Ang PVA TePla / Technics GIGA 690 ay isang low-pressure microwave plasma system na binuo para sa paglilinis at pag-activate ng ibabaw sa semiconductor at microelectronic packaging. Nagpapapasok ito ng 2.45 GHz microwave energy sa pamamagitan ng isang window sa vacuum chamber upang makabuo ng isang chemically reactive plasma na walang RF electrodes sa loob ng chamber.
Karaniwang ginagamit ang sistemang ito bago ang die attach, wire bonding, flip-chip underfill, encapsulation at ball attach. Ang magagamit na makina ay nakalista bilang isang sistemang 2010, ngunit ang kasalukuyang kondisyon ng pagpapatakbo nito, naka-install na configuration ng proseso at kasama na kagamitan sa vacuum ay dapat kumpirmahin bago bilhin.
Pangunahing mga Espesipikasyon ng PVA TePla GIGA 690
| Tagagawa | PVA TePla / Teknik |
|---|---|
| Modelo | MATAAS NA 690 |
| Uri ng Kagamitan | Sistema ng Paglilinis at Pag-activate ng Low-Pressure Microwave Plasma |
| Taon ng Kagamitan | 2010, ayon sa listahan ng mga magagamit na kagamitan |
| Materyal ng Silid ng Proseso | Aluminyo |
| Dami ng Kamara | 91 litro |
| Mga Dimensyon sa Panloob na Silid | 450 × 450 × 450 mm |
| Dalas ng Plasma | 2.45 GHz |
| Lakas ng Microwave | 0–1,000 W |
| Mga Karaniwang Channel ng Gas | Dalawang channel, bawat isa ay may mass flow controller at solenoid valve |
| Koneksyon ng Vacuum | DN 63 ISO K |
| Presyon ng Base | Humigit-kumulang 2 × 10-2mbar |
| Presyon ng Proseso | Humigit-kumulang 0.2–2 mbar |
| Oras ng Paglikas | Humigit-kumulang 1 minuto |
| Kontrol ng Sistema | PC-based controller na may 10.4-inch graphical display |
| Sistema ng Operasyon | Sistemang operating ng QNX sa totoong oras |
| Suplay ng Elektrisidad | 230 V, iisang-phase, 15 A, 50/60 Hz |
| Suplay ng Gas sa Proseso | 1/4-pulgadang koneksyon ng Swagelok, presyon ng input na 1–2 bar |
| Suplay ng Naka-compress na Hangin | 1/4-pulgadang koneksyon ng Swagelok, presyon ng input na 4–6 bar |
| Tinatayang Dimensyon | 1,050 × 1,750 × 800 mm |
| Tinatayang Timbang | 195 kg, sistema lamang at hindi kasama ang vacuum pump |
| Kundisyon | Ginamit kagamitang semiconductor |
| Kakayahang magamit | Nakabatay sa kasalukuyang stock, inspeksyon at kumpirmasyon ng configuration |
Mga Pangunahing Tampok ng Kagamitan
2.45 GHz low-pressure microwave plasma generation
Patuloy na naaayos na lakas ng microwave hanggang 1,000 W
Malaking 91 L na silid ng proseso ng aluminyo
Pagkabit ng enerhiya ng microwave na walang elektrod sa loob ng silid
Karaniwang dalawang-kanal na paghahatid ng proseso ng gas na kontrolado ng MFC
Manu-mano at awtomatikong pagkontrol ng proseso
Imbakan para sa maraming recipe na may multi-step processing
Pagsubaybay sa intensidad ng optical plasma at mga interlock sa kaligtasan
Karaniwang mga Aplikasyon
Ang GIGA 690 ay pangunahing idinisenyo para sa paglilinis ng plasma at pag-activate ng ibabaw ng mga semiconductor package, substrate, lead frame at mga kaugnay na bahagi. Kabilang sa mga karaniwang posisyon sa proseso ang paglilinis bago ang pagkabit ng die at pag-bonding ng wire, pag-activate bago ang paghulma o encapsulation, paghahanda bago ang flip-chip underfill at paglilinis bago ang pagkabit ng solder ball.
Ang paggamot sa microwave plasma ay pangunahing pinapagana ng mga kemikal na reaktibong radikal. Ang nagkakalat na plasma na ito ay maaaring umabot sa mga ibabaw at maliliit na espasyo sa loob ng mga katugmang magasin o tagapagdala ng produkto habang binabawasan ang directional ion bombardment na nauugnay sa ilang proseso ng plasma na nakabatay sa electrode.
Konpigurasyon at Inspeksyon ng Gamit na Kagamitan
Inilalarawan ng mga detalye sa itaas ang nailathalang platapormang GIGA 690 mula sa parehong pangkalahatang panahon ng produksyon gaya ng nakalistang makina noong 2010. Ang aktwal na kagamitan ay maaaring may ibang pinto ng silid, tagapagdala ng produkto, vacuum pump, bilang ng mga channel ng gas o opsyonal na konpigurasyon ng plasma.
Kabilang sa mga opsyon na magagamit para sa plataporma ang karagdagang mga channel ng gas, isang 400 mm rotary platform, mga alternatibong sistema ng pagbomba at isang ECR configuration. Ang mga tampok na ito ay hindi dapat ituring na naka-install maliban kung mapatunayan ang mga ito mula sa mga litrato ng makina, nameplate, listahan ng mga bahagi o ulat ng inspeksyon.
Bago ang pagbanggit, dapat kumpirmahin ng mga customer ang serial number, kondisyon ng chamber, microwave generator, configuration ng gas, mga modelo ng MFC, vacuum pump, rotary platform, control computer, QNX software, kasama na ang mga product carrier, oras ng pagpapatakbo at kasalukuyang power-on status.
Humingi ng Impormasyon tungkol sa GIGA 690
Makipag-ugnayan sa aming koponan upang suriin ang kasalukuyang availability ng gamit nang PVA TePla / Technics GIGA 690. Mangyaring ibigay ang uri ng iyong produkto, proseso ng pag-iimpake, mga kinakailangang treatment gas, mga sukat ng carrier, bansang patutunguhan at inaasahang iskedyul ng pag-install upang masuri ang magagamit na sistema.
Makipag-ugnayan sa amin para sa mga larawan ng makina, serial number, naka-install na configuration, katayuan ng inspeksyon at sipi.
Mga Madalas Itanong
Para saan ginagamit ang PVA TePla GIGA 690?
Ang GIGA 690 ay pangunahing ginagamit para sa paglilinis ng plasma at pag-activate ng ibabaw bago ang mga proseso ng semiconductor packaging tulad ng die attach, wire bonding, underfill, molding, encapsulation at solder ball attachment.
Ang GIGA 690 ba ay isang precision plasma etching system?
Ang GIGA 690 ay pangunahing isang sistema ng paglilinis at pag-activate ng microwave plasma. Maaari nitong alisin ang organikong kontaminasyon o baguhin ang mga ibabaw, ngunit hindi ito pangunahing idinisenyo bilang isang precision pattern-transfer etcher para sa mga istruktura ng semiconductor device.
Ano ang laki ng silid ng proseso?
Ang nailathalang sistema mula sa panahong ito ng produksyon ay may 91 L na silid na gawa sa aluminyo na may panloob na sukat na 450 × 450 × 450 mm.
Ilang channel ng process gas ang mayroon ang sistema?
Ang karaniwang plataporma ay may dalawang daluyan ng gas, bawat isa ay kinokontrol ng isang mass flow controller at solenoid valve. Tatlo o apat na daluyan ng gas ang magagamit bilang mga opsyon at kailangang beripikahin sa bawat makina.
Kasalukuyang gumagana na ba itong 2010 GIGA 690?
Kinikilala ng listahang makikita ang makina bilang isang 2010 system, ngunit hindi nito kinukumpirma ang kasalukuyang kondisyon ng pagpapatakbo nito. Dapat siyang suriin ang pinagmumulan ng microwave, vacuum pump, mga kontrol ng gas, chamber, software at power-on status bago magbigay ng quotation.
