Semiconductor wafer dicing process with controlled blade cutting
Контроль процесса нарезки кубиками

Контроль процесса нарезки для обеспечения стабильности сколов, ширины пропила и глубины резания.

Стабильный результат резки зависит от совокупного состояния заготовки, крепления, лезвия, шпинделя, перемещения, выравнивания, вакуумной и водяной систем. Используйте характер дефектов и недавние изменения, чтобы сузить круг вероятных причин, а затем свяжите случай с соответствующей деталью дисковой пилы, способом ремонта или вариантом замены оборудования.

Стабильность надреза Контроль за измельчением Лезвие и шпиндель Пылесос и вода
Технологическое окно

Результат броска кубика никогда не достигается одной единственной настройкой.

Скорость подачи или скорость вращения шпинделя, возможно, являются наиболее простыми для изменения параметрами, но они работают в более широком диапазоне параметров процесса. Для получения стабильного результата необходимо, чтобы механическая поддержка, инструмент, движение станка и вспомогательные системы оставались неизменными.

01 · Поддержка

Заготовка и зажимное приспособление

Состояние ленты, поддержка рамы, чистота зажимного стола, стабильность вакуума и плоскостность заготовки определяют, останется ли пластина неподвижной во время каждой резки.

02 · Инструменты

Лезвие, фланец и экспозиция

Технические характеристики лезвия, точность крепления, состояние правки и степень обнажения лезвия влияют на режущую нагрузку, износ, прямолинейность и качество кромки.

03 · Движение

Шпиндель, подача и позиционирование

Состояние шпинделя, скорость подачи, глубина резания, стабильность осей, выравнивание и контроль ширины пропила должны работать согласованно, а не рассматриваться как несвязанные параметры.

04 · Утилиты

Перекрытие потока воды и охлаждение

Расход воды, температура и состояние форсунок влияют на удаление мусора, состояние лезвий и термическую стабильность шпинделя и системы зажимного стола.

Глубокая фокусировка

Почему проблема с чипами — это системная проблема, а не проблема отдельного параметра.

Сколы часто описываются как проблема, связанная с лезвием или скоростью. На практике один и тот же видимый дефект может возникать при различных сочетаниях опоры, инструмента, нагрузки, температуры и состояния станка. Полезный вопрос заключается не только в том, «какие настройки изменились?», но и в том, «какая часть технологического окна перестала быть стабильной?».

01

Микроперемещения обрабатываемой детали

Посторонние предметы под пластиной, поврежденная или измененная лента, нестабильный вакуум в зажимном устройстве, локальная деформация или неполная поддержка рамы могут допускать небольшие смещения во время резки. В результате могут появиться неравномерные сколы, меняющиеся в зависимости от местоположения, а не однородный дефект по всей поверхности.

02

Состояние лезвия и точность монтажа

Размер зерна, тип сцепления, концентрация абразива, толщина лезвия, степень воздействия окружающей среды и износ определяют, как лезвие удаляет материал. Загрязнение фланца, ошибка при монтаже, недостаточная правка или повреждение лезвия могут привести к биению, отклонению или нестабильной режущей нагрузке, даже если запрограммированный рецепт не изменился.

03

Механизм подачи и шпиндель совместно создают нагрузку при резке.

Скорость подачи нельзя оценивать изолированно от скорости вращения шпинделя, состояния лезвия и материала. Процесс со слишком малой эффективной нагрузкой может не поддерживать режущую поверхность лезвия в желаемом состоянии, в то время как чрезмерная нагрузка может увеличить деформацию, износ, риск поломки или повреждение кромки. Для стабильной резки требуется сбалансированный рабочий диапазон, а не одна универсально «безопасная» скорость.

04

Вода и температура влияют не только на уборку.

Вода, используемая при резке, удаляет стружку и обеспечивает стабильность лезвия, а охлаждающая вода помогает поддерживать термическую стабильность шпиндельной системы. Изменения потока или температуры могут влиять на положение, глубину и равномерность резания из-за загрязнения, плохого удаления стружки или теплового расширения в шпинделе и системе зажимного стола.

05

Положение и вибрация могут изменить характер дефектов.

Ошибка выравнивания, незначительное смещение, дрейф при проверке ширины пропила, изменение скорости вращения шпинделя или вибрация оси могут сместить резку от намеченной дороги или изменить механическую нагрузку от одного реза к другому. Именно поэтому фотографии дефектов следует просматривать вместе с историей сигналов тревоги, данными о положении и стадией, на которой возникла проблема.

Перед изменением некоторых настроек ознакомьтесь с описанием характера дефектов.

Неравномерное или локализованное сколы

Причиной могут быть частицы пыли, неровная опора, состояние ленты, локальная потеря вакуума или периодическая вибрация.

Первое указание: осмотреть крепление, контакт зажимного стола и поврежденный участок пластины.
На большинстве улиц регулярно проводится щебеночное покрытие.

Это может указывать на то, что лезвие, фланец, степень обнажения, состояние правки или баланс нагрузки при резании больше не соответствуют обрабатываемой детали.

Первое направление: сравнить конфигурацию лезвия с последним известным исправным состоянием процесса.
Смещение положения пропила или глубины резания

Это может включать в себя выравнивание, термостойкость, состояние шпинделя, обратную связь по осям, настройку стола или температуру воды.

Первое направление: анализ данных о местоположении, динамики во времени и стабильности работы оборудования.
Дефект появляется после одного явного изменения.

Если проблема возникла после замены лезвия, ленты, партии, рецепта, проведения технического обслуживания или замены детали, сохраните доказательства «до» и «после».

Первое направление: определить, следует ли результат за измененным элементом или остается неизменным в зависимости от машины.
От характера дефектов до маршрута поставок

Когда проверка процесса указывает на неисправность станка, детали или производственной платформы

После того как будут зафиксированы последние изменения в технологическом процессе и повторяющиеся дефекты, следующим шагом может быть ремонт детали, модуля, замена или использование другой пилы для распиловки пластин. Компания Semimachine может рассмотреть эти варианты в рамках одного запроса, вместо того чтобы разделять технологический случай и требования к оборудованию.

Маршрут резки и фиксации заготовки

Сопоставьте симптом с участками, наиболее близкими к месту разреза.

Локальные движения, аномальная нагрузка на лезвие, повторяющиеся поломки или нестабильная глубина могут привести к образованию трещин вокруг режущих и зажимных систем.

  • Компоненты для обнаружения шпинделя, фланца и лезвия.
  • Зажимные столы, зажимные устройства для рам, приспособления и детали для вакуумных систем.
  • Насосы, клапаны, фильтры, форсунки и компоненты системы охлаждения.
  • Идентификация детали по модели, этикетке, табличке с названием или четкой фотографии.
Зрение, движение и управление

Детали для позиционирования, выравнивания и обеспечения устойчивости станка.

Смещение ширины пропила, изменение фокусировки, ошибки повторяемости или срабатывание сигнализации станка могут быть связаны с камерами, датчиками, приводами, энкодерами, платами, кабелями или модулями управления.

  • Модули машинного зрения, освещения и проверки ширины пропила
  • Двигатели, приводы, энкодеры и компоненты осей.
  • Платы управления, блоки питания и компоненты ввода/вывода
Ремонт или восстановление производства

Сравните стоимость ремонта или замены деталей, модулей и оборудования.

Когда простой оборудования, наличие запчастей или состояние машины делают один из вариантов неопределенным, в том же случае может возникнуть необходимость в обмене информацией о ремонте и проверке подержанного оборудования.

  • Ремонт или замена модуля.
  • Поиск пил для распиловки кремниевых пластин той же модели или на аналогичной платформе
  • Запасное, резервное или дополнительное оборудование
  • Комплектующие, упаковка и координация международной доставки.
Полезная информация по делу

Предоставьте доказательства, подтверждающие связь дефекта с оборудованием и недавними изменениями.

Модель станка или код ошибки сами по себе редко объясняют проблему с качеством резки. Полезным примером является сочетание информации об оборудовании, распределении дефектов, последних изменениях и точке, где результат становится нестабильным. В том же запросе можно указать, требуется ли помощь в поиске и устранении неисправностей, ремонт детали или модуля, или замена пильного станка.

Идентификация машиныФотография марки, модели, серийного номера или таблички с названием.
Заготовка и креплениеИнформация о материале, толщине, раме, ленте и зажимном столе.
Лезвие и рецептТехнические характеристики пильного диска: глубина резания, подача, скорость вращения шпинделя и условия водоснабжения.
Доказательства дефектовФотографии лицевой, обратной стороны и кромки с указанием поврежденного участка.
Последние измененияЛезвие, лента, рецепт, замена деталей, техническое обслуживание или изменения в функционале.
Будильник и таймерЭкран с предупреждением, видеозапись и точный этап процесса, на котором возникает проблема.
Необходимый маршрут восстановленияТехнический осмотр, замена деталей, ремонт модулей, резервное оборудование или полная замена.
Пункт назначения и срочностьМестоположение оборудования, необходимая страна доставки и информация о том, остановлено ли производство в данный момент.
Вопросы процесса

Часто задаваемые вопросы о процессе нарезки кубиками

В этих ответах основное внимание уделяется тому, как интерпретировать изменения в технологическом процессе перед выбором детали, способа ремонта или замены оборудования.

Всегда ли снижение скорости подачи уменьшает образование щепок?

Ни одно значение подачи не гарантирует снижения степени сколов. Скорость подачи взаимодействует со скоростью вращения шпинделя, характеристиками лезвия, состоянием лезвия, материалом, глубиной резания и зажимом заготовки. Более низкое значение может уменьшить нагрузку в одном процессе, но не обязательно решит проблему с лезвием, вакуумом, креплением или стабильностью станка.

Может ли причиной сколов быть не сам рецепт, а сама пила для резки пластин?

Да. Вибрация оси, состояние шпинделя, крепление фланца, вакуум в патроне стола, выравнивание, устойчивость к воздействию воды или другие условия работы оборудования могут способствовать возникновению дефектов. Перед заменой деталей или одновременным изменением нескольких параметров процесса следует проанализировать характер дефектов и историю работы оборудования.

Какие факторы могут быть связаны с нестабильными результатами нарезки?

В зависимости от характера неисправности, запрос может касаться шпинделя, фланца, зажимного стола, вакуумных компонентов, камер, датчиков, деталей системы водяного или охлаждающего охлаждения, приводных модулей, компонентов управления или принадлежностей для погрузочно-разгрузочных работ. Наличие необходимо уточнить, сверив его с точным артикулом станка и детали.

Когда следует задуматься о замене оборудования?

Замена может рассматриваться в случаях, когда необходимый ремонт нецелесообразен, простой становится невыполнимым, важные детали трудно достать или требуется увеличение производственных мощностей. Текущую модель оборудования и требуемый технологический процесс следует сравнить с фактически имеющимся оборудованием.

Как правка лезвия влияет на результат нарезки кубиками?

Правка лезвия обнажает режущую поверхность и помогает восстановить состояние лезвия, необходимое для выполнения технологического процесса. Неполная, чрезмерная или неравномерная правка может изменить режущую нагрузку, износ, форму пропила и образование сколов. Условия правки следует рассматривать с учетом технических характеристик лезвия, материала и истории эксплуатации станка.

Может ли резка воды вызвать проблемы с шириной пропила или сколами?

Да. Нестабильный поток, засоренные форсунки, загрязнение, неправильная температура или плохое удаление мусора могут повлиять на состояние лезвия, стабильность шпинделя и поверхность заготовки. Необходимо изучить признаки, связанные с водой, а также местоположение дефекта и любые недавние изменения в системе водоснабжения или техническом обслуживании.

Что может вызвать смещение положения пропила во время производства?

Возможные причины включают изменения выравнивания, нестабильность камеры или освещения, перемещение шпинделя или оси, температурный дрейф, состояние зажимного стола, колебания вакуума, а также изменения в рецептуре или калибровке. Перед изменением нескольких настроек сравните тенденцию изменения положения, затронутые участки и события, происходящие на станке.

Какая информация наиболее полезна для анализа процесса нарезки кубиками?

Отправьте информацию о модели дисковой пилы, материале и толщине заготовки, ленте и раме, характеристиках лезвия, подаче, скорости вращения шпинделя, глубине реза, условиях водоснабжения, фотографии дефектов, последних изменениях, а также любые сигналы тревоги или видеозаписи работы. Это поможет отделить проблему, связанную с технологическим процессом, от проблемы, связанной с машиной, деталью или зажимным устройством.

Превратите дефект нарезки в практичную заявку на деталь, ремонт или оборудование.

Предоставьте информацию о модели дисковой пилы, заготовке, лезвии, характере дефектов и последних изменениях. Semimachine сможет проверить соответствующие детали, необходимые для конкретного станка, определить направление ремонта или замены, а также рассмотреть варианты использования подержанного оборудования для восстановления производства при необходимости.

Отправить заявку на обработку процесса нарезки