiêu tìm nguồn cung ứng là đủ để bắt đầu quá trình tìm kiếm.
Phủ và phát triểnNướng và làm lạnhGiao diện phơi sángMô-đun và phụ tùng thay thế
Quá trình xử lý theo dõi tiếp tục trước và sau khi phơi sáng.
Dây chuyền phủ/phát triển chuẩn bị màng chất cản quang trước khi chiếu xạ, trao đổi tấm wafer với thiết bị chiếu xạ và hoàn tất các bước nung và phát triển sau chiếu xạ để làm lộ ra mẫu chất cản quang.
Giao diện phơi sáng
Máy bước, máy quét hoặc máy căn chỉnh
Việc chuyển giao wafer, hướng đường dây và điều kiện giao diện kết nối Track với công cụ phơi sáng.
Sau khi phơi nhiễm
Quá trình xử lý tiếp tục diễn ra để hình ảnh tiềm ẩn trở thành một mẫu chất cản quang có thể sử dụng được.
Nướng sau khi phơi sángPhát triểnRửa sạchKhôBàn giao kiểm tra
Đường ray trải dài trên cả hai phía của khu vực tiếp xúc. Vai trò thực sự của nó được xác định bởi đường dẫn trên tấm bán dẫn, các mô-đun được lắp đặt và giao diện với dây chuyền quang khắc - chứ không phải bởi một chức năng phủ quay ly tâm đơn lẻ.
Hệ thống đường ray bán dẫn đã qua sử dụng hiện có sẵn
Tìm kiếm các nền tảng máy phủ/phát triển đã qua sử dụng, thiết bị phủ hoặc phát triển độc lập và các mô-đun liên quan (nếu có). Kích thước wafer, số trạm lắp đặt, giao diện công cụ chiếu sáng, tình trạng đã biết và các phụ kiện đi kèm được xác nhận cho từng máy cụ thể.
Không thấy cấu hình Track cần thiết?
Danh sách hiện tại Như đã được hiển thị ở trên, các hệ thống sắp tới hoặc đang được xem xét vẫn có thể đang trong giai đoạn kiểm tra hoặc chuẩn bị báo giá, và nền tảng cung cấp theo yêu cầu Các bước kiểm tra sẽ được thực hiện sau khi bạn gửi thông tin về kiểu máy, công cụ đo sáng, kích thước wafer, danh sách module hoặc ảnh có sẵn.
Hệ thống ray đã qua sử dụng này có phù hợp với dây chuyền in thạch bản hiện có của bạn không?
Hệ thống Track đã qua sử dụng có thể trông phù hợp về mặt kiểu dáng, nhưng các vấn đề có thể phát sinh ở giao diện thiết bị chiếu xạ, tiện ích nhà máy, mô-đun xử lý chất cản quang hoặc năng suất sản xuất. Trước khi đánh giá chi tiết máy móc, chúng tôi giúp xem xét bốn rủi ro thực tế có thể làm chậm quá trình lắp đặt, yêu cầu sửa đổi ngoài dự kiến hoặc hạn chế dây chuyền in thạch bản hiện có.
| Những gì chúng tôi giúp kiểm tra | Những gì chúng tôi đánh giá | Điều này giúp tránh được vấn đề gì? |
|---|---|---|
| Giao diện công cụ phơi sáng Nó có thể kết nối với công cụ đo sáng của bạn không? | Chúng tôi xem xét lại máy khắc quang học, máy quét hoặc máy căn chỉnh hiện tại, cách bố trí nội tuyến hoặc ngoại tuyến, phương pháp chuyển giao wafer, hướng máy và giao diện cơ khí hoặc truyền thông. | Tránh nhận một lô hàng không thể vận chuyển tấm bán dẫn một cách chính xác đến và từ thiết bị chiếu sáng mà không cần thao tác xử lý lớn hoặc sửa đổi giao diện. |
| Tiện ích và lắp đặt Fab Các tiện ích tuyệt vời của bạn có hỗ trợ điều đó không? | Chúng tôi xem xét kích thước máy móc, tải điện, hệ thống xả, hệ thống cấp và hồi hóa chất, hệ thống làm mát, hệ thống điều khiển nhiệt độ và vị trí các kết nối tiện ích. | Tránh trường hợp phát hiện ra sau khi giao hàng rằng máy móc cần thay đổi lớn về cơ sở vật chất hoặc không thể sử dụng các kết nối tiện ích hiện có. |
| Quy trình xử lý tấm bán dẫn và máy phủ/máy phát triển Nó có hỗ trợ quy trình sản xuất wafer và chất cản quang của bạn không? | Chúng tôi xem xét kích thước wafer, điều kiện chất nền và các mô-đun xử lý bề mặt, bao gồm: phủ lớp, nung, làm lạnh, nung sau chiếu xạ, phát triển, rửa và sấy khô đã được lắp đặt. | Tránh mua hệ thống thiếu các mô-đun cần thiết hoặc không thể tái tạo trình tự phủ, nung và tráng phim được sử dụng cho sản phẩm của bạn. |
| Thông lượng và WPH Liệu nó có thể theo kịp dây chuyền sản xuất hiện có không? | Chúng tôi xem xét thông lượng đã báo cáo hoặc dự kiến, số lượng mô-đun, thời gian xử lý, lưu lượng wafer và các yêu cầu đầu ra của thiết bị chiếu xạ hiện có. | Tránh tạo ra điểm nghẽn khiến thiết bị phơi sáng phải chờ đợi và làm giảm sản lượng thực tế của toàn bộ dây chuyền in thạch bản. |
Kiểm tra độ khớp đường ống trước khi quyết định mua máy.
Yêu cầu đánh giá độ phù hợp của dòng sản phẩm hiện có
Hãy gửi model máy hiện tại, công cụ đo sáng, kích thước wafer, các module đã lắp đặt, hướng máy hoặc các ảnh có sẵn. Chúng tôi sẽ giúp xác định các rủi ro tích hợp chính và các chi tiết cần được xác minh thêm.
Duy trì quy trình in thạch bản đã được chứng minh trong sản xuất.
Thiết bị đường ray đã qua sử dụng thường có giá trị vì quy trình hiện tại, mối quan hệ tiếp xúc và trình tự mô-đun đã được hiểu rõ. Mục tiêu thường là duy trì dây chuyền sản xuất với ít thay đổi không cần thiết—chứ không chỉ đơn giản là mua máy móc có giá thấp nhất.
Thay thế bản nhạc đã ngừng sản xuất
Tiếp tục sử dụng dòng sản phẩm quen thuộc khi nguồn cung thiết bị mới đã hết nhưng quy trình in thạch bản đã được kiểm chứng vẫn đang được sản xuất.
Mở rộng dòng sản phẩm in thạch bản đã hoàn thiện
Tăng cường năng lực với một nền tảng có thể được đánh giá dựa trên công cụ phơi sáng hiện tại, đường dẫn wafer và cấu hình mô-đun.
Khôi phục các mô-đun và các bộ phận quan trọng
Hỗ trợ các hệ thống cũ hơn thông qua việc nhận dạng mô-đun, tìm kiếm phụ tùng thay thế và lập kế hoạch khôi phục khi việc thay thế toàn bộ máy không phải là lựa chọn duy nhất.
Từ khâu chuẩn bị hàng hóa đến hỗ trợ sau khi hàng đến nơi.
Việc chuẩn bị giao hàng, kiểm tra khi nhận hàng và hỗ trợ sau bán hàng có liên quan đến nhau, nhưng chúng phục vụ các mục đích khác nhau. Trước tiên, hãy xác nhận những gì đang được giao, sau đó kiểm tra thiết bị sau khi nhận hàng và liên hệ với đội ngũ hỗ trợ khi có tình trạng bất thường, sự cố về mô-đun hoặc vấn đề khởi động cần được xem xét thêm.
Xác nhận phạm vi của lộ trình và mô-đun.
- Nền tảng và các mô-đun đi kèm
Vui lòng xác nhận đầy đủ kiểu máy, hướng thiết bị, tình trạng hiện tại và các mô-đun phủ, nướng, làm lạnh, phát triển hoặc các mô-đun liên quan có trong đơn đặt hàng.
- Tháo dỡ, đóng gói và vận chuyển
Làm rõ ai sẽ chịu trách nhiệm tháo dỡ, đóng gói xuất khẩu, bốc xếp, vận chuyển và giao hàng đến địa điểm đã thỏa thuận.
- Phạm vi hỗ trợ cụ thể theo đơn đặt hàng
Hãy xác nhận thời hạn bảo hành, tài liệu, hỗ trợ từ xa và bất kỳ hạng mục dịch vụ nào khác đã được thỏa thuận cho máy cụ thể đó.
Kiểm tra trước khi cấp điện hoặc sử dụng hóa chất.
- Kiểm tra đóng gói và giao hàng
Ghi lại tình trạng dỡ hàng và kiểm tra bệ đỡ, các mô-đun, thông tin số sê-ri và các vật dụng hỗ trợ đã thỏa thuận so với danh sách giao hàng.
- Đường dẫn wafer và tình trạng mô-đun
Kiểm tra các khóa vận chuyển, khu vực robot hoặc xử lý wafer, các trạm đã lắp đặt và các điểm giao tiếp trước khi khởi động.
- Điều kiện tiện ích và khởi động
Trước khi kết nối máy, hãy xác nhận các điều kiện về hóa chất, khí thải, kiểm soát nhiệt độ, nguồn điện và các điều kiện khác của thiết bị.
Không được kết nối nguồn điện, hóa chất hoặc các thiết bị tiện ích trước khi hoàn tất kiểm tra tiếp nhận.
Thảo luận về các câu hỏi liên quan đến việc giao hàng
Thiết bị theo dõi kết hợp việc xử lý tấm bán dẫn, xử lý hóa chất, các mô-đun nhiệt và giao diện đường chiếu sáng, do đó, các hư hỏng có thể nhìn thấy, các mô-đun bị thiếu hoặc các điều kiện bất thường cần được ghi lại trước khi khởi động.
Khi nào hệ thống đường ray hiện có cần hỗ trợ kỹ thuật?
Khu vực hỗ trợ này không dành cho việc lựa chọn máy mới. Nó dành cho hệ thống Track hiện có hoặc đã được giao đang gặp sự cố về cảnh báo, lỗi mô-đun, vấn đề lắp đặt, sự cố khởi động hoặc cần phụ tùng thay thế.
Hãy gửi ảnh chụp màn hình báo lỗi, mô tả lỗi, tình trạng hoạt động, ảnh hoặc video. Nhóm kỹ thuật sẽ giúp thu thập bằng chứng và xem xét khu vực có khả năng xảy ra lỗi trước bước kiểm tra hoặc sửa chữa tiếp theo.
Đối với các sự cố liên quan đến bộ phận phủ, bộ phận phát triển, bộ phận nung, bộ phận làm lạnh, robot hoặc bộ phận cung cấp hóa chất, chúng tôi có thể thảo luận về các hướng kiểm tra, sửa chữa hoặc phục hồi dựa trên bộ phận bị ảnh hưởng và các bằng chứng hiện có.
Vui lòng cung cấp kiểu máy, tên mô-đun, số hiệu phụ tùng, nhãn hoặc ảnh linh kiện để có thể kiểm tra mối quan hệ với nền tảng tương ứng và các tùy chọn phụ tùng thay thế khả thi.
Các vấn đề liên quan đến khóa vận chuyển, tiện ích, kết nối hóa chất, khí thải, giao tiếp mô-đun hoặc khởi động ban đầu có thể được xem xét trước khi bắt đầu hoạt động bình thường.
Phạm vi sửa chữa, phục hồi, dịch vụ tại chỗ, vận hành thử và bảo hành cụ thể được xác nhận cho từng máy móc và báo giá riêng lẻ.
Yêu cầu hỗ trợ hệ thống theo dõiCâu hỏi thường gặp về quy trình phủ/phát triển chất bán dẫn
Các câu hỏi thường gặp về chức năng của đường ray, tích hợp dây chuyền phơi sáng, các nền tảng, mô-đun và phụ tùng đã qua sử dụng.
Hệ thống theo dõi máy phủ/phát triển chất bán dẫn hoạt động như thế nào?
Nó xử lý các công đoạn liên quan đến chất cản quang xung quanh quá trình phơi sáng, có thể bao gồm các chức năng như phủ lớp lót, phủ lớp bảo vệ, loại bỏ lớp keo thừa, nung, làm lạnh, chuyển giao thiết bị phơi sáng, nung sau phơi sáng, tráng phim, rửa và sấy khô.
Liệu một thiết bị Track đã qua sử dụng có thể kết nối với bộ điều khiển bước hoặc máy quét hiện có của chúng ta không?
Có thể, nhưng chỉ tên model thôi là chưa đủ. Cần xem xét hướng thiết bị, đường dẫn wafer, thế hệ phần mềm, phương pháp chuyển giao, các mô-đun đã lắp đặt và điều kiện giao diện dây chuyền.
Sự khác biệt giữa một hệ thống Track hoàn chỉnh và một máy phủ màng ly tâm độc lập là gì?
Một hệ thống Track hoàn chỉnh tích hợp nhiều chức năng xử lý chất cản quang, nhiệt, xử lý wafer và giao diện, trong khi một máy phủ độc lập thường chỉ xử lý một bước xử lý hẹp hơn.
Bạn có thể tìm nguồn cung cấp dữ liệu cũ hơn từ các nền tảng ACT, LITHIUS, SVG, SUSS hoặc các nền tảng Track khác không?
Thông tin về tình trạng hàng hóa cụ thể thay đổi thường xuyên. Vui lòng gửi thông tin về nhà sản xuất, nền tảng, model và dòng sản phẩm đầy đủ để chúng tôi có thể xem xét danh sách hiện tại, hệ thống sắp tới và các tùy chọn tìm nguồn cung ứng theo yêu cầu.
Bạn có thể cung cấp các mô-đun đường ray và phụ tùng thay thế thay vì một máy hoàn chỉnh không?
Có, các yêu cầu về mô-đun và phụ tùng có thể được xem xét theo kiểu máy, tên mô-đun, số hiệu phụ tùng, nhãn hoặc ảnh. Tình trạng sẵn có phụ thuộc vào nền tảng cụ thể và nguồn cung hiện tại.
Thông tin nào hữu ích nhất cho yêu cầu thay thế đường ray?
Thông tin ban đầu hữu ích nhất bao gồm: kiểu đường ray hiện tại, công cụ phơi sáng, kích thước wafer, trình tự mô-đun, hướng thiết bị, vai trò quy trình và bảng tên rõ ràng hoặc ảnh thiết bị.
Gửi yêu cầu hệ thống theo dõi của bạn
Hãy bắt đầu với thông tin hiện tại về đường dẫn, công cụ đo sáng, kích thước wafer, danh sách module, bảng tên thiết bị, ảnh thiết bị hoặc mục tiêu tìm nguồn cung ứng. Chúng tôi có thể giúp sắp xếp yêu cầu và xem xét hướng đi thiết bị, module hoặc phụ tùng thay thế khả thi tiếp theo.