Das ASMPT Soft-Tin-Die-Bonding-System ist eine vollautomatische Plattform für die Gehäuseherstellung von Leistungshalbleitern, die metallurgische Lötverbindungen zwischen Siliziumchips und Substraten mittels kontrollierter Reflow-Prozesse erzeugt.

Der Vollautomatisches ASMPT-System zum Weichzinn-Die-Bonding ist für die hochzuverlässige Gehäusekonstruktion von Leistungshalbleitern konzipiert und verwendet speziell Weichlotlegierungen (Zinn), um eine überlegene Wärmeableitung und elektrische Leitfähigkeit zu erreichen.
Es wird üblicherweise von Herstellern von IGBT-Leistungsmodulen, Hochleistungs-MOSFETs und diskreten Bauelementen in Automobilqualität bewertet, bei denen eine porenfreie Chipmontage für die langfristige Zuverlässigkeit der Bauelemente von entscheidender Bedeutung ist.
Wozu dient ASMPT Soft Tin Die Bonding?
Das ASMPT Soft-Tin-Die-Bonding-System dient zum Verbinden von Silizium-Leistungschips mit Substraten oder Leadframes mittels eines Lötverfahrens auf Basis von geschmolzenem Zinn.
Im Gegensatz zur Epoxidharz-Die-Attach-Verbindung erzeugt die Weichzinnung eine metallurgische Verbindung, die den Wärmewiderstand deutlich reduziert und die Dauerhaftigkeit beim Ein- und Ausschalten verbessert.
Es wird vor allem in der Massenproduktion für Antriebsstränge von Elektrofahrzeugen (EV), industrielle Wechselrichter und Hochfrequenz-Netzteile eingesetzt, wo die Geräte extremen thermischen Belastungen ausgesetzt sind.
Branchenanwendungen
Das System findet breite Anwendung in der fortgeschrittenen Leistungshalbleiterfertigung:
Leistungselektronik für die Automobilindustrie
EV-Traktionswechselrichter-IGBT-Module
Bordladegerät (OBC) Stromversorgungsgeräte
Kfz-DC/DC-Wandlermodule
Industrielle Stromversorgungssysteme
Hochleistungs-Industriewechselrichter
Servomotor-Ansteuermodule
Wind- und Solarenergieumwandlungssysteme
Fortschrittliche diskrete Bauelemente
Hochstrom-MOSFETs
Leistungsfaktorkorrekturmodule (PFC)
Thermisch kritische Hochleistungs-Leistungsgehäuse
Weiches Zinn-Die-Bonding in der Leistungshalbleiterverpackung
Beim Soft Tin Die Bonding handelt es sich um ein metallurgisches Verpackungsverfahren, das in der Leistungselektronikfertigung eingesetzt wird, um eine Lötverbindung mit niedrigem Wärmewiderstand zwischen Siliziumchips und metallischen Substraten herzustellen.
Dieses Verfahren verbessert die Wärmeableitungseffizienz und ermöglicht den zuverlässigen Betrieb von Halbleiterbauelementen unter Bedingungen hoher Stromdichte und erhöhter Temperatur.
Wettbewerbspositionierung bei Die-Bonding-Ausrüstung
Der vollautomatische ASMPT Soft-Tin-Die-Bonder positioniert sich als metallurgische Bondlösung mit hohem Durchsatz für die Leistungshalbleitergehäuse der nächsten Generation.
Es findet breite Anwendung in Produktionslinien, die von der Epoxid-Die-Attach-Technik auf moderne lötbasierte Verbindungstechnologien umstellen.
Im Vergleich zu Epoxid-Die-Bonden: bietet eine deutlich höhere Wärmeleitfähigkeit und eine niedrigere Sperrschichttemperatur für Leistungshalbleiter
Im Vergleich zu manuellen oder halbautomatischen Lötsystemen: gewährleistet eine gleichmäßige, porenfreie Verbindung mit hoher Wiederholgenauigkeit in der Massenproduktion
Im Vergleich zu Silbersintersystemen: bietet eine kostengünstige metallurgische Verbindungsalternative unter Verwendung ausgereifter zinnbasierter Lötmaterialien
Überblick über die technischen Fähigkeiten
Kontrolle des porenfreien Lötprozesses: Fortschrittliche Druck- und Atmosphärenregelungssysteme minimieren die Bildung von Hohlräumen und gewährleisten so eine stabile thermische Leistung.
Fluss- und Atmosphärenmanagement: Die integrierte Formiergasatmosphäre (N₂/H₂) gewährleistet eine optimale Benetzung und Lötstellenintegrität.
Hochtemperatur-Prozessstabilität: Mechanische Konstruktion zur Aufrechterhaltung der Ausrichtungsgenauigkeit unter kontinuierlichen Reflow-Wärmezyklen.
Präzisionsplatzierungskontrolle: Gewährleistet eine stabile Chippositionierung während der Schmelzlotphase, um ein Verrutschen oder eine Fehlausrichtung zu verhindern.
Technische Spezifikationen (Typische Konfiguration)
| Parameter | Beschreibung |
|---|---|
| Systemtyp | Vollautomatisches Weichzinn-Die-Bonding-System |
| Verbindungsprozess | Reflow-Löten von Weichlötmitteln / metallurgische Chipmontage |
| Leere-Ebene | < 5 % (prozess- und werkzeuggrößenabhängig) |
| Wafergrößenunterstützung | 8 Zoll / 12 Zoll (konfigurationsabhängig) |
| Atmosphärensteuerung | N₂ / H₂-bildende Gasumgebung |
| Durchsatz | Optimiert für die Serienfertigung von Leistungsmodulen |
Warum Hersteller ASMPT Soft Tin Die Bonder verwenden
Gewährleistet ein hochzuverlässiges Wärmemanagement für Elektrofahrzeug- und Industrieelektronik.
Verbessert die Lebensdauer bei Stromzyklen durch reduzierten Wärmewiderstand
Ersetzt manuelles Löten durch eine automatisierte Produktion mit hoher Wiederholgenauigkeit.
Erfüllt die Anforderungen an thermische Zuverlässigkeit und Porenfreiheit gemäß Automobilstandard.
Prozessablauf der Leistungshalbleitermontage
Wafer-Vereinzelung → Flussmittelauftrag → Chip-Platzierung → Reflow-Löten mit weichem Zinn (ASMPT-System) → Plasmareinigung → Inspektion → Drahtbonden / Oberseitenmontage → Endprüfung
Häufig gestellte Fragen
Wozu wird ASMPT-Soft-Tin-Die-Bonding verwendet?
Es wird verwendet, um Leistungshalbleiterbauelemente wie IGBTs und MOSFETs mit zinnbasiertem Lot auf Substrate zu löten, um eine hohe Wärmeleitfähigkeit und eine zuverlässige metallurgische Verbindung zu erzielen.
Welche Vorteile bietet die Weichzinnung gegenüber der Epoxid-Die-Attach-Methode?
Die Verbindung mit weichem Zinn bietet im Vergleich zu Epoxidharzen eine deutlich bessere Wärmeableitung, einen geringeren Wärmewiderstand und eine höhere Zuverlässigkeit unter Hochleistungsbetriebsbedingungen.
Ist die Verbindung von Weichzinn-Die-Bonds vollständig porenfrei?
Kein Lötprozess ist völlig porenfrei, aber dieses System ist so konzipiert, dass typischerweise Porenanteile unter 5 % erreicht werden, wodurch die Zuverlässigkeitsstandards der Automobil- und Industriebranche erfüllt werden.
Zusammenfassung
Das vollautomatische ASMPT-System zum Weichzinn-Diebonden ist eine Schlüssellösung für die fortschrittliche Leistungshalbleiter-Gehäusefertigung. Es ermöglicht die metallurgische Chipbefestigung mittels zinnbasiertem Lot und bietet so überlegene thermische Leistung, hohe Prozessstabilität und Zuverlässigkeit auf Automobilniveau für Elektrofahrzeuge und industrielle Leistungselektronik.
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