ASMPT 軟錫晶片鍵合系統是一個全自動功率半導體封裝平台,它利用可控回流焊接製程在矽晶片和基板之間形成冶金焊點。

這 全自動ASMPT軟錫晶片接合機系統 專為高可靠性功率半導體封裝而設計,特別採用軟焊料(錫)合金,以實現優異的散熱和導電性能。
它通常被生產 IGBT 功率模組、高功率 MOSFET 和汽車級分立元件的製造商所評估,因為對於這些產品而言,無空隙的晶片貼裝對於裝置的長期可靠性至關重要。
ASMPT軟錫晶片鍵合技術是做什麼用的?
ASMPT 軟錫晶片鍵合系統採用熔融錫基焊料工藝,將矽功率晶片連接到基板或引線框架上。
與環氧樹脂晶片黏接不同,軟錫鍵結形成冶金互連,可顯著降低熱阻並提高電源循環耐久性。
它主要應用於電動車 (EV) 動力系統、工業逆變器和高頻電源的大規模生產環境中,這些設備在極端熱應力下運作。
產業應用
該系統廣泛應用於先進功率半導體製造領域:
汽車電力電子
電動車牽引逆變器IGBT模組
車載充電器 (OBC) 為設備供電
汽車級DC-DC轉換器模組
工業電力系統
高功率工業逆變器
伺服馬達驅動模組
風能和太陽能發電轉換系統
先進分立元件
大電流 MOSFET
功率因數校正 (PFC) 模組
熱關鍵型高密度功率封裝
功率半導體封裝中的軟錫晶片鍵合
軟錫晶片鍵合是一種用於電力電子製造的冶金封裝工藝,用於在矽晶片和金屬基板之間形成低熱阻焊點。
此製程提高了散熱效率,使半導體裝置能夠在高電流密度和高溫條件下可靠運作。
晶片黏接設備的競爭定位
全自動 ASMPT 軟錫晶片鍵合機定位為新一代功率半導體封裝的高通量冶金鍵合解決方案。
它被廣泛應用於從環氧樹脂晶片黏接技術過渡到先進的焊接互連技術的生產線。
與環氧樹脂晶片黏接劑相比: 為功率元件提供顯著更高的導熱係數和更低的結溫
與手動或半自動焊接系統相比: 確保在大規模生產中實現一致、無空隙且高度可重複的黏合。
與銀燒結系統相比: 採用成熟的錫基焊料,提供了一種經濟高效的冶金焊接替代方案。
技術能力概述
無空隙焊接控制: 先進的壓力和大氣控制系統最大限度地減少了空隙的形成,確保了穩定的熱性能。
通量和大氣管理: 整合成型氣體(N₂/H₂)環境可確保最佳潤濕性和焊點完整性。
高溫製程穩定性: 機械結構設計旨在保持連續回流焊熱循環下的對準精度。
精確定位控制: 確保在熔融焊料階段晶片定位穩定,防止移位或錯位。
技術規格(典型配置)
| 範圍 | 描述 |
|---|---|
| 系統類型 | 全自動軟錫晶片黏接系統 |
| 鍵合過程 | 軟焊回流焊/冶金晶片黏接 |
| 虛空層 | < 5%(取決於製程和晶片尺寸) |
| 晶圓尺寸支持 | 8英吋/12英吋(取決於配置) |
| 大氣控制 | N₂/H₂ 形成氣體環境 |
| 吞吐量 | 針對大批量功率模組生產進行了最佳化 |
為什麼製造商使用 ASMPT 軟錫晶片鍵合機
確保電動車和工業電力電子產品的高可靠性熱管理
透過降低熱阻來提高電源循環壽命
以自動化高重複性生產取代手部焊接
滿足汽車級熱可靠性和空泡控制要求
功率半導體組裝製程
晶圓切割 → 助焊劑塗覆 → 晶片貼裝 → 軟錫回流焊(ASMPT系統) → 等離子清洗 → 檢測 → 引線鍵合/頂部貼裝 → 最終測試
常見問題解答
ASMPT軟錫晶片鍵合技術是做什麼用的?
它用於使用錫基焊料將 IGBT 和 MOSFET 等功率半導體裝置連接到基板上,以實現高導熱性和可靠的冶金結合。
與環氧樹脂晶片黏接相比,軟錫黏接有哪些優點?
與環氧樹脂基材料相比,軟錫鍵結在高功率工作條件下具有更好的散熱性、更低的熱阻和更高的可靠性。
軟錫晶片鍵結是否完全無空隙?
沒有一種焊接工藝能夠完全避免空洞,但該系統的設計目標是將空洞率控制在 5% 以下,滿足汽車和工業可靠性標準。
概括
全自動ASMPT軟錫晶片鍵結系統是先進功率半導體封裝的關鍵解決方案。它採用錫基焊料進行冶金晶片貼裝,為電動車和工業電力電子產品提供卓越的熱性能、高製程穩定性和車規級可靠性。
索取技術規格或報價
對於正在評估用於功率模組生產的先進晶片貼裝設備的製造商,可根據要求提供詳細的配置選項和製程支援資訊。
機器規格表
行程配置選項
設備可用性和提前期
生產線整合支持
電子郵件/諮詢表單部分



