De PVA TePla / Technics GIGA 690 is een lagedruk-microgolfplasmasysteem dat is ontwikkeld voor het reinigen en activeren van oppervlakken in halfgeleider- en micro-elektronische verpakkingen. Het systeem introduceert microgolfenergie van 2,45 GHz via een venster in de vacuümkamer om een chemisch reactief plasma te genereren zonder RF-elektroden in de kamer.
Het systeem wordt doorgaans gebruikt vóór het bevestigen van chips, draadverbindingen, flip-chip-onderfill, inkapseling en het bevestigen van balletjes. De beschikbare machine werd aangeboden als een systeem uit 2010, maar de huidige staat, de geïnstalleerde procesconfiguratie en de meegeleverde vacuümapparatuur dienen vóór aankoop te worden gecontroleerd.
Belangrijkste specificaties van PVA TePla GIGA 690
| Fabrikant | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Model | HOOG 690 |
| Apparaattype | Reinigings- en activeringssysteem met lagedruk-microgolfplasma |
| Apparatuur Jaar | 2010, volgens de lijst met beschikbare apparatuur. |
| Proceskamermateriaal | Aluminium |
| Kamerinhoud | 91 L |
| Binnenafmetingen van de kamer | 450 × 450 × 450 mm |
| Plasmafrequentie | 2,45 GHz |
| Magnetronvermogen | 0–1.000 W |
| Standaard gaskanalen | Twee kanalen, elk met een massastroomregelaar en een magneetventiel. |
| Vacuümverbinding | DN 63 ISO K |
| Basisdruk | Ongeveer 2 × 10-2mbar |
| Procesdruk | Ongeveer 0,2–2 mbar |
| Evacuatietijd | Ongeveer 1 minuut |
| Systeemcontrole | PC-gebaseerde controller met 10,4-inch grafisch display |
| Besturingssysteem | QNX real-time besturingssysteem |
| Elektrische voeding | 230 V, eenfasig, 15 A, 50/60 Hz |
| Procesgasvoorziening | 1/4-inch Swagelok-aansluiting, ingangsdruk 1-2 bar |
| Persluchttoevoer | 1/4-inch Swagelok-aansluiting, ingangsdruk 4–6 bar |
| Bij benadering afmetingen | 1.050 × 1.750 × 800 mm |
| Geschat gewicht | 195 kg, alleen het systeem en exclusief de vacuümpomp. |
| Voorwaarde | Gebruikt halfgeleiderapparatuur |
| Beschikbaarheid | Onder voorbehoud van actuele voorraad, inspectie en configuratiebevestiging. |
Belangrijkste kenmerken van de apparatuur
2,45 GHz lagedruk microgolfplasma-generatie
Traploos instelbaar magnetronvermogen tot 1000 W
Grote aluminium proceskamer van 91 liter
Elektrodevrije microgolfenergiekoppeling in de kamer
Standaard tweekanaals MFC-gestuurde procesgaslevering
Handmatige en automatische procesbesturing
Opslagruimte voor meerdere recepten met verwerking in meerdere stappen.
Optische plasma-intensiteitsbewaking en veiligheidsvergrendelingen
Typische toepassingen
De GIGA 690 is primair ontworpen voor plasmareiniging en oppervlakteactivering van halfgeleiderbehuizingen, substraten, leadframes en aanverwante componenten. Typische procesposities zijn onder andere reiniging vóór chipmontage en draadverbindingen, activering vóór gieten of inkapselen, voorbereiding vóór flip-chip onderlaag en reiniging vóór het aanbrengen van soldeerballen.
Microgolfplasmabehandeling wordt voornamelijk aangedreven door chemisch reactieve radicalen. Dit diffuse plasma kan oppervlakken en kleine ruimtes bereiken binnen geschikte magazijnen of productdragers, terwijl het de gerichte ionenbombardementen vermindert die gepaard gaan met sommige op elektroden gebaseerde plasmaprocessen.
Configuratie en inspectie van gebruikte apparatuur
De bovenstaande specificaties beschrijven het gepubliceerde GIGA 690-platform uit dezelfde algemene productieperiode als de vermelde machine uit 2010. De daadwerkelijke apparatuur kan een andere kamerdeur, productdrager, vacuümpomp, aantal gaskanalen of optionele plasma-configuratie hebben.
Tot de beschikbare opties voor het platform behoorden extra gaskanalen, een roterend platform van 400 mm, alternatieve pompsystemen en een ECR-configuratie. Deze functies dienen niet als geïnstalleerd te worden beschouwd, tenzij dit kan worden geverifieerd aan de hand van foto's van de machine, het typeplaatje, de onderdelenlijst of het inspectierapport.
Voordat een offerte wordt aangevraagd, dienen klanten het serienummer, de staat van de kamer, de magnetrongenerator, de gasconfiguratie, de MFC-modellen, de vacuümpomp, het draaiplatform, de besturingscomputer, de QNX-software, de meegeleverde productdragers, de bedrijfsuren en de huidige inschakelstatus te bevestigen.
Informatie aanvragen voor GIGA 690
Neem contact op met ons team om de actuele beschikbaarheid van de gebruikte PVA TePla / Technics GIGA 690 te controleren. Vermeld hierbij uw producttype, verpakkingsproces, benodigde behandelingsgassen, afmetingen van de drager, bestemmingsland en verwachte installatieplanning, zodat we de beschikbare systemen kunnen beoordelen.
Neem contact met ons op voor foto's van de machine, het serienummer, de geïnstalleerde configuratie, de inspectiestatus en een offerte.
Veelgestelde vragen
Waarvoor wordt de PVA TePla GIGA 690 gebruikt?
De GIGA 690 wordt hoofdzakelijk gebruikt voor plasmareiniging en oppervlakteactivering voorafgaand aan halfgeleiderverpakkingsprocessen zoals chipbevestiging, draadverbinding, onderlaag, gieten, inkapseling en soldeerbalbevestiging.
Is de GIGA 690 een precisieplasma-etssysteem?
De GIGA 690 is in de eerste plaats een microgolfplasmareinigings- en activeringssysteem. Het kan organische verontreinigingen verwijderen of oppervlakken modificeren, maar is niet primair ontworpen als een precisie-etsmachine voor patroonoverdracht voor halfgeleiderstructuren.
Wat is de afmeting van de proceskamer?
Het gepubliceerde systeem uit deze productieperiode heeft een aluminium kamer van 91 liter met interne afmetingen van 450 × 450 × 450 mm.
Hoeveel procesgaskanalen heeft het systeem?
Het standaardplatform heeft twee gaskanalen, die elk worden aangestuurd door een massastroomregelaar en een magneetventiel. Drie of vier gaskanalen waren als optie verkrijgbaar en moeten per machine worden gecontroleerd.
Is deze GIGA 690 uit 2010 momenteel nog in gebruik?
De beschikbare specificaties vermelden dat het apparaat uit 2010 stamt, maar bevestigen niet de huidige operationele staat. De microgolfbron, vacuümpomp, gasregelaars, kamer, software en de status van de stroomvoorziening dienen vóór het uitbrengen van een offerte te worden gecontroleerd.
