Система PVA TePla / Technics GIGA 690 представляет собой низкотемпературную микроволновую плазменную систему, разработанную для очистки и активации поверхностей в полупроводниковой и микроэлектронной упаковке. Она подает микроволновую энергию частотой 2,45 ГГц через окно в вакуумной камере для генерации химически активной плазмы без использования радиочастотных электродов внутри камеры.
Данная система обычно используется перед установкой кристалла, проволочным соединением, заполнением компаундом для флип-чипа, инкапсуляцией и установкой шариков. Представленная машина указана как система 2010 года, но перед покупкой следует уточнить ее текущее рабочее состояние, конфигурацию технологического процесса и входящее в комплект вакуумное оборудование.
Основные характеристики PVA TePla GIGA 690
| Производитель | ПВА TePla / Technics |
|---|---|
| Модель | ВЫСОКИЙ 690 |
| Тип оборудования | Система очистки и активации низкотемпературной микроволновой плазмы |
| Год выпуска оборудования | 2010 год, согласно списку имеющегося оборудования. |
| Материал технологической камеры | Алюминий |
| Объем камеры | 91 л |
| Внутренние размеры камеры | 450 × 450 × 450 мм |
| Плазменная частота | 2,45 ГГц |
| Мощность микроволнового излучения | 0–1000 Вт |
| Стандартные газовые каналы | Два канала, каждый с регулятором массового расхода и электромагнитным клапаном. |
| Вакуумное соединение | DN 63 ISO K |
| Базовое давление | Примерно 2 × 10-2 мбар |
| Технологическое давление | Приблизительно 0,2–2 мбар |
| Время эвакуации | Примерно 1 минута |
| Управление системой | Контроллер на базе ПК с 10,4-дюймовым графическим дисплеем. |
| Операционная система | Операционная система реального времени QNX |
| Электроснабжение | 230 В, однофазный, 15 А, 50/60 Гц |
| Подача технологического газа | Соединение Swagelok 1/4 дюйма, входное давление 1–2 бар. |
| Подача сжатого воздуха | Соединение Swagelok 1/4 дюйма, входное давление 4–6 бар. |
| Приблизительные размеры | 1050 × 1750 × 800 мм |
| Приблизительный вес | 195 кг, только система, без вакуумного насоса. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, проверки и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Генерация низкотемпературной микроволновой плазмы на частоте 2,45 ГГц
Плавная регулировка мощности микроволновой печи до 1000 Вт.
Большая алюминиевая технологическая камера объемом 91 л.
Бесконтактная передача микроволновой энергии внутри камеры
Стандартная двухканальная подача технологического газа, управляемая MFC.
Ручное и автоматическое управление технологическими процессами
Хранение данных для нескольких рецептов с многоэтапной обработкой.
Оптический мониторинг интенсивности плазмы и блокировки безопасности.
Типичные области применения
Установка GIGA 690 предназначена в первую очередь для плазменной очистки и активации поверхности полупроводниковых корпусов, подложек, выводных рамок и сопутствующих компонентов. Типичные технологические этапы включают очистку перед установкой кристалла и проволочным соединением, активацию перед формованием или инкапсуляцией, подготовку перед заливкой компаундом для флип-чипа и очистку перед нанесением припоя.
Обработка микроволновой плазмой в основном осуществляется за счет химически активных радикалов. Эта рассеянная плазма может достигать поверхностей и небольших пространств внутри совместимых емкостей или носителей продукции, одновременно уменьшая направленную ионную бомбардировку, характерную для некоторых процессов плазменной обработки с использованием электродов.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Приведенные выше технические характеристики описывают опубликованную платформу GIGA 690, выпускавшуюся в тот же период, что и указанная машина 2010 года. Фактическое оборудование может иметь другую дверцу камеры, держатель продукта, вакуумный насос, количество газовых каналов или дополнительную конфигурацию плазмы.
В качестве опций для платформы были доступны дополнительные газовые каналы, вращающаяся платформа диаметром 400 мм, альтернативные системы насосов и конфигурация ECR. Эти функции не следует считать установленными, если их нельзя подтвердить фотографиями машины, паспортной табличкой, списком компонентов или отчетом об осмотре.
Перед предоставлением коммерческого предложения клиентам следует подтвердить серийный номер, состояние камеры, микроволновый генератор, конфигурацию газа, модель МТФ, вакуумный насос, вращающуюся платформу, управляющий компьютер, программное обеспечение QNX, входящие в комплект носители продукции, часы работы и текущее состояние включения питания.
Запросить информацию о GIGA 690
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении установок PVA TePla / Technics GIGA 690. Пожалуйста, укажите тип вашего продукта, процесс упаковки, необходимые газы для обработки, габариты контейнера, страну назначения и предполагаемый график установки, чтобы мы могли рассмотреть доступные системы.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, серийного номера, информации о конфигурации установки, состояния проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
Для чего используется PVA TePla GIGA 690?
Аппарат GIGA 690 в основном используется для плазменной очистки и активации поверхности перед процессами упаковки полупроводниковых компонентов, такими как приварка кристалла, проволочное соединение, заполнение подложки, формование, инкапсуляция и припаивание шариков припоя.
Является ли GIGA 690 системой прецизионного плазменного травления?
Система GIGA 690 в первую очередь предназначена для очистки и активации с помощью микроволновой плазмы. Она может удалять органические загрязнения или модифицировать поверхности, но не является основным устройством для прецизионного травления с переносом рисунка на структуры полупроводниковых приборов.
Каковы размеры технологической камеры?
Представленная в продаже система этого производственного периода имеет алюминиевую камеру объемом 91 л с внутренними размерами 450 × 450 × 450 мм.
Сколько каналов для технологических газов имеет система?
Стандартная платформа имеет два газовых канала, каждый из которых управляется регулятором массового расхода и электромагнитным клапаном. В качестве опции были доступны три или четыре газовых канала, наличие которых необходимо проверить на конкретной машине.
Работает ли в настоящее время данный компьютер GIGA 690 2010 года выпуска?
В представленном описании указано, что машина выпущена в 2010 году, но это не подтверждает ее текущее рабочее состояние. Перед предоставлением коммерческого предложения следует проверить источник микроволнового излучения, вакуумный насос, газовые регуляторы, камеру, программное обеспечение и состояние включения питания.
