Il sistema PVA TePla / Technics GIGA 690 è un sistema al plasma a microonde a bassa pressione sviluppato per la pulizia e l'attivazione superficiale nel packaging di semiconduttori e microelettronica. Introduce energia a microonde a 2,45 GHz attraverso una finestra nella camera a vuoto per generare un plasma chimicamente reattivo senza elettrodi a radiofrequenza all'interno della camera.
Il sistema viene comunemente utilizzato prima del fissaggio del die, del wire bonding, del flip-chip underfill, dell'incapsulamento e del ball attachment. La macchina disponibile è indicata come un sistema del 2010, ma è necessario verificarne le attuali condizioni operative, la configurazione del processo installato e le apparecchiature per il vuoto incluse prima dell'acquisto.
Specifiche principali del pannello in PVA TePla GIGA 690
| Produttore | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Modello | MASSIMO 690 |
| Tipo di apparecchiatura | Sistema di pulizia e attivazione al plasma a microonde a bassa pressione |
| Anno di produzione | 2010, secondo l'elenco delle attrezzature disponibili |
| Materiale della camera di processo | Alluminio |
| Volume della camera | 91 L |
| Dimensioni interne della camera | 450 × 450 × 450 mm |
| Frequenza del plasma | 2,45 GHz |
| Potenza a microonde | 0–1.000 W |
| Canali del gas standard | Due canali, ciascuno dotato di regolatore di flusso di massa e elettrovalvola. |
| Collegamento per vuoto | DN 63 ISO K |
| Pressione di base | Circa 2 × 10-2mbar |
| Pressione di processo | Circa 0,2–2 mbar |
| Tempo di evacuazione | Circa 1 minuto |
| Controllo del sistema | Controller basato su PC con display grafico da 10,4 pollici |
| Sistema operativo | Sistema operativo in tempo reale QNX |
| Alimentazione elettrica | 230 V, monofase, 15 A, 50/60 Hz |
| Fornitura di gas di processo | Attacco Swagelok da 1/4 di pollice, pressione di ingresso 1–2 bar |
| Alimentazione di aria compressa | Attacco Swagelok da 1/4 di pollice, pressione di ingresso 4–6 bar |
| Dimensioni approssimative | 1.050 × 1.750 × 800 mm |
| Peso approssimativo | 195 kg, solo sistema ed esclusa la pompa del vuoto |
| Condizione | Usato apparecchiature per semiconduttori |
| Disponibilità | Salvo disponibilità a magazzino, ispezione e conferma della configurazione. |
Caratteristiche principali dell'apparecchiatura
Generazione di plasma a microonde a bassa pressione a 2,45 GHz
Potenza del forno a microonde regolabile in continuo fino a 1.000 W.
Ampia camera di processo in alluminio da 91 litri
Accoppiamento di energia a microonde senza elettrodi all'interno della camera
Erogazione standard di gas di processo controllata da MFC a due canali.
Controllo di processo manuale e automatico
Archiviazione per più ricette con processi a più fasi
Monitoraggio ottico dell'intensità del plasma e dispositivi di sicurezza
Applicazioni tipiche
Il GIGA 690 è progettato principalmente per la pulizia al plasma e l'attivazione superficiale di package di semiconduttori, substrati, lead frame e componenti correlati. Le posizioni di processo tipiche includono la pulizia prima del fissaggio del die e del wire bonding, l'attivazione prima dello stampaggio o dell'incapsulamento, la preparazione prima del riempimento con underfill per flip-chip e la pulizia prima del fissaggio delle sfere di saldatura.
Il trattamento al plasma a microonde è principalmente guidato da radicali chimicamente reattivi. Questo plasma diffuso può raggiungere superfici e piccoli spazi all'interno di caricatori o contenitori di prodotto compatibili, riducendo al contempo il bombardamento ionico direzionale associato ad alcuni processi al plasma basati su elettrodi.
Configurazione e ispezione delle apparecchiature usate
Le specifiche sopra riportate descrivono la piattaforma GIGA 690 pubblicata, relativa allo stesso periodo di produzione della macchina del 2010 elencata. L'apparecchiatura effettiva potrebbe presentare una porta della camera, un sistema di trasporto del prodotto, una pompa del vuoto, un numero di canali del gas o una configurazione del plasma opzionale differenti.
Tra le opzioni disponibili per la piattaforma figuravano canali del gas aggiuntivi, una piattaforma rotante da 400 mm, sistemi di pompaggio alternativi e una configurazione ECR. Tali caratteristiche non devono essere considerate installate a meno che non possano essere verificate tramite fotografie della macchina, targhetta identificativa, elenco dei componenti o rapporto di ispezione.
Prima di richiedere un preventivo, i clienti devono confermare il numero di serie, le condizioni della camera, il generatore di microonde, la configurazione del gas, i modelli MFC, la pompa del vuoto, la piattaforma rotante, il computer di controllo, il software QNX, i supporti del prodotto inclusi, le ore di funzionamento e lo stato attuale di accensione.
Richiesta di informazioni GIGA 690
Contatta il nostro team per verificare la disponibilità attuale del sistema usato PVA TePla / Technics GIGA 690. Ti preghiamo di fornire il tipo di prodotto, il processo di confezionamento, i gas di trattamento richiesti, le dimensioni del contenitore, il paese di destinazione e la data di installazione prevista, in modo da poter valutare il sistema disponibile.
Contattateci per ricevere foto della macchina, numero di serie, configurazione installata, stato di ispezione e preventivo.
Domande frequenti
A cosa serve il PVA TePla GIGA 690?
Il GIGA 690 viene utilizzato principalmente per la pulizia al plasma e l'attivazione superficiale prima dei processi di confezionamento dei semiconduttori, come il fissaggio del chip, il wire bonding, l'underfill, lo stampaggio, l'incapsulamento e il fissaggio delle sfere di saldatura.
Il GIGA 690 è un sistema di incisione al plasma di precisione?
Il GIGA 690 è principalmente un sistema di pulizia e attivazione al plasma a microonde. Può rimuovere contaminazioni organiche o modificare le superfici, ma non è progettato principalmente come incisore di precisione per il trasferimento di pattern su strutture di dispositivi a semiconduttore.
Qual è la dimensione della camera di processo?
Il sistema pubblicato per questo periodo di produzione presenta una camera in alluminio da 91 litri con dimensioni interne di 450 × 450 × 450 mm.
Quanti canali per il gas di processo ha il sistema?
La piattaforma standard dispone di due canali per il gas, ciascuno controllato da un regolatore di flusso di massa e da un'elettrovalvola. Erano disponibili, come optional, tre o quattro canali per il gas, la cui configurazione deve essere verificata sulla singola macchina.
Questo GIGA 690 del 2010 è attualmente operativo?
L'annuncio disponibile identifica la macchina come un sistema del 2010, ma non ne conferma le attuali condizioni di funzionamento. La sorgente di microonde, la pompa del vuoto, i controlli del gas, la camera, il software e lo stato di accensione devono essere verificati prima di richiedere un preventivo.
