暴露前
此軌道製備出穩定的光阻薄膜，並滿足曝光製程所需的晶圓條件。
Prime / HMDS抗塗層邊緣珠去除軟烤寒意
曝光前後均會進行軌道處理。
塗佈/顯影工序在曝光前製備光阻薄膜，與曝光工具交換晶圓，並完成曝光後的烘烤和顯影步驟，從而顯現光阻圖案。
賽道橫跨兩側的暴露區域。 它真正的作用是由晶圓路徑、安裝的模組以及與光刻線的介面決定的，而不是由單一的旋塗功能決定的。
現有二手半導體軌道系統
瀏覽二手塗佈/顯影軌道平台、獨立塗佈或顯影設備以及相關模組（如有）。晶圓尺寸、已安裝工位、曝光工具介面、已知狀況和包含的配件均已針對特定設備進行確認。
找不到所需的軌道配置？
目前列表 以上已列出。 即將到來或正在審查中的系統 可能仍在進行檢驗或報價準備工作，並且 按需採購平台 在您發送型號、曝光工具、晶圓尺寸、模組清單或可用照片後，我們會進行檢查。
這套二手軌道系統是否適用於您現有的光刻生產線？
二手Track系統雖然型號看起來可能合適，但曝光工具介面、晶圓廠配套設施、光阻製程模組或生產效率等方面都可能出現問題。在進行詳細的機器評估之前，我們會協助您檢視可能導致安裝延誤、需要進行意外改造或限制現有光刻生產線的四個實際風險。
| 我們協助檢查的內容 | 我們評測的內容 | 這有助於避免什麼問題 |
|---|---|---|
| 曝光工具介面 它可以連接到你的曝光工具嗎？ | 我們回顧了目前的步進器、掃描器或對準器、線上或離線佈置、晶圓交接方法、機器方向以及機械或通訊介面。 | 避免收到無法在不進行重大操作或介面修改的情況下正確將晶圓送入和送出曝光工具的軌道。 |
| 製造公用設施及安裝 你的製造工具支援嗎？ | 我們會審查機器佔地面積、電力負荷、排氣、化學品供應和回流、冷卻、溫度控制以及公用設施連接的位置。 | 避免在交貨後才發現機器需要進行重大設施改造或現有的公用設施連接無法使用。 |
| 晶圓和塗佈/顯影工藝 它是否支援您的晶圓和光阻製程？ | 我們審查晶圓尺寸、基板條件以及已安裝的底塗、塗層、烘烤、冷卻、曝光後烘烤、顯影、沖洗和乾燥模組。 | 避免購買缺少必要模組或無法重現您的產品所使用的塗層、烘烤和顯影順序的系統。 |
| 吞吐量和WPH 它能跟上現有生產線的速度嗎？ | 我們審查已報告或預期的吞吐量、模組數量、製程時間、晶圓流以及現有曝光工具的輸出要求。 | 避免造成瓶頸，導致曝光工具等待，從而降低整個光刻生產線的實際產量。 |
在決定購買機器之前，請先檢查管線是否匹配。
申請現有產品線適配性審查
請提供您目前的跑分模型、曝光工具、晶圓尺寸、已安裝模組、機器方向或相關照片。我們將協助您識別主要的整合風險以及仍需驗證的細節。
在生產中保持成熟的光刻工藝流程
二手軌道設備通常很有價值，因為現有的工藝流程、暴露關係和模組順序都已為人所知。其目標通常是在盡可能減少不必要改動的情況下維持生產線的生產力，而不僅僅是購買價格最低的機器。
替換已停用的軌道
當新設備供應停止但經過驗證的光刻製程仍在生產中時，繼續使用熟悉的平台系列。
擴展成熟的光刻生產線
透過一個可以與當前曝光工具、晶圓路徑和模組配置進行比較的平台來增加產能。
回收模組和關鍵零件
當整機更換不是唯一選擇時，請透過模組識別、備件匹配和恢復計劃來支援舊系統。
從裝運準備到貨後支持
發貨準備、收貨檢驗和售後支援雖然相關，但各自服務於不同的目的。首先要確認所交付的貨物，然後在設備到貨後進行檢驗，如果出現異常情況、模組問題或啟動問題需要進一步排查，則應聯繫支援團隊。
確認軌道和模組範圍
- 平台及包含模組
確認訂單中包含的完整型號、設備方向、已知狀況以及塗層、烘烤、冷卻、顯影或相關模組。
- 拆卸、包裝和運輸
明確由誰負責拆卸、出口包裝、裝載、運輸和交付到約定的目的地。
- 訂單特定支援範圍
確認該機器的保固期、相關文件、遠端支援以及其他約定的服務項目。
通電或使用化學品前請檢查
- 包裝和交付檢查
記錄卸貨情況，並核對交貨清單上的平台、模組、序號詳情和約定的配套物品。
- 晶圓路徑和模組條件
啟動前檢查運輸鎖、機器人或晶圓處理區域、已安裝的工作站和介面點。
- 公用設施和啟動條件
連接機器前，請確認化學品、排氣、溫度控制、電源及其他設施狀況。
在完成收貨檢查之前，請勿接通電源、化學品或公用設施。
討論配送問題
追蹤設備結合了晶圓處理、化學處理、熱模組和曝光線接口，因此在啟動前應記錄可見的損壞、缺少的模組或異常。
當現有軌道系統需要技術幫助時
此支援區域並非用於選擇新機器，而是用於解決現有或已交付的軌道系統出現的警報、模組故障、安裝問題、啟動問題或備件需求。
請發送警報螢幕截圖、故障描述、運作狀況、照片或影片。我們的團隊可以協助整理證據，並在進行下一步檢查或維修之前，評估可能的故障區域。
對於塗佈機、顯影機、烘烤機、冷卻機、機器人或化學輸送模組的問題，我們可以根據受影響的模組和現有證據討論檢查、維修或恢復方向。
請提供機器型號、模組名稱、零件編號、標籤或組件照片，以便檢查相關的平台關係和可能的備用零件選項。
涉及運輸鎖、公用設施、化學品連接、排氣、模組通訊或初始啟動的問題可以在正常操作開始前進行審查。
具體維修、修復、現場服務、調試和保固範圍將根據每台機器的具體情況和報價來確定。
請求追蹤系統支持半導體塗佈/顯影工道常見問題解答
關於軌道功能、曝光線整合、二手平台、模組和備件的常見問題。
半導體塗佈/顯影軌道系統是做什麼的？
它處理與曝光相關的光阻處理，包括底塗、塗覆、去除邊緣膠珠、烘烤、冷卻、曝光工具交接、曝光後烘烤、顯影、沖洗和乾燥等功能。
二手軌道設備能否連接到我們現有的步進式掃描器或掃描器？
有可能，但僅憑型號名稱是不夠的。還需要檢查設備方向、晶圓路徑、軟體版本、交接方式、已安裝模組和線路介面條件。
完整的 Track 系統和獨立的旋塗機有什麼不同？
完整的塗佈設備整合了多種光阻處理、熱處理、晶圓處理和介面功能，而獨立的塗佈設備通常只處理較窄的製程步驟。
您能找到舊版的 ACT、LITHIUS、SVG、SUSS 或其他 Track 平台嗎？
具體供貨情況會定期變動。請提供製造商、平台、完整型號和產品線信息，以便我們審核當前庫存、即將到貨的系統以及基於需求的採購方案。
你們能否只提供軌道模組和備件，而不是整機？
是的，模組和備件申請可以透過型號、模組名稱、零件編號、標籤或照片進行查詢。供貨情況取決於特定平台和當前供應情況。
對於更換軌道查詢，哪些資訊最有用？
目前跑道型號、曝光工具、晶圓尺寸、模組順序、設備方向、工藝角色以及清晰的銘牌或設備照片是最有用的初始資訊。
請發送您的軌道系統需求
首先，請提供您目前的軌道、曝光工具、晶圓尺寸、模組清單、銘牌、設備照片或採購目標。我們可以協助您整理需求，並探討下一步切實可行的設備、模組或備品採購方向。